技术特征：
技术总结
本发明涉及一种致动器的制备方法，该方法包括以下步骤：提供一碳纳米管层；在所述碳纳米管层的表面设置一氧化钒层；以及在含氧气氛中退火使所述氧化钒层转变为二氧化钒层。本发明的致动器采用碳纳米管层与二氧化钒层复合结构。由于二氧化钒层相变时形变较大，响应速率快，因此该致动器具有较大的形变和较快的响应速率。
技术研发人员：马赫;魏洋;刘锴;姜开利;范守善
受保护的技术使用者：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
技术研发日：2016.10.12
技术公布日：2018.04.20
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