纳米晶软磁合金的制作方法

技术特征：
1.一种合金，其中，包含fe、b、p和cu，具备非晶相以及在所述非晶相内形成的复数个晶相，合金整体中的平均fe浓度为79原子％以上，将原子探针层析中的边长为1.0nm的复数个区域中的cu浓度为6.0原子％以上的区域作为cu簇时，cu簇的密度为0.20
×
10
24
/m3以上。2.一种合金，其中，包含fe、b、p和cu，具备非晶相以及在所述非晶相内形成的复数个晶相，合金整体中的平均fe浓度为79原子％以上，原子探针层析中的边长为1.0nm的复数个区域中的fe浓度为80原子％以下的区域中的平均fe浓度为74.5原子％以下。3.一种合金，其中，包含fe、b、p和cu，具备非晶相以及在所述非晶相内形成的复数个晶相，合金整体中的平均fe浓度为79原子％以上，原子探针层析中的边长为1.0nm的复数个区域中的fe浓度为90原子％以上的区域中的平均b原子浓度除以所述合金整体的平均b原子浓度的平方根所得到的值为0.56原子％
0.5
以上。4.一种合金，其中，包含fe、b、p和cu，具备非晶相以及在所述非晶相内形成的复数个晶相，合金整体中的平均fe浓度为79原子％以上，原子探针层析中的边长为1.0nm的复数个区域中的fe浓度为80原子％以下的区域中的平均cu原子浓度除以所述复数个区域中的fe浓度为90原子％以上的区域中的平均cu原子浓度所得到的值为1.8以上。5.一种合金，其中，包含fe、b、p和cu，具备非晶相以及在所述非晶相内形成的复数个晶相，合金整体中的平均fe浓度为79原子％以上，在原子探针层析中的使用边长为1.0nm的复数个区域而得到的以fe浓度为80原子％作为界面的等浓度面附近浓度分布图中，设向所述晶相靠近的方向为正时，距所述界面-2.0nm的位置以及距所述界面-4.0nm的位置的fe浓度的斜率为0.03原子％/nm以上。6.一种合金，其中，包含fe、b、p和cu，具备非晶相以及在所述非晶相内形成的复数个晶相，合金整体中的平均fe浓度为79原子％以上，将原子探针层析中的边长为1.0nm的复数个区域中的cu浓度为1.5原子％以上的区域作为cu簇时的cu簇的密度除以将所述复数个区域中的cu浓度为6.0原子％以上的区域作为
cu簇时的cu簇的密度所得到的值为15以下。7.一种合金，其中，包含fe、b、p和cu，具备非晶相以及在所述非晶相内形成的复数个晶相，合金整体中的平均fe浓度为79原子％以上，在原子探针层析中的边长为1.0nm的复数个区域中的fe浓度为80原子％以下的区域中，将所述复数个区域中的cu浓度为2.3原子％以上的区域作为cu簇时，cu簇的平均球当量径为3.0nm以上。8.如权利要求1～7中任一项所述的合金，其中，所述合金整体中的平均fe浓度为83原子％以上且为88原子％以下，所述合金整体中的平均b浓度为2.0原子％以上且为12原子％以下，所述合金整体中的平均p浓度为2.0原子％以上且为12原子％以下，所述合金整体中的平均cu浓度为0.4原子％以上且为1.4原子％以下，所述合金整体中的平均si浓度与平均c浓度之和为0原子％以上且为3.0原子％以下，所述合金整体中的除fe、b、p、cu、si和c以外的元素的平均原子浓度为0原子％以上且为0.3原子％以下。9.如权利要求1～8中任一项所述的合金，其中，所述合金整体中的平均b原子浓度除以平均p原子浓度所得到的值为1.5以上且为3.5以下。10.如权利要求1～9中任一项所述的合金，其中，将所述复数个区域中的cu浓度为1.5原子％以上的区域作为cu簇时的cu簇的密度除以所述合金整体中的平均cu原子浓度所得到的值为3.0
×
10
24
/m3/原子％以下。11.如权利要求1～10中任一项所述的合金，其中，所述复数个区域中的fe浓度为90原子％以上的区域中的平均p原子浓度除以所述合金整体中的平均p原子浓度所得到的值为0.36以下。12.如权利要求1～11中任一项所述的合金，其中，所述复数个区域中的fe浓度为80原子％以下的区域中的平均p原子浓度除以所述合金整体的平均p原子浓度所得到的值为1.6以上。13.如权利要求1～12中任一项所述的合金，其中，在使用所述复数个区域而得到的以fe浓度为80原子％作为界面的等浓度面附近浓度分布图中，在距所述界面
±
5.0nm的范围内，cu浓度的最大值为1.25原子％以上。14.如权利要求1～13中任一项所述的合金，其中，在使用所述复数个区域而得到的以fe浓度为80原子％作为界面的等浓度面附近浓度分布图中，在距所述界面
±
5.0nm的范围内，p原子浓度/b原子浓度具有极小值和极大值。15.如权利要求1～14中任一项所述的合金，其中，在使用所述复数个区域而得到的以fe浓度为80原子％作为界面的等浓度面附近浓度分布图中，在距所述界面
±
3.0nm的范围内，p原子浓度/b原子浓度的极大值为1.0以上。16.如权利要求1～15中任一项所述的合金，其中，在使用所述复数个区域而得到的以fe浓度为80原子％作为界面的等浓度面附近浓度分布图中，距所述界面
±
3.0nm的范围内的p原子浓度/b原子浓度的极大值除以所述合金整体中的平均p原子浓度/平均b原子浓度
所得到的值为1.0以上。17.如权利要求1～16中任一项所述的合金，其中，在所述复数个区域中的fe浓度为80原子％以上的区域中，将所述复数个区域中的cu浓度为2.3原子％以上的区域作为cu簇时，cu簇的平均球当量径为3.0nm以上。

技术总结
本发明为一种合金，其包含Fe、B、P和Cu，具备非晶相以及在上述非晶相内形成的复数个晶相，合金整体中的平均Fe浓度为79原子％以上，将原子探针层析中的边长为1.0nm的复数个区域中的Cu浓度为6.0原子％以上的区域作为Cu簇时，Cu簇的密度为0.20


技术研发人员：富田龙也 野村要平 埋桥淳 大久保忠胜 宝野和博
受保护的技术使用者：国立研究开发法人物质
技术研发日：2020.12.22
技术公布日：2022/8/12