用于二维地偏转激光射束的设备的制作方法

技术特征：

技术总结
在一种用于二维地偏转激光射束的设备(1)中，所述设备具有：衬底(4)，其具有衬底开口(5)，设置在所述衬底(4)上的弹簧膜片(6)，所述弹簧膜片具有延伸到所述衬底开口(5)中的弹簧臂(7)以及布置在所述衬底开口(5)中的由所述弹簧臂(7)承载的中央区段(8)，所述中央区段能够二维地倾斜，并且能够在弹簧膜片中央轴线(9)的两个方向(A，B)上轴向移动地支承，镜(2)，所述镜固定在所述弹簧膜片(6)的所述中央区段(8)上，磁驱动或静电驱动(12)，其用于使镜(2)逆着所述弹簧臂(7)的回复力倾斜。根据本发明，所述中央区段(8)的超过在镜(2)的由驱动限定的倾斜的情况下的轴向偏转的轴向偏转由末端止挡装置(16)至少在轴向方向(A)上限制，所述末端止挡装置与刚性地固定在所述镜(2)上的构件(3)共同作用。

技术研发人员：F·尤特齐;D·巴亚特;S·拉尼
受保护的技术使用者：通快瑞士股份公司
技术研发日：2017.01.05
技术公布日：2018.09.28