一种硅材料管状零件的夹持机构的制作方法

1.本实用新型涉及夹持装置技术领域，具体而言，涉及一种硅材料管状零件的夹持机构。


背景技术：

2.硅材料是半导体设备常用的零部件，其中扩散设备会用到许多硅材料管状零件，行业内一般称为硅管。硅管内部不干净就会影响半导体材料的性能，因此需要定期清洗。
3.现有技术一般采用酸液浸泡的方式进行清洗，为了使清洗更加充分，会在清洗槽中进行酸液震荡、鼓泡或对流，但这种清洗模式对结构简单的零件较为适用，对于管状零件的清洗效果不佳。为了达到理想的清洗效果，可将硅管竖直放置，将清洗液采用下进上出的方式在硅管内部循环，但在清洗过程中硅管肯定会发生倾斜、移动，因此如何将硅管进行竖直定位，保证清洗顺利进行是亟需解决的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的问题是如何使硅管竖直定位，便于实现清洗液下进上出的清洗方式。
5.为解决上述问题，本实用新型提供一种硅材料管状零件的夹持机构，包括支杆和两个固定夹，所述支杆沿竖直方向设置，所述支杆在高度方向上设置有多个沿厚度方向贯穿的连接孔，所述固定夹包括连接杆和夹持件，所述连接杆的一端插入所述连接孔与所述支杆可拆卸连接，另一端与所述夹持件连接，所述夹持件适于夹紧硅管。
6.相对于现有技术，本实用新型的夹持机构通过支管和固定夹配合，可以将硅管固定并保持在竖直状态，两个固定夹分别夹住硅管的上部和下部，夹持可靠，支杆上设置多个连接孔，相应的固定夹安装高度可调，夹持机构可以与不同长度的硅管适配。
7.进一步地，所述夹持件包括第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板与所述连接杆连接，所述第一夹持板和所述第二夹持板通过螺杆连接，使所述硅管夹持在所述第一夹持板和所述第二夹持板之间。两块夹持板结构可以适配于不同管径的硅管，两块夹持板通过螺杆连接夹紧效果好。
8.进一步地，所述第一夹持板与所述第二夹持板相对的两个壁面上设有弧形槽。弧形槽可以与硅管表面贴合，提高夹持板与硅管的接触面积，避免局部受力，且便于硅管定位，避免出现倾斜。
9.进一步地，所述第一夹持板和所述第二夹持板的材质为聚四氟乙烯。聚四氟乙烯材料耐用性好，且不会损坏硅管表面。
10.进一步地，所述连接孔的内壁上设有内螺纹，所述连接杆与所述支杆连接的一端的外壁上设有外螺纹，所述连接杆与所述连接孔螺纹连接。连接杆连接孔装配方便，连接可靠。
11.进一步地，所述连接杆上外螺纹的延伸长度为5～20cm。在螺纹延伸长度范围内，
连接杆相对于支杆的伸出长度可以进行调节，便于将硅管定位在合适位置。
12.进一步地，所述连接孔的数量为10～20个，相邻所述连接孔等距设置。设置多个连接孔，可以夹持不同长度的硅管。
13.进一步地，相邻所述连接孔之间的距离为5～20cm。由此两个固定夹之间的距离可以进行小幅调整。
14.进一步地，所述支杆顶部设有管托槽，所述管托槽适于承托清洗液的回液管。设置管托槽便于清洗液的回液管的上部进行定位。
15.进一步地，所述支杆下部设有穿管孔，所述穿管孔位于最下侧的所述连接孔的下方，所述穿管孔适于供所述回液管穿设。设置穿管孔对回液管的下部起到支撑定位作用，避免回液管晃动。
附图说明
16.图1为本实用新型实施例中夹持机构的结构图一；
17.图2为本实用新型实施例中夹持机构的结构图二；
18.图3为本实用新型实施例中固定夹的结构图；
19.图4为本实用新型实施例中连接杆与第一夹持板的结构图；
20.图5为本实用新型实施例中夹持机构的使用状态图。
21.附图标记说明：
22.1-支杆，11-连接孔，12-管托槽，13-穿管孔，2-固定夹，21-连接杆，22-第一夹持板，23-第二夹持板，24-螺杆，25-弧形槽，3-回液管，4-进液管，5-硅管。
具体实施方式
23.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
24.应注意到：相似的标记和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
