一种晶圆生产加工专用初次氧化装置的制作方法

1.本实用新型属于初次氧化装置技术领域，具体涉及一种晶圆生产加工专用初次氧化装置。


背景技术：

2.现有的初次氧化装置应用于晶圆加工生产时专用的设备，设备在使用时便于稳定放置，利于在使用时方便操作人员操作，熟练掌握操作功能，对晶圆操作时达到一定的氧化效果，方便使用；现有的初次氧化装置放置在一定的位置处后表面易落入较多的灰尘，不便于对后表面清洁，同时在使用前不便于对操作板槽的内表面干燥清洁，影响使用的问题，为此我们提出一种晶圆生产加工专用初次氧化装置。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种晶圆生产加工专用初次氧化装置，以解决上述背景技术中提出现有的初次氧化装置放置在一定的位置处后表面易落入较多的灰尘，不便于对后表面清洁，同时在使用前不便于对操作板槽的内表面干燥清洁，影响使用的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆生产加工专用初次氧化装置，包括初次氧化装置主体，所述初次氧化装置主体的内部顶端安装有氧化组件，所述初次氧化装置主体的内部底端安装有操作板槽，所述初次氧化装置主体的前表面底部通过铰链转动连接有防护门，所述初次氧化装置主体的两侧均一体式成型有边板，所述边板的内部开设有滑槽，所述边板的后表面设置有滑板，所述滑板的内表面通过胶液粘合固定有弹性垫，所述弹性垫的端部弹性连接有清洁刷，所述滑板的两端均一体式成型有滑块，且所述滑块嵌入所述滑槽的内部，且所述滑块的一侧位于所述边板的外表面安装有手持头，且所述滑板与所述边板通过所述滑块与所述滑槽滑动连接。
5.优选的，所述氧化组件的两侧位于所述初次氧化装置主体的内部通过螺栓固定安装有安装框架，所述安装框架的内部通过连接架安装有马达，所述马达的端部转动连接有扇叶，且所述马达与所述初次氧化装置主体的内部通过导线连接，所述安装框架的下表面安装有防护网。
6.优选的，所述防护网为环形结构，且所述防护网嵌入所述安装框架的内部。
7.优选的，所述马达的端部嵌入所述扇叶的内部，且所述马达的端部与所述扇叶通过螺钉固定连接。
8.优选的，所述安装框架为环形结构，且所述安装框架的上表面嵌入所述初次氧化装置主体的内部。
9.优选的，所述滑槽与所述边板为一体式结构，且所述滑块与所述滑槽内表面结构相同。
10.优选的，所述滑板与所述初次氧化装置主体通过所述弹性垫与所述清洁刷相连接，且所述清洁刷的端部与所述初次氧化装置主体的表面相接触。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.(1)通过在初次氧化装置主体的后表面设计滑板和在滑板的内部设计弹性垫与清洁刷，避免初次氧化装置放置在一定的位置处后表面易落入较多的灰尘，不便于对后表面清洁，可以手持手持头带动滑块在滑槽的内部滑动，通过滑块滑动带动滑板在初次氧化装置主体的后表面滑动，此时通过滑板带动清洁刷接触于初次氧化装置主体的后表面滑动，通过清洁刷不断对初次氧化装置主体的后表面清洁，清洁操作，解决了氧化装置放置在一定的位置处长时间时后表面易落入较多的灰尘，不便于对后表面清洁的问题。
13.(2)通过在安装框架的内部设计马达与扇叶，避免在使用前不便于对操作板槽的内表面干燥清洁，影响使用，可以通过马达转动带动扇叶转动透过防护网向操作板槽的内部吹风，便于对操作板槽的内部干燥清洁使用，解决了在使用前不便于对操作板槽的内表面干燥清洁，影响使用的问题。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构示意图；
15.图2为本实用新型的边板、初次氧化装置主体与滑板后表面结构示意图；
16.图3为本实用新型的滑板、边板与清洁刷俯视局部结构示意图；
