感光性树脂组合物、抗蚀剂图案膜的制造方法、及镀敷造形物的制造方法与流程

技术特征：
1.一种感光性树脂组合物，含有：具有酸解离性基的聚合物(a)；光酸产生剂(b)；具有羟基的氨基甲酸酯(c)；以及溶剂(d)，所述溶剂(d)含有：选自丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、乳酸乙酯、3
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甲氧基丙酸甲酯及环己酮中的至少一种溶剂(d1)；以及选自二丙二醇二甲醚、二丙二醇甲基乙醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇甲醚乙酸酯、二丙二醇乙醚乙酸酯、3
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甲氧基丁基乙酸酯、1，4
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丁二醇二乙酸酯及1，3
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丁二醇二乙酸酯中的至少一种溶剂(d2)。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述溶剂(d)100质量％中的所述溶剂(d1)的含有比例为70质量％～99质量％，所述溶剂(d2)的含有比例为1质量％～30质量％。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中所述溶剂(d1)为丙二醇单甲醚乙酸酯。4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中所述具有羟基的氨基甲酸酯(c)是具有酸解离性基的氨基甲酸酯。5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中相对于所述溶剂(d2)100质量份，感光性树脂组合物中的所述具有羟基的氨基甲酸酯(c)的含量为0.1质量份～1质量份。6.一种抗蚀剂图案膜的制造方法，包括：步骤(1)，在具有金属膜的基板的所述金属膜上形成如权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物的树脂膜；步骤(2)，对所述树脂膜的至少一部分进行曝光；以及步骤(3)，对曝光后的所述树脂膜进行显影。7.一种镀敷造形物的制造方法，包括将具有通过如权利要求6所述的抗蚀剂图案膜的制造方法形成的抗蚀剂图案膜的基板作为铸模来进行镀敷处理的步骤。

技术总结
本发明的课题在于提供一种感光性树脂组合物，用于形成驻波轨迹得到抑制且剖面为矩形的抗蚀剂图案膜。本发明的感光性树脂组合物含有：具有酸解离性基的聚合物(A)；光酸产生剂(B)；具有羟基的氨基甲酸酯(C)；以及溶剂(D)，所述溶剂(D)含有：选自丙二醇单甲醚乙酸酯等中的至少一种溶剂(D1)；以及选自二丙二醇二甲醚等中的至少一种溶剂(D2)。醚等中的至少一种溶剂(D2)。


技术研发人员：佐野有香 松本朋之 榊原宏和
受保护的技术使用者：JSR株式会社
技术研发日：2020.04.13
技术公布日：2021/10/15