技术特征:
技术总结
本发明涉及用于差动梳形驱动MEMS的系统和方法。根据实施例,一种MEMS装置包括:可偏转薄膜,包括第一多个静电梳齿;第一锚定结构,包括与第一多个静电梳齿的第一子集交错的第二多个静电梳齿;和第二锚定结构,包括与第一多个静电梳齿的第二子集交错的第三多个静电梳齿。第二多个静电梳齿相对于第一多个静电梳齿沿第一方向偏移,并且第三多个静电梳齿相对于第一多个静电梳齿沿第二方向偏移,其中第一方向不同于第二方向。
技术研发人员:W.克莱因
受保护的技术使用者:英飞凌科技股份有限公司
技术研发日:2016.10.28
技术公布日:2017.08.11
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。