一种化合物半导体生长容器的支撑设备的制作方法

1.本实用新型涉及单晶生长技术领域，尤其涉及一种化合物半导体生长容器的支撑设备。


背景技术：

2.目前，在半导体化合物领域，使用的生长容器多为坩埚。当前，砷化镓(gaas)、磷化铟 (inp)等化合物半导体具有较大的市场，其生产过程的第一步都是先把多晶原料、多晶料、掺杂剂等按配比装入坩埚内。随着半导体领域的不断发展和市场需求的不断提高，化合物半导体砷化镓(gaas)、磷化铟(inp)的需求也逐渐由3英寸向6英寸及更高的尺寸发展，坩埚所承载的重量也随之增加，这也就对装料人员的承重能力提出了挑战，特别是女性装料人员。装料时，工作人员用一只手托住生长容器锥部，另一只手逐步把多晶料放至生长容器内。这不仅对工作人员的单手承重能力提出要求，同时也存在损坏生长容器的风险。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种化合物半导体生长容器的支撑设备，使在装料过程中，对装料人员的承重要求偏高，装料效率低以及缺乏安全性的问题得到解决。
4.本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：一种化合物半导体生长容器的支撑设备，用于生长容器的支撑，包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部与第二支撑部相对设置且相触离，第一支撑部包括第一保护层、第一外壳，第二支撑部包括第二保护层、第二外壳，第一保护层和第二保护层中均开设有弧形槽，弧形槽下端均开设有半圆柱槽，第一保护层与第二保护层相接触时形成的中空形状与生长容器的形状相匹配，第一外壳与第一保护层固定连接，第二外壳与第二保护层固定连接，第一外壳和第二外壳两侧均固定连接有磁铁块，第一外壳上的磁铁块与第二外壳上的磁铁块相对一侧为异性，四块磁铁块的中心位置均固定连接支撑杆；四块磁铁块两两配合，利用同性相吸、异性相斥的原理来打开和闭合整个设备的第一支撑部、第二支撑部。
5.进一步，所述第一保护层和第二保护层均为半圆柱形状，第一外壳和第二外壳均为半圆环形状；使得第一保护层和第二保护层的体积较小，整个设备的重量较轻，使用过程中更快捷。
6.进一步，所述第一外壳远离第一保护层的一侧和第二外壳远离第二保护层的一侧均固定连接有支持块。装料完毕翻转整个设备放置到工作台上时，支持块可以使得整个设备平稳的放置到工作台上不会晃动。
7.进一步，所述第一外壳一端设置有两个第一凹槽，另一端设置有两个第一凸块，第二外壳的一端设置有第二凹槽、另一端设置有第二凸块，第一凹槽与第二凸块相匹配，第二凹槽与第一凸块相匹配。第一外壳上的第一凹槽、第一凸块与第二外壳上的第二凹槽、第二凸块之间的配合可以在装料前合并第一支撑部与第二支撑部时起到定位限位的作用，翻转设备时，避免第一支撑部与第二支撑部之间发生错位。
8.进一步，所述第一保护层和第二保护层均为聚苯乙烯泡沫塑料保护层、聚乙烯泡沫塑料保护层、软质聚氨酯泡沫塑料保护层、聚丙烯泡沫塑料保护层中的任一种，聚苯乙烯泡沫塑料、聚乙烯泡沫塑料、软质聚氨酯泡沫塑料和软质聚氨酯泡沫塑料的密度小、缓冲性能好、化学性能稳定、坚韧、耐摩擦，对生长容器起到很好的保护作用。
9.进一步，所述第一外壳和第二外壳均为聚甲醛外壳、聚酰胺外壳、聚碳酸酯外壳中的任一种。
10.进一步，所述支撑杆为聚甲醛支撑杆,聚甲醛支撑杆的抗张强度、弯曲强度、耐疲劳强度和耐磨的性能均十分优良且成本较低。
11.本实用新型的有益效果：
12.1.一种化合物半导体生长容器的支撑设备，使得工作人员在装料过程中，不需要一手托住生长容器一手装料，只需将生长容器放置到本实用新型的支撑设备中，再进行装料，装料完成之后翻转支撑设备，提起第一支撑部或第二支撑部，将生长容器推入下一步工序，整个过程方便快捷，避免了工作人员单手装料和移动生长容器时的误操作，降低装料人员承重能力的要求。
13.2.第一支撑部和第二支撑部通过四块磁铁块异性相吸的特性来进行组装合并，合并之后对生长容器起保护作用，第一保护层和第二保护层对装料过程中物料与生长容器之间的碰撞起到缓冲作用，减少对生长容器的损坏，第一外壳与第二外壳保护第一保护层和第二保护层，同时也加强了对生长容器的支撑和保护。
