蒸镀机内部光电对位装置的制作方法

1.本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种在镀膜机的有限狭小的空间内使用，帮助使用者克服人体视觉限制，确定蒸发源坩埚和晶振头晶振片的相对位置，发现和避免部件干涉的蒸镀机内部光电对位装置。


背景技术：

2.在蒸镀机设备上，蒸发源坩埚和晶振探头（晶振片）同处于一个真空环境中，且坩埚中心位置与晶振片位置要相对固定，若位置出现变化或出现空间干涉则会影响膜层性能，发生参数偏移。生产用大型镀膜机的真空腔体中通常会设置多个蒸发源（比如主料源和参杂源），也就是多个坩埚位（主坩埚和参杂坩埚），每个坩埚位原则上要对应一个晶振探头，为了避免各个源同时工作时的相互干扰，在加热源附近和各晶振探头附近会安装一些遮挡机构，这些机构调整不到位就会引起上面所说的空间干涉。
3.在镀膜生产中，经常需要进行必要维护，比如坩埚加换料、更换晶振片、校准控制参数、清洗真空腔体结构件等。维护前后要保证各个部件位置的准确性，这是非常重要的，特别是在对镀膜工艺批次一致性要求高的场合，如oled白光结构镀膜。
4.一般来说，镀膜机腔体空间有限，坩埚和晶振头嵌入在腔壁内，一般不可能同时采取有效照明，再加上可能有很多遮挡机构，操作人员在维护时很难进行多部件的准确定位，只能靠经验来定位。


技术实现要素：

5.本发明所要解决的就是目前镀膜机内腔体空间有限，操作人员维修时定位困难且不准确的问题，提供一种在镀膜机的有限狭小的空间内使用，帮助使用者克服人体视觉限制，确定蒸发源坩埚和晶振头晶振片的相对位置，发现和避免部件干涉的蒸镀机内部光电对位装置。
6.本发明的蒸镀机内部光电对位装置，其特征在于该对位装置包括外壳、照明系统、半反半透式光路、准直激光器和电源，照明系统设置在外壳上部，半反半透式光路设置在外壳内部，准直激光器水平设置在外壳一端，外壳另一端设置有出口光阑；其中：照明系统包括从上至下顺序设置的led光源、凸透镜和玻璃窗口，led光源朝下发光，凸透镜为单面磨砂凸透镜，凸面朝上；玻璃窗口为双面磨砂的玻璃；半反半透式光路由三个三棱镜组合而成，其中第一个三棱镜的斜边朝上，一个直角边朝向准直激光器，另一个直角边向下，第二个三棱镜与第一个三棱镜平行放置，第三个三棱镜的斜边覆盖在第二个三棱镜的斜边上，准直激光器射出的光线顺序穿过半反半透式光路后从出口光阑中射出；电源通过导线与led光源和准直激光器连接，为led光源和准直激光器提供电能。
7.所述的外壳侧壁上还设置有观察口，观察口位置位于第二个三棱镜和第三个三棱镜的斜面的接触位置上方。
8.本发明的蒸镀机内部光电对位装置，设计科学，使用方便，结构合理，操作人员通过调整半反半透式光路位置，将led光源发出的光线进入遮挡机构，并照射在晶振片上，并可以通过观察口直接观察或外接ccd以呈现光照效果和位置，并利用准直激光器发射红外光产生红色光斑，便于观察调整，提高定位的准确性。
附图说明
9.图1为本发明结构示意图。
10.其中，led光源1，凸透镜2，玻璃窗口3，三棱镜4，准直激光器5，出口光阑6，观察口7，晶振片8。
具体实施方式
11.实施例1：一种蒸镀机内部光电对位装置，包括外壳、照明系统、半反半透式光路、准直激光器5和电源，照明系统设置在外壳上部，半反半透式光路设置在外壳内部，准直激光器5水平设置在外壳一端，外壳另一端设置有出口光阑6；其中：照明系统包括从上至下顺序设置的led光源1、凸透镜2和玻璃窗口3，led光源1朝下发光，凸透镜2为单面磨砂凸透镜2，凸面朝上；玻璃窗口3为双面磨砂的玻璃；半反半透式光路由三个三棱镜4组合而成，其中第一个三棱镜4的斜边朝上，一个直角边朝向准直激光器5，另一个直角边向下，第二个三棱镜4与第一个三棱镜4平行放置，第三个三棱镜4的斜边覆盖在第二个三棱镜4的斜边上，准直激光器5射出的光线顺序穿过半反半透式光路后从出口光阑6中射出；电源通过导线与led光源1和准直激光器5连接，为led光源1和准直激光器5提供电能。
12.外壳侧壁上还设置有观察口7，观察口7位置位于第二个三棱镜4和第三个三棱镜4的斜面的接触位置上方。
13.照明系统的led光源1所发射的点状光线通过单面磨砂的凸透镜2和双面磨砂的玻璃窗口3转化为平行出射光，既为平面光线。平面光线通过第一个三棱镜4的斜面反射后光路改变90
°
，此时中心光路与系统轴线重合，，光线进入第二个三棱镜4的入射面，穿过第二个三棱镜4后通过第二个三棱镜4和第三个三棱镜4相接触的斜面，从第三个三棱镜4以平行光形式射出，并通过出口光阑6来控制有效的照明区域。
14.操作人员通过调整半反半透式光路在外壳中的位置，使得出射的照明平行光进入遮挡机构后照射在晶振片8上，晶振片8的像通过第二个三棱镜4和第三个三棱镜4带的接触面在观察口7处呈现。同时，操作人员观察准直激光器5的红点光斑着落点，是否在关心的区域，如坩埚口；如果出口光阑6与晶振片8之间出现遮挡物，就会在观察口7中呈现，此时就需要进行调整，避免干涉。


