一种微纳米材料转移加工装置的制作方法

技术总结
本实用新型提供了一种微纳米材料转移加工装置，该转移加工装置包括转移平台和显微成像系统，所述转移平台包括载物台、带孔载玻片、气体喷管和三维平移台，所述带孔载玻片夹持于所述三维平移台上固定设置的夹持装置上，所述带孔载玻片位于所述载物台的上方，且所述带孔载玻片与所述载物台之间形成第一间隙，所述气体喷管与所述三维平移台转动连接；所述显微成像系统包括显微镜和显示系统，所述显微镜设置于所述带孔载玻片上方，且所述显微镜的镜头与所述带孔载玻片形成第二间隙。本技术方案实现了非真空条件下对微纳米器件的转移加工，改变了以往依靠随机转移、随机复合的工艺现状，实现了精确的定位、复合。

技术研发人员：徐俊虎;王莉;赵胜民
受保护的技术使用者：北京蓝木科技有限公司
文档号码：201720934096
技术研发日：2017.07.30
技术公布日：2018.03.23