技术特征:
技术总结
本发明公开了一种基于柔性薄膜的MEMS执行器,构成包括透明基底(1),透明基底(1)的中部设有铜线圈(2),铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3),透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7),硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5),柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6),磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。本发明具有优异的柔韧性和高断裂强度,大大增加了设备的稳定性和效能以及使用寿命。本发明还采用磁性复合材料来替代永磁铁的使用,可以同时保证薄膜的柔性和磁力的强度,提高了实用性和便利性。
技术研发人员:黄继宝;钱金贵;冮建华;黄波
受保护的技术使用者:爱科赛智能科技(台州)有限公司
技术研发日:2017.12.20
技术公布日:2018.04.20
再多了解一些
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