一种清洗机的清洗刷的制作方法

1.本实用新型属于清洗刷技术领域，具体为一种清洗机的清洗刷。


背景技术：

2.晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为长晶。
3.硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料硅晶圆片，这就是晶圆。
4.在晶圆加工时，表面护粘附浮尘，需要通过清洗机进行清洗，目前的清洗机清洗刷多以辊刷的形式位置，这种刷子虽然覆盖面积大，可进行多个晶圆同时清刷，但是，清刷效果差，很容易刷子与局部晶圆接触不到的情况发生。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种清洗机的清洗刷，以解决辊刷清洗干净度低的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种清洗机的清洗刷，包括第一接口，所述第一接口上转动设置有第二接口，所述第二接口上固定有出液头，所述出液头的两侧分别嵌入有第一出液管和第二出液管，所述出液头上设置有第一内置孔，所述第一出液管和第二出液管上均设置有第二内置孔，所述出液头、第一出液管和第二出液管上均固定有毛刷。
7.优选的，所述第二接口上设置有环形槽，所述第一接口上固定有与环形槽滑动设置的滑块，保证第二接口与第一接口的转动稳定。
8.优选的，所述第一接口上固定有边板，边板上固定有电机，电机的型号为4rk25gn
‑
c，电机通过导线插头与室内220v电源插排插接通电。
9.优选的，所述电机的转轴上固定有驱动锥齿轮，所述第二接口上固定有与驱动锥齿轮啮合设置的联动锥齿轮，能够起到一个联动效果，保证毛刷转动清刷。
10.优选的，所述第一内置孔和第二内置孔与毛刷错位分布，在出液的同时，可同时对晶圆进行清刷。
11.优选的，所述第一出液管上的毛刷与第二出液管上的毛刷错位分布，保证对晶圆周边的清刷。
12.优选的，所述出液头的截面为圆形，保证对晶圆中部位置的清刷。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过转动的毛刷可对晶圆进行清刷除尘，通过第一接口、第二接口、出液头和出液管可实现对清洗液的输送，两个内置孔能够在清刷的同时，进行排液。
附图说明
14.图1为本实用新型的整体结构示意图；
15.图2为本实用新型的出液头和出液管部分局部放大示意图；
16.图3为本实用新型的毛刷分布示意图。
17.图中：1、第一接口；12、第二接口；13、出液头；14、第一出液管；15、第二出液管；16、第一内置孔；17、第二内置孔；18、毛刷；2、环形槽；21、滑块；3、边板；31、电机；32、驱动锥齿轮；33、联动锥齿轮。
具体实施方式
18.请参阅图1、图2和图3，一种清洗机的清洗刷，包括第一接口1，第一接口1上转动设置有第二接口12，第二接口12上固定有出液头13，出液头13的两侧分别嵌入有第一出液管14和第二出液管15，出液头13上设置有第一内置孔16，第一出液管14和第二出液管15上均设置有第二内置孔17，出液头13、第一出液管14和第二出液管15上均固定有毛刷18。
19.参阅图1，第二接口12上设置有环形槽2，第一接口1上固定有与环形槽2滑动设置的滑块21，保证第二接口12与第一接口1的转动稳定。
20.参阅图1，第一接口1上固定有边板3，边板3上固定有电机31，电机31的型号为4rk25gn
‑
c，电机31通过导线插头与室内220v电源插排插接通电。
21.参阅图1，电机31的转轴上固定有驱动锥齿轮32，第二接口12上固定有与驱动锥齿轮32啮合设置的联动锥齿轮33，能够起到一个联动效果，保证毛刷18转动清刷。
22.参阅图3，第一内置孔16和第二内置孔17与毛刷18错位分布，在出液的同时，可同时对晶圆进行清刷。
23.参阅图3，第一出液管14上的毛刷18与第二出液管15上的毛刷18错位分布，保证对晶圆周边的清刷。
24.参阅图3，出液头13的截面为圆形，保证对晶圆中部位置的清刷。
25.本方案的工作原理是：当需要对晶圆进行清刷时，边板3可与清洗剂的移动部件比如缸体连接，可控制毛刷18上下移动，与晶圆接触或分离。
26.然后通过第一接口1与第二接口12将清洗液送入到出液头13以及两个出液管内，通过两个内置孔送出，喷涂在晶圆上。
27.然后接通电机31的电源，电机31通过驱动锥齿轮32和联动锥齿轮33的啮合，使得第二接口12可以转动，从而带动毛刷18对晶圆表面进行清刷，滑块21在环形槽2内滑动，保证第二接口12的转动稳定性。


技术特征：
1.一种清洗机的清洗刷，包括第一接口(1)，其特征在于：所述第一接口(1)上转动设置有第二接口(12)，所述第二接口(12)上固定有出液头(13)，所述出液头(13)的两侧分别嵌入有第一出液管(14)和第二出液管(15)，所述出液头(13)上设置有第一内置孔(16)，所述第一出液管(14)和第二出液管(15)上均设置有第二内置孔(17)，所述出液头(13)、第一出液管(14)和第二出液管(15)上均固定有毛刷(18)。2.根据权利要求1所述的一种清洗机的清洗刷，其特征在于：所述第二接口(12)上设置有环形槽(2)，所述第一接口(1)上固定有与环形槽(2)滑动设置的滑块(21)。3.根据权利要求2所述的一种清洗机的清洗刷，其特征在于：所述第一接口(1)上固定有边板(3)，边板(3)上固定有电机(31)。4.根据权利要求3所述的一种清洗机的清洗刷，其特征在于：所述电机(31)的转轴上固定有驱动锥齿轮(32)，所述第二接口(12)上固定有与驱动锥齿轮(32)啮合设置的联动锥齿轮(33)。5.根据权利要求1所述的一种清洗机的清洗刷，其特征在于：所述第一内置孔(16)和第二内置孔(17)与毛刷(18)错位分布。6.根据权利要求1所述的一种清洗机的清洗刷，其特征在于：所述第一出液管(14)上的毛刷(18)与第二出液管(15)上的毛刷(18)错位分布。7.根据权利要求1所述的一种清洗机的清洗刷，其特征在于：所述出液头(13)的截面为圆形。

技术总结
本实用新型公开了一种清洗机的清洗刷，包括第一接口，第一接口上转动设置有第二接口，第二接口上固定有出液头，出液头的两侧分别嵌入有第一出液管和第二出液管，出液头上设置有第一内置孔，第一出液管和第二出液管上均设置有第二内置孔，出液头、第一出液管和第二出液管上均固定有毛刷。通过转动的毛刷可对晶圆进行清刷除尘，通过第一接口、第二接口、出液头和出液管可实现对清洗液的输送，两个内置孔能够在清刷的同时，进行排液。进行排液。进行排液。


技术研发人员：倪裕林 徐新志 尹旺 王健忠
受保护的技术使用者：昆山蕴鼎自动化科技有限公司
技术研发日：2020.12.15
技术公布日：2021/10/15