技术特征：
技术总结
本发明涉及微机械结构和用于制造微机械结构的方法。根据各种实施例的微机械结构可包括：衬底；和功能结构，布置在衬底处；其中所述功能结构包括功能区域，所述功能区域可响应于作用于功能区域的力而相对于衬底偏转；以及其中功能区域的至少一部分具有处于从大约5 GPa到大约70 GPa的范围中的弹性模量。
技术研发人员：G.德尼夫尔;T.弗里施穆特;T.格里勒;U.黑德尼希;M.卡恩;D.毛雷尔;U.施密德;M.施奈德
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2017.06.29
技术公布日：2018.01.05
再多了解一些
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