一种换热装置和单晶炉的制作方法

技术特征：
1.一种换热装置，用于生长单晶硅棒，其特征在于，包括：换热筒，其中，所述换热筒在靠近熔硅液面的一端设置有导流部，所述导流部的内壁与所述换热筒的中心轴成预设夹角，所述导流部的横截面积小于或等于所述换热筒的横截面积；所述导流部的内壁上设置有导流通道，所述导流通道从所述换热筒的内部向所述熔硅液面延伸；所述预设夹角为0
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40
°
。2.根据权利要求1所述的换热装置，其特征在于，所述导流通道的数量为多个，多个所述导流通道沿所述导流部的内壁周向间隔设置。3.根据权利要求1所述的换热装置，其特征在于，所述导流通道包括相对的第一端口和第二端口，所述第二端口靠近所述熔硅液面；所述第二端口与所述导流部靠近所述熔硅液面的一端平齐。4.根据权利要求3所述的换热装置，其特征在于，沿所述第一端口至所述第二端口的方向，所述导流通道的横截面积递减。5.根据权利要求1所述的换热装置，其特征在于，所述导流通道的截面形状为多边形。6.根据权利要求1所述的换热装置，其特征在于，所述导流通道的材质为不锈钢材质。7.根据权利要求1所述的换热装置，其特征在于，所述导流通道与所述导流部焊接连接。8.根据权利要求1所述的换热装置，其特征在于，所述换热装置还包括：包围所述换热筒的外壁，所述外壁与所述换热筒之间围合成水冷腔体，所述水冷腔体内设有冷却管道；所述外壁远离所述导流部的一端设有进水口和出水口；所述进水口与所述冷却管道导通，用于将水导入所述冷却管道；所述出水口与所述冷却管道导通，用于将水导出所述冷却管道。9.一种单晶炉，用于生长单晶硅棒，其特征在于，包括导流筒以及上述权利要求1
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8任一项所述的换热装置，所述换热装置套设在所述导流筒内。

技术总结
本实用新型提供了一种换热装置和单晶炉，用于生长单晶硅棒，包括：换热筒，所述换热筒在靠近熔硅液面的一端设置有导流部，所述导流部的内壁与所述换热筒的中心轴成预设夹角，所述导流部的横截面积小于或等于所述换热筒的横截面积；所述导流部的内壁上设置有导流通道，所述导流通道从所述换热筒的内部向所述熔硅液面延伸，在本实用新型中，熔硅液面的结晶潜热散发的速度较快，可以为单晶硅棒营造良好的生长环境，使得单晶硅棒快速稳定生长，降低单晶硅棒的制备成本。晶硅棒的制备成本。晶硅棒的制备成本。


技术研发人员：杨登文 冉瑞应 杨东 党俊佳 贾祯 盛燕 金雪 罗忠武
受保护的技术使用者：银川隆基硅材料有限公司
技术研发日：2020.09.01
技术公布日：2021/9/21