基于离子注入石墨烯谐振式MEMS压力传感器的制备方法与流程

2018-06-23 00:44:00 来源：中国专利 TAG：石墨加工谐振制备离子

技术总结
本公开提供了一种基于离子注入石墨烯谐振式MEMS压力传感器的制备方法，在单晶硅衬底上形成介质层，并形成感压薄膜；在感压薄膜正面淀积金属催化剂层，在谐振子区域离子注入碳，并促使石墨烯生长；淀积刻蚀金属以形成电学互联；刻蚀介质层，释放形成石墨烯谐振子；制作玻璃封装盖板，将玻璃封装盖板与石墨烯谐振子所在面对准键合；制作玻璃保护板，将玻璃保护板与感压薄膜的背面深腔所在面对准键合，划片成分离压力传感器芯片。

技术研发人员：张明亮;季安;王晓东;杨富华
受保护的技术使用者：中国科学院半导体研究所
技术研发日：2017.12.29
技术公布日：2018.06.22

再多了解一些