25.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。本实用新型的实施例的附图中设置有坐标系xyz，其中x轴的正向代表前方，x轴的反向代表后方，y轴的正向代表左方，y轴的反向代表右方，z轴的正向代表上方，z轴的反向代表下方。
26.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况
理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
28.结合图1至图5所示，本实用新型的实施例提供一种硅材料管状零件的夹持机构，用于硅管5清洗时对其进行夹持定位。结合图1所示，夹持机构包括支杆1和两个固定夹2，支杆1沿竖直方向(z轴方向)设置，支杆1在高度方向上设置有多个沿厚度方向(y轴方向)贯穿的连接孔11，固定夹2包括连接杆21和夹持件，连接杆21的一端插入连接孔11与支杆1可拆卸连接，另一端与夹持件连接，夹持件用于夹紧硅管5。该夹持机构两个固定夹2设置在竖直的支杆1上，可以夹持住硅管5的上部和下部，将硅管5固定并保持在竖直状态，从而实现清洗液下进上出的清洗方式。
29.结合图1和图2所示，连接孔11的内壁上设有内螺纹，结合图3和图4所示，连接杆21与支杆1连接的一端的外壁上设有外螺纹，连接杆21与连接孔11螺纹连接，这种连接结构装配方便，连接可靠。且在外螺纹延伸长度范围内，连接杆21可以在y轴方向上移动，即夹持件与支杆1之间的距离可以调节，这样就可以将硅管5定位在合适位置，便于与输液管道连接。本实施例中连接杆21上外螺纹的延伸长度为10cm，在其他实施方式中，该长度介于5～20cm之间。
30.本实施例中，连接孔11的数量为15个，相邻连接孔11等距设置，设置多个连接孔11可以灵活调整固定夹2安装高度，适配于不同长度的硅管5，提高夹持机构的通用性。相邻连接孔11之间的距离为10cm，由此两个固定夹2之间的距离可以进行小幅调整。在其他实施方式中，连接孔11的数量为10～20个，相邻连接孔11之间的距离介于5～20cm之间。
31.结合图3和图4所示，夹持件包括第一夹持板22、第二夹持板23和四根螺杆24，第一夹持板22与连接杆21连接，第一夹持板22和第二夹持板23的四角上均设有螺孔，螺杆24穿过螺孔将第一夹持板22和第二夹持板23连接，通过第一夹持板22和第二夹持板23配合，可以将硅管5夹紧。第一夹持板22和第二夹持板23之间的距离可以调整，因此这种夹持件可以与不同管径的硅管5适配，通用性好。本实施例中第一夹持板22和第二夹持板23的材质选择聚四氟乙烯材料，该材料具有很好的耐用性，且夹持时不会损坏硅管5表面。
32.进一步地，第一夹持板22与第二夹持板23相对的两个壁面上设有弧形槽25，夹持件使用时，硅管5可以进入弧形槽25，外壁与弧形槽25贴合，这样能提高夹持板与硅管5的接触面积，避免局部受力，且设置弧形槽25便于硅管5定位，避免硅管5安装倾斜。
33.结合图1和图2，清洗硅管5时需要将硅管5的下端与清洗液的进液管4连接，上端与清洗液的回液管3连接，回液管3的长度较大，容易发生晃动。在支杆1顶部设置管托槽12，下部设置穿管孔13，穿管孔13位于最下侧的连接孔11的下方，回液管3的上部置于管托槽12内，管托槽12起到承托作用，将回液管3的上部定位，回液管3的下部从穿管孔13穿设，穿管孔13起到支撑定位作用，管托槽12与穿管孔13配合，将回液管3的上部和下部分别定位，避免回液管3晃动。
34.上述实施例的硅材料管状零件的夹持机构具有操作方便，结构简单，夹持可靠，通用性强的优点。使用时先根据硅管5长度将两个固定夹2分别安装在合适位置，然后将硅管5插入第一夹持板22和第二夹持板23之间，转动螺杆24使第一夹持板22和第二夹持板23靠近并夹紧硅管5，将清洗液的进液管4与硅管5下端连接，回液管3与硅管5上端连接，状态如图5
所示，此时夹持机构保证硅管5位置固定，可以通入清洗液进行清洗，实现清洗液下进上出的清洗方式。
35.最后应说明的是，以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。