17.图4为本实用新型图3中a部分放大结构示意图；
18.图5为本实用新型的安装框架、马达与扇叶结构示意图；
19.图中：1、边板；2、安装框架；3、操作板槽；4、防护门；5、氧化组件； 6、初次氧化装置主体；7、手持头；8、滑板；9、滑块；10、滑槽；11、弹性垫；12、清洁刷；13、马达；14、扇叶。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆生产加工专用初次氧化装置，包括初次氧化装置主体6，初次氧化装置主体6的内部顶端安装有氧化组件5，初次氧化装置主体6的内部底端安装有操作板槽3，初次氧化装置主体6的前表面底部通过铰链转动连接有防护门4，初次氧化装置主体6的两侧均一体式成型有边板1，边板1的内部开设有滑槽10，边板1的后表面设置有滑板8，滑板8的内表面通过胶液粘合固定有弹性垫11，弹性垫11的端部弹性连接有清洁刷12，滑板8的两端均一体式成型有滑块9，且滑块9嵌入滑槽10的内部，且滑块9的一侧位于边板1的外表面安装有手持头7，且滑板8与边板1通过滑块9与滑槽10滑动连接，可以手持手持头7带动滑块9在滑槽10的内部滑动，通过滑块9滑动带动滑板8在初次氧化装置主体6的后表面滑动，此时通过滑板8带动清洁刷12接触于初次氧化装置主体 6的后表面滑动，通过清洁刷12不断对初次氧化装置主体6的后表面清洁，清洁操作。
22.本实施例中，优选的，氧化组件5的两侧位于初次氧化装置主体6的内部通过螺栓固定安装有安装框架2，安装框架2的内部通过连接架安装有马达13，马达13的端部转动连
接有扇叶14，且马达13与初次氧化装置主体6的内部通过导线连接，安装框架2的下表面安装有防护网，可以通过马达13转动带动扇叶14转动透过防护网向操作板槽3的内部吹风，便于对操作板槽3的内部干燥清洁使用。
23.为了通过防护网便于对安装框架2的端部防护，本实施例中，优选的，防护网为环形结构，且防护网嵌入安装框架2的内部。
24.为了通过马达13便于顺利带动扇叶14转动，方便运转使用，本实施例中，优选的，马达13的端部嵌入扇叶14的内部，且马达13的端部与扇叶14通过螺钉固定连接。
25.为了便于将安装框架2稳定安装在初次氧化装置主体6的内部，方便使用，本实施例中，优选的，安装框架2为环形结构，且安装框架2的上表面嵌入初次氧化装置主体6的内部。
26.为了通过滑块9在滑槽10的内部滑动带动滑板8顺利滑动，方便滑动使用，本实施例中，优选的，滑槽10与边板1为一体式结构，且滑块9与滑槽10内表面结构相同。
27.为了通过弹性垫11便于将滑板8在滑动时带动清洁刷12紧压在初次氧化装置主体6的表面清洁，方便清洁使用，本实施例中，优选的，滑板8与初次氧化装置主体6通过弹性垫11与清洁刷12相连接，且清洁刷12的端部与初次氧化装置主体6的表面相接触。
28.本实用新型中马达13的型号为50ktyz。
29.本实用新型的工作原理及使用流程：该种晶圆生产加工专用初次氧化装置，在使用前，首先通过导线与初次氧化装置主体6的内部电源相连接带动马达13 运转，马达13转动带动扇叶14转动透过防护网向操作板槽3的内部吹风，便于对操作板槽3的内部干燥清洁使用，此时将晶圆放置在操作板槽3的内部，通过初次氧化装置主体6操作带动氧化组件5对晶圆初次氧化操作，方便使用，然后装置在一定的位置处放置长时间时，可以手持手持头7带动滑块9在滑槽 10的内部滑动，通过滑块9滑动带动滑板8在初次氧化装置主体6的后表面滑动，此时通过滑板8带动清洁刷12接触于初次氧化装置主体6的后表面滑动，通过清洁刷12不断对初次氧化装置主体6的后表面清洁，清洁操作。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。