技术特征：
技术总结
MEMS器件(40)具有经由被配置为支持平台关于第一轴线(A)的旋转的弹性连接元件(46)由框架(48)承载的平台(45)。承载结构(41)通过被配置为支持框架(48)关于横向于第一轴线(A)的第二轴线(B)的旋转的第一和第二弹性悬挂臂来支撑框架(48)。弹性悬挂臂(49)通过被布置成关于第二轴线(B)偏移的相应锚固部分(50)而被锚固到承载结构(41)。应力传感器(51、52)由第一和第二传感器元件(51、52)形成，其相应地被布置在关于第一轴线(A)对称位置中的第二轴线(B)的相同侧上的锚固部分附近的第一和第二悬挂臂(49)上。
技术研发人员：M·默利;R·卡尔米纳蒂;M·罗西
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
技术研发日：2016.09.30
技术公布日：2017.10.20
再多了解一些
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