一种硒化锌物理气相沉积用模具的制作方法

1.本实用新型涉及光学材料制备技术领域，尤其涉及一种硒化锌物理气相沉积用模具。


背景技术：

2.硒化锌(znse)晶体是一种ii-vi族宽禁带化合物半导体材料，由于其优秀的物理化学性质，在蓝光半导体发光器件、非线性光电器件、核辐射探测器件和近紫外—可见光探测器件方面具有重要的应用前景。由于硒化锌单晶体的生长对杂质十分敏感，目前常用的硒化锌单晶的制备方法包括熔体法、化学气相沉积法(cvd)和物理气相沉积法(pvd)。其中利用物理沉积法制备硒化锌晶体时需要使用耐高温、不易氧化的沉积模具，现有技术中通常是使用拼接钼片、密封钼片和卡箍组合形成的沉积模具，但该模具在高温条件下会产生钼的氧化物附着在模具的表面，难以清洗，而且也会导致沉积的晶体质量不好。同时，该沉积磨具的装配过程较为复杂繁琐，且在高温下性能不稳定，需要消耗大量的人力物力资源，导致成本增加。
3.因此。需要研发出一款结构简单、性能稳定、且拆装方便的沉积用模具，是本领域技术人员亟需解决的。


技术实现要素：

4.本实用新型实施例公开了一种硒化锌物理气相沉积用模具，用于解决传统的沉积模具装配复杂、性能不稳定的技术问题，以降低生产成本，保证沉积产品的质量。
5.本实用新型实施例提供了一种硒化锌物理气相沉积用模具，包括第一模具和第二模具，所述第一模具和第二模具的材质为石英材质，所述第一模具包括第一面板和第二面板，所述第二模具包括第三面板和第四面板，所述第一面板与第二面板的内侧面均设置有凸台，所述第三面板与第四面板的端面均设置有与所述凸台相配合的凹槽。
6.进一步的，所述凸台包括与第一面板/第二面板相接的连接块、以及位于所述连接块端面的安装板，所述凹槽的内侧壁设置有径向向内突出的限位块，于第一模具与第二模具配合连接时，所述限位块夹持所述连接块，且所述限位块位于所述安装板的上方。
7.进一步的，所述安装板与所述限位块之间具有间隙，用于调整第一模具与第二模具之间的位置。
8.进一步的，所述安装板与所述凹槽的侧壁相抵靠。
9.进一步的，所述凸台与所述凹槽的高度相同。
10.进一步的，所述凸台与所述凹槽的长度相同。
11.进一步的，所述限位块沿所述凹槽的上边沿径向向内突出设置。
12.进一步的，所述安装板与所述连接块垂直相连。
13.进一步的，所述第一模具和第二模具的材质为石英材质。
14.进一步的，所述第一面板与第二面板的夹角为90
°
，所述第三面板与第四面板的夹
角为90
°
。
15.从以上技术方案可以看出，本实用新型实施例具有以下优点：
16.本实用新型实施例提供了一种硒化锌物理气相沉积用模具，包括第一模具和第二模具，其中第一模具包括第一面板和第二面板，第二模具包括第三面板与第四面板，在第一面板与第二面板的内侧面上设置有凸块，而在第三面板与第四面板的端面设置有凹槽。凸块与凹槽可以相互卡接固定在一起的，进而实现第一模具与第二模具的固定连接。第一模具与第二模具通过首尾处的凸块与凹槽实现固定连接，进而形成一个完整的物理气相沉积用模具，该安装固定结构简单，且两者的安装操作简易，即能保证固定牢固的同时，又能节省人力。而且石英材质的第一模具和第二模具高温下不易氧化，性能稳定，且石英表面平滑，保证沉积产品稳定生产，提高沉积产品质量。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
18.图1为本实用新型实施例中提供的一种一种硒化锌物理气相沉积用模具；
19.图2为图1中的第二模具示意图；
20.图3为图1中的第一模具示意图。
21.1-第一模具，11-第一面板，12-第二面板，13-凸块，131-连接块，132-安装板，2-第二模具，21-第三面板，22-第四面板，23-凹槽，231-限位块。
