在激光再封闭时通过升高温度所实现的应力减小的制作方法

技术总结
本发明提出用于制造微机械结构元件的方法，所述微机械结构元件具有衬底和与衬底连接且与衬底包围第一空穴的罩，在第一空穴中存在第一压力且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在衬底或罩中构造连接第一空穴与微机械结构元件周围环境的进入开口，其中，第二方法步骤中，设定第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其中，在第四方法步骤中，实施衬底或罩的热处理以减小在衬底或罩中的温度梯度。

技术研发人员：P·卡佩;M·阿梅托沃布拉;J·阿姆托尔
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2016.10.12
技术公布日：2018.08.03