具有多喷淋管的管组结构及前驱体封装装置的制作方法

技术特征：
1.一种具有多喷淋管的管组结构，其特征在于，包括：至少一个喷淋管组，所述喷淋管组包括至少一环形管和多个支路管，多个所述支路管沿所述环形管的周向方向间隔设置，每一所述支路管的一端还与所述环形管连接并导通，其中，所述环形管和支路管中的至少一者上还设置有与自身内部管腔连通的气管口。2.根据权利要求1所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述支路管上的气管口位于所述支路管的端部和/或位于两端部之间的区域；和/或，所述支路管上设置有多个气管口，多个所述气管口等间距分布；和/或，所述支路管为直线形管。3.根据权利要求1所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：多个所述支路管沿所述环形管的周向方向等间距分布；和/或，多个所述支路管呈镜像对称分布。4.根据权利要求3所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述环形管和多个支路管位于同一平面内；和/或，所述环形管和多个支路管整体为镜像对称结构。5.根据权利要求1所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述环形管上设置有多个气管口，多个所述气管口沿所述环形管的周向方向依次间隔分布；和/或，所述环形管上的多个气管口等间距分布；和/或，所述环形管上的多个气管口呈镜像对称分布；和/或，所述环形管为镜像对称结构；和/或，所述环形管包括圆环形管。6.根据权利要求1或5所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述喷淋管组包括多个环形管，任意两个所述环形管所围合形成的空间的正投影面积不同，其中，任一所述环形管环绕设置在另一所述环形管的外围，或者，任一所述环形管设置在由另一所述环形管围合形成的空间内，相邻两个所述环形管之间具有间隙，且相邻两个所述环形管还经所述支路管连接并导通；和/或，多个所述环形管同轴设置；和/或，多个所述环形管等间距设置。7.根据权利要求6所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述喷淋管组还包括至少一中心连接管，所述中心连接管设置在由位于最内层的一环形管围合形成的空间内，且所述中心连接管的两端部均与位于最内层的环形管连接并导通；和/或，所述中心连接管的端部和/或中心连接管位于两端部之间的区域还设置有与自身内部管腔连通的气管口；和/或，所述环形管、支路管、中心连接管的管径相同或不同，设置于所述环形管、支路管、中心连接管上的气管口的口径相同或不同。8.根据权利要求7所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：所述喷淋管组包括多个中心连接管，多个中心连接管之间还相互交叉并导通；和/或，多个所述中心连接管具有同一交叉连通位置；和/或，多个所述中心连接管的交叉连通位置位于与之连通的环形管的几何中心位置；和/或，多个所述中心连接管的交叉连通位置处还设置有气管口；
和/或，多个所述中心连接管整体为镜像对称结构；和/或，所述环形管、多个支路管以及中心连接管位于同一平面内；和/或，所述喷淋管组整体为镜像对称结构。9.根据权利要求1或7所述的具有多喷淋管的管组结构，其特征在于：多个具有不同尺寸的喷淋管组，其中一个所述喷淋管组的环形管、支路管、中心连接管中至少一者还与另一喷淋管组的环形管、支路管、中心连接管中至少一者连接并导通；和/或，所述具有多喷淋管的管组结构整体为镜像对称结构。10.一种前驱体封装装置，包括封装容器、进气管和出气管，所述进气管和出气管分别与所述封装容器内部的封装腔室相连通，其特征在于，还包括：权利要求1-9中任一项所述的具有多喷淋管的管组结构，所述具有多喷淋管的管组结构设置在所述封装腔室内，或者，所述具有多喷淋管的管组结构一体设置在所述封装容器的容器壁或容器盖的内部，且所述具有多喷淋管的管组结构还与所述进气管、封装腔室相连通；和/或，所述出气管的一端位于所述封装腔室的底部区域。

技术总结
本实用新型公开了一种具有多喷淋管的管组结构及前驱体封装装置。所述管组结构包括：至少一个喷淋管组，所述喷淋管组包括至少一环形管和多个支路管，多个所述支路管沿所述环形管的周向方向间隔设置，每一所述支路管的一端还与所述环形管连接并导通，其中，所述环形管和支路管中的至少一者上还设置有与自身内部管腔连通的气管口。本实用新型实施例提供的一种具有多喷淋管的管组结构，改善了封装容器内部的进气分布均匀性，增大了载气与固态前躯体接触面积，解决了随着前躯体使用消耗出现的封装容器内前躯体浓度波动的问题。装容器内前躯体浓度波动的问题。装容器内前躯体浓度波动的问题。


技术研发人员：闫其昂 王国斌
受保护的技术使用者：江苏第三代半导体研究院有限公司
技术研发日：2022.05.24
技术公布日：2022/8/23