技术特征：
1.一种蒸镀机内部光电对位装置，其特征在于该对位装置包括外壳、照明系统、半反半透式光路、准直激光器（5）和电源，照明系统设置在外壳上部，半反半透式光路设置在外壳内部，准直激光器（5）水平设置在外壳一端，外壳另一端设置有出口光阑（7）；其中：照明系统包括从上至下顺序设置的led光源（1）、凸透镜（2）和玻璃窗口（3），led光源（1）朝下发光，凸透镜（2）为单面磨砂凸透镜（2），凸面朝上；玻璃窗口（3）为双面磨砂的玻璃；半反半透式光路由三个三棱镜（4）组合而成，其中第一个三棱镜（4）的斜边朝上，一个直角边朝向准直激光器（5），另一个直角边向下，第二个三棱镜（4）与第一个三棱镜（4）平行放置，第三个三棱镜（4）的斜边覆盖在第二个三棱镜（4）的斜边上，准直激光器（5）射出的光线顺序穿过半反半透式光路后从出口光阑（7）中射出；电源通过导线与led光源（1）和准直激光器（5）连接，为led光源（1）和准直激光器（5）提供电能。2.如权利要求1所述的蒸镀机内部光电对位装置，其特征在于所述的外壳侧壁上还设置有观察口（7），观察口（7）位置位于第二个三棱镜（4）和第三个三棱镜（4）的斜面的接触位置上方。

技术总结
蒸镀机内部光电对位装置，涉及真空镀膜技术领域。本发明的蒸镀机内部光电对位装置，其特征在于该对位装置包括外壳、照明系统、半反半透式光路、准直激光器和电源，照明系统设置在外壳上部，半反半透式光路设置在外壳内部，准直激光器水平设置在外壳一端，外壳另一端设置有出口光阑。本发明的蒸镀机内部光电对位装置，设计科学，使用方便，结构合理，操作人员通过调整半反半透式光路位置，将LED光源发出的光线进入遮挡机构，并照射在晶振片上，并可以通过观察口直接观察或外接CCD以呈现光照效果和位置，并利用准直激光器发射红外光产生红色光斑，便于观察调整，提高定位的准确性。提高定位的准确性。提高定位的准确性。


技术研发人员：王俊伟
受保护的技术使用者：昆明申北科技有限公司
技术研发日：2022.04.01
技术公布日：2022/7/15