一种微纳米管状结构的加工方法与流程

2021-10-26 12:40:46 来源：中国专利 TAG：纳米结构管状器件加工

技术总结
本发明提供了一种微纳米管状结构的加工方法，属于三维微纳米结构与器件技术领域，其步骤包括：在基底上制备过渡层；在所述过渡层上制备纳米薄膜；将所述纳米薄膜与所述基底分离，得到分离后的纳米薄膜；将所述分离后的纳米薄膜转移到支架衬底上；将所述纳米薄膜进行平面内微纳米结构的加工，得到微纳米图形结构；将所述微纳米图形结构进行离子束辐照变形，得到微纳米管状结构的成品。本发明提供的一种微纳米管状结构的加工方法，能够高可控性、高精度、大面积、高效地制备微纳米管状结构的材料。

技术研发人员：李无瑕;金凌;刘哲;李俊杰;顾长志;金爱子;
受保护的技术使用者：中国科学院物理研究所;
文档号码：201610173915
技术研发日：2016.03.24
技术公布日：2016.08.10

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