一种冷却机储液罐用供液装置的制作方法

1.本实用新型涉及液体供给领域，尤其涉及一种冷却机储液罐用供液装置。


背景技术：

2.半导体技术不断发展，目前已经达到了较为先进的制程节点。先进制程的推进过程中，工艺难度和制造成本也相应增加，同时，对于良率也更为关注。影响良率的因素有很多，其中，环境因素是众多影响因素中较为重要的因素之一，而已知的环境因素中，总挥发性有机化合物(以下简称tvoc)对良率有重要影响，因此，通常在工厂内设置环境tvoc检测点以检测工厂内tvoc的浓度值。根据以往检测经验，在对冷却机储液罐进行补充冷却液时，检测到的环境tvoc会严重超标，这是因为冷却液中含有挥发性有机化合物，因此，对冷却机储液罐进行冷却液补给的方法如何优化，成为本领域内重点研究的问题。
3.目前，常用的冷却液补给的方法有三种，第一种是直接将冷却液从冷却液桶中倒入冷却机储液罐，该种方法由于冷却液中的有机物可以直接挥发至环境中，已经逐渐被淘汰；第二种是采用加液泵，将冷却液从冷却液桶中抽取至冷却机储液罐中，该种方法由于密封性不好，也容易导致冷却液中的有机物挥发至环境中，目前也逐渐被淘汰；第三种是向加油桶通入厂务端提供的压缩干燥空气cda以增加加油桶内的压力，将将冷却液从加液桶中注入冷却机储液罐，该种方法可以一定程度上降低冷却液中有机物挥发至环境中，但并未完全消除，另外，由于加油桶内压力较大，也存在一定的爆炸风险，具有安全隐患，因此，该技术方案也不适合广泛使用。


