一种惰性气体纯化器的制作方法

1.本实用新型涉及气体纯化技术领域，具体涉及一种惰性气体纯化器。


背景技术：

2.现有气体纯化技术原理主要有催化氧化、物理吸附、化学吸附, 其中催化氧化需要将气体加热至一定的温度，催化剂才能将杂质气体进行催化氧化,物理吸附大多采用分子筛吸附，能有效去除杂质co2、 h2o，纯化进程在高温下可逆，而且可以进行分子筛再生,化学吸附则利用杂质中气体与纯化塔内填料发生化学反应，除去杂质,多数气体纯化设备只适用于纯化单一种类气体，而不适用于多种气体的纯化。
3.现如今，半导体、电子、航空等领域对气体的纯度要求较高，需要大批量的超高纯电子级气体。空分或化学反应制造的气体纯度很难满足生产需求，半导体、电子领域用气多数为经净化后的瓶装气体。目前多数净化装置只能净化单一气体，很难满足多种气体的净化，对于多元化气体生产厂家，采购多台设备净化气体，一定程度上购买成本较高，且占地面积较大，想实现生产线式净化较难。这就导致净化效率较低，气体净化只适用于小批量特殊气体的净化，而对于超高纯气体批量化生产显得尤为艰难。
4.因此，发明一种惰性气体纯化器来解决上述问题很有必要。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种惰性气体纯化器，通过设置有进气罩、加热箱、过滤吸附箱、冷却箱、保温箱和出气罩，从而可以通过加热箱内的l型管外壁上的加热线圈以及加热器工作对惰性气体进行加热提高纯化效率，通过呈倾斜向下设置且倾斜方向相反的第一导向板和第二导向板以及第一过滤网板和第二过滤网板，从而可以对惰性气体经有效的过滤提高钝化质量，以解决技术中的上述不足之处。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种惰性气体纯化器，包括进气罩、加热箱、过滤吸附箱、冷却箱、保温箱和出气罩，所述进气罩的一端通过导气管与加热箱的一侧相连接，所述加热箱的底部通过导气管与过滤吸附箱的顶部一侧相连接，所述过滤吸附箱的底部一侧通过导气管与冷却箱的顶部一侧相连接，所述冷却箱的底部一侧通过导气管与保温箱的顶部一侧相连接，所述保温箱的底部一侧通过导气管连接有出气罩，所述加热箱内设有l型管，所述l 型管通过导气管与进气罩和过滤吸附箱相连接，所述l型管的外壁上缠绕设有加热线圈，所述加热箱的内部设有加热器，所述加热器通过导线与加热线圈电性连接。
7.优选的，所述加热箱靠近过滤吸附箱的一侧通过导气管连接有第一电磁阀，所述过滤吸附箱靠近冷却箱的一侧通过导气管连接有第二电磁阀。
8.优选的，所述冷却箱靠近保温箱的一侧通过导气管连接有第三电磁阀，所述保温箱靠近出气罩的一侧通过导气管连接有第四电磁阀。
9.优选的，所述冷却箱的顶端通过导气管连接有流量计，所述流量计的一侧通过导
气管连接有冷却设备。
10.优选的，所述冷却设备的一侧设有控制机箱面板，所述控制机箱面板通过导线与流量计、第四电磁阀、第三电磁阀、第二电磁阀和第一电磁阀电性连接。
11.优选的，所述过滤吸附箱，所述过滤吸附箱的内部从上到下设有两组过滤组件，每组所述过滤组件均包括有第一导向板和第二导向板，所述第一导向板和第二导向板均呈倾斜向下设置，且所述第一导向板和第二导向板的倾斜方向相反。
12.优选的，所述第一导向板和第二导向板向下的一端均连接有第一过滤网板和第二过滤网板，所述第一过滤网板和第二过滤网板的一端分别与过滤吸附箱的两侧内壁相连接。
13.在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：
14.通过设置有进气罩、加热箱、过滤吸附箱、冷却箱、保温箱和出气罩，从而可以通过加热箱内的l型管外壁上的加热线圈以及加热器工作对惰性气体进行加热提高纯化效率，通过呈倾斜向下设置且倾斜方向相反的第一导向板和第二导向板以及第一过滤网板和第二过滤网板，从而可以对惰性气体经有效的过滤提高钝化质量。
