一种吸气剂电加热激活装置的制造方法

本发明涉及一种吸气剂加热激活装置，具体涉及一种吸气剂电加热激活装置。

背景技术：
采用MEMS工艺制造的智能传感器，如：加速度、陀螺仪、谐振压力、光电图像等，这些智能传感器需要工作在高真空、高洁净的环境下，才能保障其指标Q值和寿命。为了满足智能传感器工作环境需求，通常将智能传感器封装于密闭腔体内并在密闭腔体内设置杂质吸附器件，例如吸气剂，用来吸收封装腔体内部缓慢释放的气体、水分等污染物，维持内部高真空环境。目前，吸气剂普遍采用薄膜、柱状、片状等形态，在使用前需要将吸气剂加热到300～900℃，充分激活后才能够正常使用。例如本公司在申请号为2015107877841中所公开的，其中，柱状及片状吸气剂通常采用内置金属丝进行电加热激活，而薄膜状吸气剂则通常采用金属板加热激活。采用上述吸气剂加热激活装置，其温度无法精确控制，不能确保充分激活吸气剂，无法满足市场对高性能吸气剂激活装置的需求。

技术实现要素：
为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种新型吸气剂电加热激活装置，对传统吸气剂加热激活装置进行了突破性的改进，显著提高激活效果。本发明采用的技术方案为：一种吸气剂电加热激活装置，包括采用耐高温绝缘材料制作的支撑桥面，所述支撑桥面通过导电桥墩搭建起来，在支撑桥面上设置有吸气材料层，所述吸气材料层通过电加热金属丝加热激活，所述电加热金属丝与导电桥墩电连接，形成供电通路。优选地，所述吸气剂电加热激活装置为单层结构，所述支撑桥面的个数为1，所述吸气材料层和电加热金属丝分别设置在支撑桥面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。优选地，所述吸气剂电加热激活装置为单层结构，所述支撑桥面的个数为2，其中，第一支撑桥面通过导电桥墩搭建起来，第二支撑桥面通过电加热金属丝设置在第一支撑桥面上，所述吸气材料层分别设置在第一支撑桥面的下表面和第二支撑桥面的上表面上。优选地，所述吸气剂电加热激活装置为多层结构，每一层中支撑桥面的个数为1，所述吸气材料层和电加热金属丝分别设置在支撑桥面的上表面和下表面上，或者下表面和上表面上。优选地，所述吸气剂电加热激活装置为多层结构，每一层中支撑桥面个数为2，其中，第一支撑桥面通过导电桥墩搭建起来，第二支撑桥面通过电加热金属丝设置在第一支撑桥面上，所述吸气材料层分别设置在第一支撑桥面的下表面和第二支撑桥面的上表面上。优选地，所述电加热金属丝为弯折状或圆环状。优选地，所述导电桥墩采用金属或合金制成。优选地，所述吸气材料层是合金或石墨烯。优选地，所述支撑桥面的形状为方形、多边形或圆形。优选地，所述支撑桥面采用氮化硅或氧化硅制作而成。与现有技术相比，本发明的有益效果在于：本发明对传统吸气剂加热激活装置进行了突破性的改进，将采用耐高温绝缘材料制作的支撑桥面通过桥墩搭建起来，在支撑桥面上设置有吸气材料层，所述吸气材料层通过电加热金属丝进行加热激活。使用时，在高真空环境下将电加热金属丝通电加热，利用其“热电阻效应”间歇性检测电阻值，实现闭环检测温度，准确控制温度，充分激活吸气材料，提高吸气效率，全面保障相关真空器件的性能和寿命；另外，将本发明设计成多层结构能够为吸气材料提供更多安置空间，在有限的空间内显著增大吸气材料接触面积，提高吸气效果，延长相关真空器件使用寿命。附图说明图1是实施例1中提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图1；图2是实施例1中提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图2；图3是实施例1中提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图3；图4是本发明吸气剂电加热激活装置俯视图1；图5是本发明吸气剂电加热激活装置俯视图2；图6是实施例2提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图4；图7是实施例2提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图5；图8是实施例2提供的吸气剂电加热激活装置结构示意图6。具体实施方式以下结合附图对本发明作进一步描述。实施例1：参见图1至3，一种吸气剂电加热激活装置，包括采用耐高温绝缘材料制作的支撑桥面10，所述支撑桥面10通过导电桥墩20搭建起来，在支撑桥面10上设置有吸气材料层30，所述...