具有配备激光器的可运动式元件的微机械式设备的制作方法

2021-10-26 12:37:17 来源：中国专利 TAG：元件偏移不动微机固定

技术总结
本发明涉及一种微机械式设备，其具有固定不动式元件(100)和可偏移式元件(110)。本发明的核心为：在所述可偏移式元件(110)上设置有光源(120)。本发明同时还涉及一种具有微机械式设备的微机械式扫描仪，所述微机械式设备具有可运动式元件(100)，在所述可运动式元件上设置有光源(120)。

技术研发人员：C·奥尔;F·格拉巴迈尔
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
文档号码：201611121308
技术研发日：2016.12.08
技术公布日：2017.06.20

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