技术实现要素：

4.本实用新型要解决的技术问题是提供一种冷却机储液罐用供液装置，在对冷却机储液罐进行补充冷却液时，实现在不存在安全隐患的前提下，减少或消除挥发性有机物挥发至环境中。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供的供液装置，包括第一塞体、负压结构和供液结构；
6.所述第一塞体塞设于所述冷却机储液罐的进液口处并与所述进液口形成密封连接；
7.所述负压结构包括负压管道，所述负压管道贯穿所述第一塞体并连通至所述冷却机储液罐的内部，所述负压结构通过所述负压管道在所述冷却机储液罐的内部产生负压以使所述供液结构向所述冷却机储液罐的内部提供冷却液；
8.所述供液结构包括供液管道，所述供液管道贯穿所述第一塞体并连通至所述冷却机储液罐的内部，所述供液结构通过所述供液管道向所述冷却机储液罐的内部提供冷却液。
9.较佳地，所述第一塞体开设有轴向贯穿所述第一塞体的管道孔；
10.所述管道孔的内径等于或小于负压管道的外径，所述负压管道贯穿所述管道孔并
与所述第一塞体形成紧密接触；
11.所述供液管道的外径小于所述负压管道的内径，所述供液管道轴向贯穿所述负压管道并自所述负压管道位于所述冷却机储液罐的内部的一端伸出；
12.所述供液管道位于所述冷却机储液罐的外部的一端的端部与所述负压管道之间形成密封连接。
13.较佳地，所述负压结构还包括负压源、第二塞体；
14.所述第二塞体塞设于所述负压源的开口处；
15.所述负压管道包括负压主管、负压插管、负压软管；
16.所述负压插管贯穿所述第二塞体并连通所述负压源；
17.所述负压主管贯穿所述第一塞体并连通所述冷却机储液罐的内部；
18.所述负压主管与所述负压插管之间通过所述负压软管连通。
19.较佳地，所述负压主管的侧壁形成有负压支管，所述负压支管与所述负压插管之间通过所述负压软管连通。
20.较佳地，所述负压支管安装有调压阀和压力表；
21.所述调压阀用于调节所述冷却机储液罐内的负压；
22.所述压力表用于显示所述冷却机储液罐内的负压。
23.较佳地，所述负压源为厂务端负压系统，所述厂务端负压系统产生低于标准大气压的负压。
24.较佳地，所述供液结构还包括冷却液源、第三塞体；
25.所述第三塞体塞设于所述冷却液源的开口处以密封所述冷却液源；
26.所述供液管道包括供液主管、供液插管、供液软管；
27.所述供液插管贯穿所述第三塞体并伸入所述冷却液源的冷却液中；
28.所述供液主管贯穿所述第一塞体并连通所述冷却机储液罐的内部；
29.所述供液主管与所述供液插管之间通过所述供液软管连通。
30.较佳地，所述供液主管安装有截止阀。
31.较佳地，所述第三塞体开设有轴向贯穿所述第三塞体的通气孔。
32.较佳地，所述冷却液源为桶装冷却液。
33.本实用新型通过在冷却机储液罐内产生负压，以使冷却液在标准大气压和负压的压力差作用下，从冷却液源流动至冷却机储液罐内完成冷却液的补给。本实用新型供液过程均处于密封环境，因此，冷却液所含的挥发性有机物不会挥发至环境中，tvoc检测结果符合标准。另外，由于在供液过程中采用的是负压，因此，也不存在爆炸风险，无安全隐患。
附图说明
34.为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面对本实用新型所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
35.图1是本实用新型的供液装置一实施例的结构示意图；
36.图2是本实用新型的供液装置一实施例的供液管道和负压管道连接示意图。
37.图中，1
‑
第一塞体；2
‑
负压结构；3
‑
供液结构；4
‑
冷却机储液罐；21
‑
负压管道；22
‑
负压源；23
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第二塞体；31
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供液管道；32
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冷却液源；33
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第三塞体；41
‑
进液口；211
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负压主管；212
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负压插管；213
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负压软管；311
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供液主管；312
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供液插管；313
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供液软管；331
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通气孔；2111
‑
负压支管；2112
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调压阀；2113
‑
压力表；3111
‑
截止阀。
具体实施方式
38.下面将结合附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
