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用于差动梳形驱动MEMS的系统和方法与流程

2021-10-26 12:22:03 来源:中国专利 TAG:用于 驱动 实施 方法 差动

技术特征:

技术总结
本发明涉及用于差动梳形驱动MEMS的系统和方法。根据实施例,一种MEMS装置包括:可偏转薄膜,包括第一多个静电梳齿;第一锚定结构,包括与第一多个静电梳齿的第一子集交错的第二多个静电梳齿;和第二锚定结构,包括与第一多个静电梳齿的第二子集交错的第三多个静电梳齿。第二多个静电梳齿相对于第一多个静电梳齿沿第一方向偏移,并且第三多个静电梳齿相对于第一多个静电梳齿沿第二方向偏移,其中第一方向不同于第二方向。

技术研发人员:W.克莱因
受保护的技术使用者:英飞凌科技股份有限公司
技术研发日:2016.10.28
技术公布日:2017.08.11
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