1.本实用新型涉及玻璃晶圆技术领域，具体为一种玻璃晶圆清洗装置。
背景技术：
2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，光学玻璃晶圆主要应用在精密的电子、数码产品、仪器仪表及光学元件等领域,对晶圆的表面要求有极高的平面度、平行度、粗糙度以及打孔的精准度。
3.当前玻璃晶圆清洗完成后，玻璃晶圆上会遗留大量的水渍，水渍会对玻璃晶圆产生损坏，减少玻璃晶圆的使用寿命，其次玻璃晶圆在清洗完成后存在着拿取不便，致使玻璃晶圆清整个清洗过程工作效率低等诸多问题。
技术实现要素：
4.本实用新型的目的在于提供一种玻璃晶圆清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱和干燥箱，所述清洗箱右侧固定设有干燥箱，所述清洗箱内侧底部固定设有电动推杆，所述电动推杆上端固定有清洗筒，所述干燥箱右侧固定设有散热箱，所述干燥箱上端通过铰接有箱盖，所述箱盖上端右侧固定设有控制面板，所述干燥箱内部两侧固定设有加热器，所述箱盖内侧左端固定设有湿度传感器，所述控制面板分别与湿度传感器、加热器电性连接。
6.优选的，所述清洗筒为圆柱状，所述清洗筒外侧布满圆形孔洞，所述清洗筒上端设置有筒门，所述清洗筒通过铰链与筒门连接，所述筒门上固定设有把手。
7.优选的，所述加热器为红外线加热板。
8.优选的，所述控制面板为触摸式控制器。
9.优选的，所述干燥箱中部设置有活动板，所述活动板表面设有通孔。
10.优选的，所述干燥箱内部底端设有吸水海绵。
11.优选的，所述清洗箱和干燥箱底部固定设有减震垫，所述减震垫本体的上表面和下表面均设有花纹，所述花纹呈锯齿状。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、通过设置有湿度传感器，能够时刻感应到干燥箱内部的湿度变化，通过设置有加热板能够对干燥箱内部的玻璃晶圆进行干燥，增加了玻璃晶圆的使用寿命，通过底部的减震垫对运作的箱体起到良好的保护作用，防止清洗箱和干燥箱出现碰撞损坏；
14.2、通过清洗箱底部的电动推杆，方便将清洗完成后的玻璃晶圆顶出，并通过孔洞多余的水分流出，通过把手打开筒门，方便取出玻璃晶圆，整体操作简单，同时也提高了工
作效率。
附图说明
15.图1为本实用新型结构图；
16.图2为本实用新型的清洗筒结构图；
17.图3为本实用新型的干燥箱结构图；
18.图4为本实用新型的减震垫结构图。
19.图中：1、清洗箱；2、干燥箱；3、清洗筒；4、散热箱；5、箱盖；6、控制面板；7、加热器；8、湿度传感器；9、筒门；10、活动板；11、吸水海绵；12、减震垫；13、把手。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1
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图4，本实用新型提供一种技术方案：一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱1和干燥箱2，清洗箱1右侧固定设有干燥箱2，清洗箱1内侧底部固定设有电动推杆，电动推杆上端固定有清洗筒3，干燥箱2右侧固定设有散热箱4，干燥箱2上端通过铰接有箱盖5，箱盖5上端右侧固定设有控制面板6，干燥箱2内部两侧固定设有加热器7，箱盖5内侧左端固定设有湿度传感器8，控制面板6分别与湿度传感器8、加热器7电性连接。
22.本实用新型中：清洗筒3为圆柱状，清洗筒3外侧布满圆形孔洞，清洗筒3上端设置有筒门9，清洗筒3通过铰链与筒门9连接，筒门9上固定设有把手13。
23.本实用新型中：加热器7为红外线加热板，能够对干燥箱2内部的玻璃晶圆进行干燥。
24.本实用新型中：控制面板6为触摸式控制器。
25.本实用新型中：干燥箱2中部设置有活动板10，所述活动板10表面设有通孔，便于多余水分流出。
26.本实用新型中：干燥箱2内部底端设有吸水海绵11，将玻璃晶圆上滴落的水流进行吸除。
27.本实用新型中：清洗箱1和干燥箱2底部固定设有减震垫12，减震垫12本体的上表面和下表面均设有花纹，花纹呈锯齿状效的，对运作的箱体起到良好的保护作用，防止清洗箱1和干燥箱2出现碰撞损坏。
