技术特征:
技术总结
一种MEMS器件圆片级真空封装方法,步骤如下:(1)根据MEMS器件待引出的电极数量在低阻硅晶圆上刻蚀绝缘子的拓扑结构,单个拓扑结构中间的低阻硅用于MEMS器件的电学信号引出,记为低阻硅柱;(2)将上述拓扑结构氧化得到氧化硅结构,并填充拓扑结构之间的孔隙,得到无孔洞绝缘子结构;(3)在低阻硅晶圆上的低阻硅柱键合面形成焊点接触电极,并在低阻硅晶圆上与MEMS器件外围对应的位置形成真空封装焊料环;(4)将步骤(3)处理后的低阻硅晶圆与MEMS器件进行键合,实现MEMS器件的锚点与焊点接触电极的电学连接,并实现MEMS器件的真空封装;(5)低阻硅柱的非键合面形成压焊电极;(6)通过光刻、刻蚀工艺实现低阻硅柱的电学隔离。
技术研发人员:李男男;胡启方;刘福民;邢朝洋;庄海涵;徐宇新;王学亚;孙俊强
受保护的技术使用者:北京航天控制仪器研究所
技术研发日:2017.12.05
技术公布日:2018.05.29
再多了解一些
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