14.3.通过第一外壳601上的第一凹槽111、第一凸块121与第二外壳602上的第二凹槽112、第二凸块122的设置，使得第一外壳和第二外壳合并时更快的定位，同时也起到了限位的作用，使得第一外壳与第二外壳合并得更加紧密，避免在翻转支撑设备过程中第一外壳和第二外壳发生错位，从而导致生产容器的晃动以及滑落。
附图说明
15.图1是本实用新型一种化合物半导体生长容器的支撑设备的爆炸示意图；
16.图2是本实用新型第一支撑部与第二支撑部的结构示意图；
17.图3是本实用新型装配生长容器的后示意图；
18.图4是本实用新型第一外壳和第二外壳的结构示意图；
19.其中，第一支撑部1、第二支撑部2、第一保护层301、第二保护层302、弧形槽4、半圆柱槽5、第一外壳601、第二外壳602、磁铁块7、支撑杆8、支持块9、第一凹槽111、第二凹槽112、第一凸块121、第二凸块122、生长容器13。
具体实施方式
20.以下将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明：
21.如图1
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4所示，本实用新型的一种化合物半导体生长容器的支撑设备，用于生长容器13 的支撑，包括第一支撑部1和第二支撑部2，所述第一支撑部1与第二支撑部2相对设置且相触离，第一支撑部1包括第一保护层301和第一外壳601，第二支撑部2包括第二保护层302 和第二外壳602，第一保护层301和第二保护层302均为半圆柱形状，第一保护层和第二保护层均为聚苯乙烯泡沫塑料保护层、聚乙烯泡沫塑料保护层、软质聚氨酯泡沫塑料保护
层、聚丙烯泡沫塑料保护层中的任一种，本实施例优选的为聚苯乙烯泡沫塑料制备的第一保护层和第二保护层，第一外壳601和第二外壳602均为半圆环形状，第一外壳和第二外壳均为聚甲醛外壳、聚酰胺外壳、聚碳酸酯外壳中的任一种，本实施例优选的为聚甲醛制备的第一外壳和第二外壳。
22.第一保护层301和第二保护层302的相对一侧均开设有弧形槽4，弧形槽4下端均开设有半圆柱槽5，第一保护层301与第二保护层302相接触时形成的中空形状与生长容器13的外形形状相匹配，即生长容器13放入支撑设备中与第一保护层301、第二保护层302可直接接触，第一外壳601与第一保护层301粘接，第二外壳602与第二保护层302粘接，第一外壳 601和第二外壳602的外表面相对粘接有支持块9，第一外壳601和第二外壳602两侧均粘接有磁铁块7，第一外壳601上的磁铁块7靠近第二外壳一侧为南极，第二外壳602上的磁铁块 7靠近第一外壳一侧为北极，四块磁铁块7的中心位置均粘接有支撑杆8，支撑杆8为聚甲醛支撑杆。
23.第一外壳601一端设置有两个第一凹槽111，另一端设置有两个第一凸块121，第二外壳602的一端设置有两个第二凹槽112、另一端设置有两个第二凸块122，第一凹槽111与第二凸块122位置对应且第二凸块122可卡设在第一凹槽111内，第二凹槽112与第一凸块121 的位置相对应且第一凸块121可卡设在第二凹槽112内，起到定位和限位的作用。
24.本实用新型的使用方法如下：使用时，手握支撑杆8，通过第一外壳601上的第一凹槽111、第一凸块121与第二外壳602上的第二凹槽112、第二凸块122之间的配合定位，以及通过第一外壳601与第二外壳602上磁铁块7异性相吸的特性将第一支撑部1和第二支撑部2合并为一个整体，第一保护层301和第二保护层302上的两个弧形槽4、两个圆柱槽5接触成为一个圆柱通孔，再将整个支撑设备竖直放置在水平工作台上，使第一外壳601与第二外壳602的中心线与水平工作台垂直，将生长容器13放入支撑设备中并与第一保护层301和第二保护层302 直接接触，逐步把多晶料或单晶料放入生长容器13内。
25.装料完毕之后，手握支撑杆8，缓慢的将支撑设备翻转90度后放置在水平工作台上，使得第一外壳601与第二外壳602的中心线与水平工作台平行且第一支撑部1处于下侧，第一支撑部1的端面与工作台贴合，使得整个设备更加平稳的放置在工作台上，手握第二支撑部2 两端的支撑杆8，将第二支撑部2移开，最后把生长容器13水平推入到下一步工序。
26.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。