具体实施方式
22.本实用新型实施例公开了一种硒化锌物理气相沉积用模具，用于解决传统沉积用模具结构复杂、安装繁琐的技术问题。
23.请参阅图1-3，本实用新型实施例中提供的一种硒化锌物理气相沉积用模具的一个实施例包括：第一模具1和第二模具2，第一模具1包括第一面板11和第二面板12，第二模具2包括第三面板21与第四面板22。于本实施例中，第一面板11与第二面板12之间的夹角为90
°
，第三面板21与第四面板22之间的夹角也为90
°
。即当第一模具1与第二模具固定连接在一起后，形成一个方形的沉积用模具框架。进一步的，在第一面板11与第二面板12的内侧面设置有凸块13，包括与第一面板11或者第二面板12相接的连接块131、以及设置在连接块131端面的安装板132，使得该凸块13的横截面为t型结构。同样的，在第三面板21与第四面板22的端面设置有用来卡接凸块13的凹槽23。该凹槽23的内侧壁具有径向向内延伸的限位块231，该限位块231是沿着第三面板21和第四面板的端面延伸设置的，使得凹槽23的横截面也呈t型结构。在其他实施例中，限位块231也可以设置在凹槽23内侧壁的某处，即限位块231与凹槽23的上端面(也即第三面板和第四面板的上端面)具有一定的距离。
24.当需要将第一模具1与第二模具2固定连接时，将安装板132滑进凹槽23内，而径向向内延伸的限位块231位于安装板132的上方，用来阻挡住安装板132从凹槽23的上端面滑出，实现第一模具1与第二模具2的固定连接。
25.进一步的，为了实现第一模具1与第二模具2之间的位置的微调，限位块231的下表面与安装板132的上表面具有间隙，同时也可以保证安装板132能够较为顺畅地滑进凹槽23内。而安装板132的侧壁与凹槽23的侧壁是相互抵靠在一起的，防止第一模具1与第二模具2之间发生晃动，影响沉积产品的质量。当然，在其他实施例中，安装板132的侧壁与凹槽23的内侧壁之间也可以具有间隙，来进行第一模具1与第二模具2位置的调整。同样的，在本实施例中，凹槽23的深度与凸块的高度相同，即当第一模具1与第二模具2固定连接时，第一面板11与第三面板21相抵靠，第二面板12与第四面板22相抵靠，从而使得第一模具1与第二模具2之间配合规整，形成方形的模具框架，而且该种配合结构也节约了材料，避免不必要的材料浪费。进一步的，凸台与凹槽23的长度也相同，以尽可能多的实现凸台与凹槽23卡接配合的接触面积，保证第一模具1与第二模具2固定的效果。
26.在本实施例中，安装板132与连接块131是垂直相连的，能够使得安装板132在滑进凹槽23时顺畅无阻。当然在其他实施例中，安装板与连接块之间的夹角也可以是锐角，即安装板与连接块之间是倾斜设置的。进一步的，由于传统的以钼为材质的沉积模具容易析出钼的氧化物，本实施例中的第一模具1和第二模具2的材质均为石英材质，该材质的第一模具1和第二模具2在高温下具有稳定的性能，不易氧化，且石英材质的第一模具1和第二模具2表面光滑，也保证了沉积产品的质量，使得沉积产品能够稳定生产。
27.本实用新型的硒化锌物理气相沉积用模具，舍弃了传统模具的密封件和卡箍，直接利用第一模具1与第二模具2滑槽一体装配连接，装配后的架构稳定，且拆装过程方便，即提高了安装的效率，有降低了人工成本；而且石英材质的第一模具1与第二模具2表面平滑，易清洗，延长了本实用新型实施例沉积用模具的使用寿命，同时也保证了沉积产品的质量，且石英材质的第一模具1和第二模具2在高温下也具有稳定的化学性能。
28.以上对本实用新型所提供的一种硒化锌物理气相沉积用模具进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。