技术特征：
技术总结
本发明涉及用于差动梳形驱动MEMS的系统和方法。根据实施例，一种MEMS装置包括：可偏转薄膜，包括第一多个静电梳齿；第一锚定结构，包括与第一多个静电梳齿的第一子集交错的第二多个静电梳齿；和第二锚定结构，包括与第一多个静电梳齿的第二子集交错的第三多个静电梳齿。第二多个静电梳齿相对于第一多个静电梳齿沿第一方向偏移，并且第三多个静电梳齿相对于第一多个静电梳齿沿第二方向偏移，其中第一方向不同于第二方向。
技术研发人员：W.克莱因
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2016.10.28
技术公布日：2017.08.11
再多了解一些
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