28.工作原理：当对玻璃晶圆进行清洗时，将多个玻璃晶圆放入清洗箱1的清洗筒3内，然后往清洗筒3内部加入清洗水源，使清洗水源盖住玻璃晶圆进行清洗，通过底部的减震垫12对运作的箱体起到良好的保护作用，防止清洗箱1和干燥箱2出现碰撞损坏，清洗完成后，利用电动推杆顶出清洗筒3，利用把手13打开筒门9取出玻璃晶圆，把清洗完成后的玻璃晶圆放入干燥箱2内部的活动板10，通过干燥箱2上端的控制面板6开启加热器7进行干燥，通过干燥箱2内部底端设有吸水海绵11，将玻璃晶圆上滴落的水流进行吸除，再利用干燥箱2右侧的散热箱4对干燥箱2进行散热降温，利用湿度感应器感应干燥箱2内部的湿度，达到合
适湿度，通过控制面板6关闭加热器7。
29.综上所述：当对玻璃晶圆进行清洗时，将多个玻璃晶圆放入清洗箱1的清洗筒3内，然后往清洗筒3内部加入清洗水源，使清洗水源盖住玻璃晶圆进行清洗，通过底部的减震垫12对运作的箱体起到良好的保护作用，防止清洗箱1和干燥箱2出现碰撞损坏，清洗完成后，利用电动推杆顶出清洗筒3，并通过孔洞多余的水分流出，利用把手13打开筒门9取出玻璃晶圆，把清洗完成后的玻璃晶圆放入干燥箱2内部的活动板10，通过干燥箱2上端的控制面板6开启加热器7进行干燥，增加了玻璃晶圆的使用寿命，通过设置有湿度传感器8，能够时刻感应到干燥箱2内部的湿度变化，通过干燥箱2内部底端设有吸水海绵11，将玻璃晶圆上滴落的水流进行吸除，再利用干燥箱2右侧的散热箱4对干燥箱2进行散热降温，利用湿度感应器感应干燥箱2内部的湿度，达到合适湿度，通过控制面板6关闭加热器7，整体操作简单，同时也提高了工作效率。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
技术特征：
1.一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱(1)和干燥箱(2)，其特征在于：所述清洗箱(1)右侧固定设有干燥箱(2)，所述清洗箱(1)内侧底部固定设有电动推杆，所述电动推杆上端固定有清洗筒(3)，所述干燥箱(2)右侧固定设有散热箱(4)，所述干燥箱(2)上端通过铰接有箱盖(5)，所述箱盖(5)上端右侧固定设有控制面板(6)，所述干燥箱(2)内部两侧固定设有加热器(7)，所述箱盖(5)内侧左端固定设有湿度传感器(8)，所述控制面板(6)分别与湿度传感器(8)、加热器(7)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗筒(3)为圆柱状，所述清洗筒(3)外侧布满圆形孔洞，所述清洗筒(3)上端设置有筒门(9)，所述清洗筒(3)通过铰链与筒门(9)连接，所述筒门(9)上固定设有把手(13)。3.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于：所述加热器(7)为红外线加热板。4.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于：所述控制面板(6)为触摸式控制器。5.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于：所述干燥箱(2)中部设置有活动板(10)，所述活动板(10)表面设有通孔。6.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于：所述干燥箱(2)内部底端设有吸水海绵(11)。7.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(1)和干燥箱(2)底部固定设有减震垫(12)，所述减震垫(12)本体的上表面和下表面均设有花纹，所述花纹呈锯齿状。
技术总结
本实用新型公开了一种玻璃晶圆清洗装置，包括清洗箱和干燥箱，所述清洗箱右侧固定设有干燥箱，所述清洗箱内侧底部固定设有电动推杆，所述电动推杆上端固定有清洗筒，所述干燥箱右侧固定设有散热箱，所述干燥箱上端通过铰接有箱盖，所述箱盖上端右侧固定设有控制面板，所述干燥箱内部两侧固定设有加热器，所述箱盖内侧左端固定设有湿度传感器，所述控制面板分别与湿度传感器、加热器电性连接。本实用新型通过设置有湿度传感器，能够时刻感应到干燥箱内部的湿度变化，通过设置加热板能够对干燥箱内部的玻璃晶圆进行干燥，增加了玻璃晶圆的使用寿命。的使用寿命。的使用寿命。
技术研发人员：万峰
受保护的技术使用者：江苏美伦光电有限公司
技术研发日：2020.11.20
技术公布日：2021/10/15
再多了解一些
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