技术总结
MEMS麦克风（101）具有背板（105）、弹簧（215）和膜（103）。在一个实施例中，该膜（103）经由支撑件（107）支撑在膜的近似中心中。该支撑件（107）连接至膜（103）的近似中心和背板（105）的近似中心。该膜（103）连接至提供电连接的弹簧（215）。该膜（103）可以经由电连接而被电偏置。在一个不同的实施例中，一个或多个超程停止件（617）固定至背板（605）并通过膜（603）的孔径（619）。该超程停止件（617）被配置成防止膜（603）在与背板（605）相对的径向方向上移动。该膜（603）包括：应力梯度、折皱、或者设置或确定膜的刚度的另一结构。
技术研发人员：T.布克;A.多勒;Y.张
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2016.12.06
技术公布日：2018.08.03
MEMS麦克风（101）具有背板（105）、弹簧（215）和膜（103）。在一个实施例中，该膜（103）经由支撑件（107）支撑在膜的近似中心中。该支撑件（107）连接至膜（103）的近似中心和背板（105）的近似中心。该膜（103）连接至提供电连接的弹簧（215）。该膜（103）可以经由电连接而被电偏置。在一个不同的实施例中，一个或多个超程停止件（617）固定至背板（605）并通过膜（603）的孔径（619）。该超程停止件（617）被配置成防止膜（603）在与背板（605）相对的径向方向上移动。该膜（603）包括：应力梯度、折皱、或者设置或确定膜的刚度的另一结构。
技术研发人员：T.布克;A.多勒;Y.张
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2016.12.06
技术公布日：2018.08.03
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询，结果仅供参考。