附图说明
15.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本实用新型的整体结构示意图；
17.图2为本实用新型的加热箱内部结构示意图；
18.图3为本实用新型的过滤吸附箱内部结构示意图。
19.附图标记说明：
20.1、进气罩；2、加热箱；3、过滤吸附箱；4、冷却箱；5、保温箱；6、冷却设备；7、控制机箱面板；8、第一电磁阀；9、第二电磁阀；10、第三电磁阀；11、第四电磁阀；12、出气罩；13、流量计； 14、l型管；15、加热线圈；16、加热器；17、第二过滤网板；18、第一导向板；19、第一过滤网板；20、第二导向板。
具体实施方式
21.为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。
22.本实用新型提供了如图1
‑
3所示的一种惰性气体纯化器，包括进气罩1、加热箱2、过滤吸附箱3、冷却箱4、保温箱5和出气罩12，所述进气罩1的一端通过导气管与加热箱2的一侧相连接，所述加热箱2的底部通过导气管与过滤吸附箱3的顶部一侧相连接，所述过滤吸附箱3的底部一侧通过导气管与冷却箱4的顶部一侧相连接，所述冷却箱4的底部一侧通过导气管与保温箱5的顶部一侧相连接，所述保温箱5的底部一侧通过导气管连接有出气罩12，所述加热箱2内设有l型管14，所述l型管14通过导气管与进气罩1和过滤吸附箱 3相连接，所述l型管14的外壁上缠绕设有加热线圈15，所述加热箱2的内部设有加热器16，所述加热器16通过导线与加热线圈15 电性连接。
23.进一步的，在上述技术方案中，所述加热箱2靠近过滤吸附箱3 的一侧通过导气管连接有第一电磁阀8，所述过滤吸附箱3靠近冷却箱4的一侧通过导气管连接有第二电磁阀9。
24.进一步的，在上述技术方案中，所述冷却箱4靠近保温箱5的一侧通过导气管连接有第三电磁阀10，所述保温箱5靠近出气罩12的一侧通过导气管连接有第四电磁阀11。
25.进一步的，在上述技术方案中，所述冷却箱4的顶端通过导气管连接有流量计13，所述流量计13的一侧通过导气管连接有冷却设备 6。
26.进一步的，在上述技术方案中，所述冷却设备6的一侧设有控制机箱面板7，所述控制机箱面板7通过导线与流量计13、第四电磁阀 11、第三电磁阀10、第二电磁阀9和第一电磁阀8电性连接。
27.进一步的，在上述技术方案中，所述过滤吸附箱3，所述过滤吸附箱3的内部从上到下设有两组过滤组件，每组所述过滤组件均包括有第一导向板18和第二导向板20，所述第一导向板18和第二导向板20均呈倾斜向下设置，且所述第一导向板18和第二导向板20的倾斜方向相反，通过呈倾斜向下设置且倾斜方向相反的第一导向板 18和第二导向板20的作用，从而能够有效的提高惰性气体纯化时的过滤吸附效果。
28.进一步的，在上述技术方案中，所述第一导向板18和第二导向板20向下的一端均连接有第一过滤网板19和第二过滤网板17，所述第一过滤网板19和第二过滤网板17的一端分别与过滤吸附箱3的两侧内壁相连接，通过第一过滤网板19和第二过滤网板17的作用，从而能够便于对惰性气体进行过滤。
29.本实用工作原理：
30.参照说明书附图1
‑
3，首先惰性气体经进气罩1通过导气管输送至加热箱2内的l型管14，然后l型管14外壁上的加热线圈15和加热箱2内部的加热器16工作对惰性气体进行加热，加热后的气体通过导气管输送至过滤吸附箱3内经呈倾斜向下设置且倾斜方向相反的第一导向板18和第二导向板20以及第一过滤网板19和第二过滤网板17进行过滤，然后过滤后的气体通过导气管输送至冷却箱4 内进行冷却，然后冷却后的气体通过导气管输送至保温箱5内保温后经出气罩12排出即可。
31.以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。