39.参考图1和图2，示出了本实用新型实施例的供液装置，包括第一塞体1、负压结构2和供液结构3；所述第一塞体1塞设于所述冷却机储液罐4的进液口41处并与所述进液口41形成密封连接；所述负压结构2包括负压管道21，所述负压管道21贯穿所述第一塞体1并连通至所述冷却机储液罐4的内部，所述负压结构2通过所述负压管道21在所述冷却机储液罐4的内部产生负压以使所述供液结构3向所述冷却机储液罐4的内部提供冷却液；所述供液结构3包括供液管道31，所述供液管道31贯穿所述第一塞体1并连通至所述冷却机储液罐4的内部，所述供液结构3通过所述供液管道31向所述冷却机储液罐4的内部提供冷却液。
40.本实用新型实施例的工作原理：负压结构2通过负压管道21在冷却机储液罐4中产生负压，供液结构3的一端位于冷却机储液罐4的负压环境中，供液结构3的另一端为标准大气压，由于压力差的存在，供液结构3中的冷却液通过供水管道流至冷却机储液罐4中。可理解地，本实用新型实施例的供液装置，在供液过程中，冷却液始终未暴露于环境中，因此，冷却液所含的挥发性有机物不会或者很少挥发至环境中，tvoc检测结果符合标准。另外，由于在供液过程中采用的是负压，因此，也不存在爆炸风险，无安全隐患。
41.较佳地，所述第一塞体1开设有轴向贯穿所述第一塞体1的管道孔(未示出)；所述管道孔的内径等于或小于负压管道21的外径，所述负压管道21贯穿所述管道孔并与所述第一塞体1形成紧密接触；所述供液管道31的外径小于所述负压管道21的内径，所述供液管道31轴向贯穿所述负压管道21并自所述负压管道21位于所述冷却机储液罐4的内部的一端伸出；所述供液管道31位于所述冷却机储液罐4的外部的一端的端部与所述负压管道21之间形成密封连接。可理解地，负压管道21与第一塞体1之间的紧密接触是为了形成较好的密封作用，以防止冷却液所含的挥发性有机物挥发至环境中；设置供液管道31的外径小于负压管道21的内径，以使供液管道31贯穿插入负压管道21后，在供液管道31的外壁与负压管道21的内壁之间形成间隙以便提供负压；设置位于冷却机储液罐4内的供液管道31的端部长于负压管道21的端部，即，供液管道31的一端更伸入冷却机储液罐4的内部，以防止抽真空时，将流入冷却机储液罐4内的冷却液一并抽离；设置位于冷却机储液罐4外的供液管道31的端部与负压管道21的端部之间形成密封，以防止抽真空时，负压管道21与外部环境连通，进而无法在冷却机储液罐4的内部形成负压。
42.较佳地，所述负压结构2还包括负压源22、第二塞体23；所述第二塞体23塞设于所述负压源22的开口处；所述负压管道21包括负压主管211、负压插管212、负压软管213；所述负压插管212贯穿所述第二塞体23并连通所述负压源22；所述负压主管211贯穿所述第一塞
体1并连通所述冷却液储液罐的内部；所述负压主管211与所述负压插管212之间通过所述负压软管213连通。可理解地，负压源22向负压源22向冷却机储液罐4内提供负压，即，负压源22从冷却机储液罐4内抽气使其产生负压；设置第二塞体23塞设于负压源22的开口处，以防止负压泄露；负压主管211与第一塞体1之间以及负压插管212与第二塞体23之间形成紧密接触以防止负压泄露，同时，还可以防止供液过程中，从冷却液储液罐内抽的气体中所含的挥发性有机物挥发至环境中。负压软管213的使用，是为了便于收纳，不占用过多空间。
43.较佳地，所述负压主管211的侧壁形成有负压支管2111，所述负压支管2111与所述负压插管212之间通过所述负压软管213连通。
44.较佳地，所述负压支管2111安装有调压阀2112和压力表2113；所述调压阀2112用于调节所述冷却机储液罐4内的负压；所述压力表2113用于显示所述冷却机储液罐4内的负压。可理解地，冷却液源32处为标准大气压，为了将冷却液从冷却液源32抽至冷却机储液罐4里，往往需要在冷却机储液罐4内形成一定压力的负压以使冷却液在压力差的作用下向冷却机储存罐内流动，并且为了使冷却液流速和流量稳定，需要控制冷却机储液罐4内的压力维持在一定的范围内，而负压源22产生的负压比较大，往往不能直接使用，因此，需要安装调压阀2112和压力表2113对负压源22产生的负压进行调节才能使用。
45.较佳地，所述负压源22为厂务端负压系统，所述厂务端负压系统产生低于标准大气压的负压。
46.较佳地，所述供液结构3还包括冷却液源32、第三塞体33；所述第三塞体33塞设于所述冷却液源32的开口处以密封所述冷却液源32；所述供液管道31包括供液主管311、供液插管312、供液软管313；所述供液插管312贯穿所述第三塞体33并伸入所述冷却液源32的冷却液中；所述供液主管311贯穿所述第一塞体1并连通所述冷却机储液罐4的内部；所述供液主管311与所述供液插管312之间通过所述供液软管313连通。可理解地，冷却液源32向冷却机储液罐4内提供冷却液，第三塞体33塞设于冷却液源32的开口处，以防止冷却液所含的有机物挥发至环境中；供液插管312贯穿第三塞体33并与第三塞体33形成紧密接触，也是为了防止冷却液所含的有机物挥发至环境中。冷却液的流动路径为：冷却液源32处为标准大气压，冷却机储液罐4的内部为负压，冷却液在压力差的作用下，从冷却液源32流入供液插管312，再流经供液软管313，最后流经供液主管311并流至冷却机储液罐4内。
47.较佳地，所述供液主管311安装有截止阀3111以打开或关闭供液管道31。
48.较佳地，所述第三塞体33开设有轴向贯穿所述第三塞体33的通气孔331以便使冷却液桶内气压保持标准大气压。可理解地，为了防止冷却液桶内的挥发性有机物通过气孔挥发至环境中，可以在气孔位于冷却液桶内的一端加装单向通气装置，即，只允许环境中的气体进入冷却液桶而不允许冷却液桶内的气体进入环境中，由于该结构属于常规技术手段，此处不再示出，也不再赘述。
49.较佳地，所述冷却液源32为桶装冷却液。
50.综上所述，本实用新型通过在冷却机储液罐内产生负压，以使冷却液在标准大气压和负压的压力差作用下，从冷却液源流动至冷却机储液罐内完成冷却液的补给。本实用新型供液过程均处于密封环境，因此，冷却液所含的挥发性有机物不会或者很少挥发至环境中，tvoc检测结果符合标准。另外，由于在供液过程中采用的是负压，因此，也不存在爆炸风险，无安全隐患。
51.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型保护的范围之内。