一种适用于条形磁控靶的挡板结构的制作方法

1.本实用新型属于真空等离子体技术领域，具体涉及一种条形磁控靶挡板结构。


背景技术：

2.磁控溅射技术广泛用于金属和非金属镀膜的表面处理工艺。条形磁控靶结构简单，可靠性高，性价比高，在磁控靶中占据很大比例。
3.磁控靶通常应在其靶面安装挡板，用于阻挡外界对靶面污染，以及在磁控靶打靶时遮挡其溅射物，减少对工件和真空室的污染。
4.大部分条形磁控靶的挡板在真空室上开孔安装，挡板与条形磁控靶分属两个接口，存在挡板机构与条形磁控靶的配合问题。如果挡板损坏，需要维修人员现场安装调试。
5.一些变更用途的真空设备，用于安装磁控靶的接口，没有预留相应的挡板接口。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的是提供一种适用于条形磁控靶的挡板结构，可与条形磁控靶在同一真空接口安装，占用接口尺寸小。
7.本实用新型的技术方案如下：
8.一种适用于条形磁控靶的挡板结构，包括位于真空室内的挡板和挡板座，以及与挡板一端连接的驱动机构；
9.所述的挡板由上下2块支撑板和1块面板焊接而成；
10.所述的驱动机构的前端为夹持安装结构；所述的挡板的安装端位于夹持安装结构内；挡板转动时，安装端在夹持安装结构中转动。
11.所述的夹持安装结构由两块固定安装的夹持板组成，所述的挡板的安装端截面为圆形，其位于夹持安装结构的加持板之间，并且通过螺钉固定。
12.所述的驱动机构为驱动杆，其与磁控靶法兰上接口连接。
13.所述的挡板座与磁控靶底板连接；磁控靶靶材安装在磁控靶底板外部。
14.所述的面板加工成曲面，其截面具有曲线边。
15.所述的面板一侧加工有外翻的唇边。
16.本实用新型的效果如下：本装置可通过在磁控靶法兰上开孔安装，无需在真空室开孔；安装接口占用小，条形磁控靶长度方向占用不超过25mm，安装拆卸简单，与磁控靶一体式结构，方便调试检修。
附图说明
17.图1为适用于条形磁控靶的挡板结构示意图；
18.图2为挡板示意图；
19.图3为挡板开启时的挡板结构状态；
20.图4为关闭时驱动结构和挡板示意图；
21.图5为开启时驱动结构和挡板示意图；
22.图6为拆卸挡板时驱动结构和挡板示意图；
23.图中：1
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挡板；2
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挡板座；3
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驱动机构；4
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磁控靶靶体；5
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连接法兰；6
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磁控靶法兰；7.磁控靶底板；8.支撑板；9.面板；10.磁控靶靶材。
具体实施方式
24.下面通过附图及具体实施方式对本发明作进一步说明。
25.如图1所示的一种条形磁控靶挡板，包括挡板1、挡板座2、驱动机构3。其中，挡板1和挡板座2位于真空室内部，驱动机构3作为真空穿透和驱动。
26.如图2所示，挡板1由上下2块支撑板8和1块面板9焊制而成。支撑板8使用304不锈钢板；面板9使用316不锈钢板。
27.挡板座2使用厚304不锈钢板，与磁控靶底板7用螺钉连接。
28.驱动机构3(驱动杆)与磁控靶法兰6上接口连接，驱动机构(驱动杆)在启动后长度可调。
29.磁控靶靶材10安装在磁控靶底板7外部，磁控靶底板7与挡板座2连接。
30.如图3所示，驱动机构3的前端为夹持安装结构，其为两块固定安装的夹持板组成，挡板1的安装端截面为圆形，安装端位于夹持安装结构的加持板之间，并且通过螺钉固定，当挡板1转动时，挡板1的支撑板8的安装端在加持板中转动。
31.如图4所示，关闭时，两个挡板1对应侧的支撑板8的端部接触，使得上下两块面板1
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2闭合。
32.如图5所示，当挡板1转动时，挡板1的支撑板8的安装端在加持板中转动，使得上下两块面板9分开，露出磁控靶靶材10。
33.如图6所示，当挡板1继续转动时，挡板1的支撑板8的安装端在加持板中继续沿原方向转动，使得上下两块面板9分开，直到接触端面呈同一水平面，驱动机构3带动挡板座2将磁控靶10完全顶出挡板1的端面高度。此时可以拆卸挡板1。
34.本实施例中挡板1中的面板9加工成曲面，截面为曲线，两个面板9其中的一个在其相对的一侧加工有外翻的唇边，当两个面板9在闭合时，唇边遮挡在另一个面板9接触的侧面外，使得闭合更为严实紧密。


技术特征：
1.一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：包括位于真空室内的挡板(1)和挡板座(2)，以及与挡板(1)一端连接的驱动机构(3)；所述的挡板(1)由上下2块支撑板(8)和1块面板(9)焊接而成；所述的驱动机构(3)的前端为夹持安装结构；所述的挡板(1)的安装端位于夹持安装结构内；挡板(1)转动时，安装端在夹持安装结构中转动。2.如权利要求1所述的一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：所述的夹持安装结构由两块固定安装的夹持板组成，所述的挡板(1)的安装端截面为圆形，其位于夹持安装结构的加持板之间，并且通过螺钉固定。3.如权利要求2所述的一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：所述的驱动机构(3)为驱动杆，其与磁控靶法兰(6)上接口连接。4.如权利要求3所述的一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：所述的挡板座(2)与磁控靶底板(7)连接；磁控靶靶材(10)安装在磁控靶底板(7)外部。5.如权利要求4所述的一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：所述的面板(9)加工成曲面，其截面具有曲线边。6.如权利要求5所述的一种适用于条形磁控靶的挡板结构，其特征在于：所述的面板(9)一侧加工有外翻的唇边。

技术总结
本实用新型属于真空等离子体技术领域，具体涉及一种条形磁控靶挡板结构，包括位于真空室内的挡板和挡板座，以及与挡板一端连接的驱动机构；挡板由上下2块支撑板和1块面板焊接而成，本装置可通过在磁控靶法兰上开孔安装，无需在真空室开孔；安装接口占用小，条形磁控靶长度方向占用不超过25mm，安装拆卸简单，与磁控靶一体式结构，方便调试检修。方便调试检修。方便调试检修。


技术研发人员：王丁 张帆 李平川 唐德礼
受保护的技术使用者：核工业西南物理研究院
技术研发日：2020.12.29
技术公布日：2021/10/18