中心固定的MEMS麦克风膜的制作方法

技术特征：

1.一种微机电系统（MEMS）麦克风，包括：

具有预先确定的刚度和中心区域的膜；

至少一个弹簧，所述至少一个弹簧具有第一端部和第二端部，所述第一端部连接至所述膜；

背板；

连接至所述膜的所述中心区域且连接至所述背板的支撑件，所述支撑件安置在所述膜和所述背板之间。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述膜具有近似中心，并且所述近似中心通过支撑件相对于所述背板位置上固定。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其中所述膜的所述近似中心是所述膜的地理中心。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述背板包括被配置成允许声压通过所述背板并去向所述膜的穿孔。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述膜被配置成，当所述膜接收入射声压时在所述支撑件周围弯曲。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述膜包括表面和安置在所述表面上的起皱，所述起皱设置膜的预先确定的刚度。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述膜包括从由肋状物、圆梁、点、和辐条组成的组中所选择的至少之一。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，所述MEMS麦克风进一步包括连接至所述背板的超程停止件，所述超程停止件延伸通过所述膜中的孔径。

9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其中所述超程停止件包括：

固定至所述背板的第一端部，

延伸通过所述膜的所述孔径的结构，和

安置在所述膜的相对于所述第一端部的相对侧上的第二端部，所述第二端部被配置成使所述膜在径向方向上的移动停止。

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述至少一个弹簧的所述第二端部连接至所述背板。

11.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，所述MEMS麦克风仅包括单个弹簧。

12.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其中所述至少一个弹簧是由所述膜的沿着所述膜的外围的一部分的切片形成的。

13.一种限制MEMS麦克风的膜的移动的方法，所述MEMS麦克风包括背板、超程停止件和弹簧，所述方法包括：

将所述弹簧的第一端部耦合至所述膜；

经由支撑件将所述膜的中心区域耦合至所述背板的中心区域；以及

通过所述膜中的孔径安置超程停止件。

14.根据权利要求13所述的方法，所述方法进一步包括：

将所述超程停止件的第一端部粘附至所述背板；

将所述超程停止件的第二端部安置在所述膜的相对于所述第一端部的相对侧上；以及

当所述膜在与所述背板相对的径向方向上移动预先确定的距离时，接触超程停止件的第二端部。

15.根据权利要求13所述的方法，其中经由支撑件来对所述膜的中心区域的耦合包括：在衬底中形成支撑件并且经由所述支撑件将膜的所述中心区域直接耦合至所述背板。