镜片的制造方法与流程

技术特征：
1.一种镜片的制造方法，其特征在于，包括：提供基底；在基底上形成浸润结构，所述浸润结构与基底围成凹槽；在所述凹槽中加入液态的掩膜材料，使所述液态的掩膜材料因表面张力具有曲形顶表面；固化所述液态的掩膜材料，形成镜片掩膜；将所述镜片掩膜的图形转移到所述基底中，形成镜片。2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在基底上形成浸润结构的步骤包括：形成环形凸起结构，所述环形凸起结构与所述基底围成凹槽。3.如权利要求2所述的制造方法，其特征在于，形成环形凸起结构的步骤包括：在所述基底上形成牺牲层；在所述牺牲层的侧壁上形成侧壁层；去除所述牺牲层，形成所述环形凸起结构。4.如权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述环形凸起结构的材料为光刻胶或硬掩膜材料。5.如权利要求2所述的制造方法，其特征在于，形成环形凸起结构的步骤包括：在所述基底上形成环形掩膜图形层；以所述环形掩膜图形为掩膜刻蚀所述基底，形成所述环形凸起结构。6.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在基底上形成浸润结构的步骤包括：在所述基底上形成覆盖所述基底的图形层；在所述图形层中形成露出所述基底的凹槽。7.如权利要求1～6任一项所述的制造方法，其特征在于，所述凹槽在所述基底上投影为圆形。8.如权利要求1～6任一项所述的制造方法，其特征在于，所述液态的掩膜材料为液态光刻胶；通过点胶的方式在所述凹槽中加入液态的掩膜材料。9.如权利要求1～6任一项所述的制造方法，其特征在于，所述制造方法还包括：在所述凹槽中加入液态的掩膜材料之后，形成所述镜片掩膜之前，执行塑形工艺。10.如权利要求1～6任一项所述的制造方法，其特征在于，通过干法刻蚀，将所述镜片掩膜图形转移到所述基底中。

技术总结
本发明实施例提供一种镜片的制造方法，包括：提供基底；在基底上形成浸润结构，所述浸润结构与基底围成凹槽；在所述凹槽中加入液态的掩膜材料，使所述液态的掩膜材料因表面张力具有曲形顶表面；固化所述液态的掩膜材料，形成镜片掩膜；将所述镜片掩膜的图形转移到所述基底中，形成镜片。本发明实施例无需通过多次重复的工艺，即可实现具有曲面顶表面的镜片制造，简化了工艺制程、提高了制造效率。提高了制造效率。提高了制造效率。


技术研发人员：桂珞 韩凤芹
受保护的技术使用者：中芯集成电路（宁波）有限公司
技术研发日：2020.12.31
技术公布日：2022/7/1