一种硒化锌物理气相沉积用模具的制作方法

技术特征：
1.一种硒化锌物理气相沉积用模具，其特征在于，包括第一模具和第二模具，所述第一模具和第二模具的材质为石英材质，所述第一模具包括第一面板和第二面板，所述第二模具包括第三面板和第四面板，所述第一面板与第二面板的内侧面均设置有凸台，所述第三面板与第四面板的端面均设置有与所述凸台相配合的凹槽。2.根据权利要求1所述的硒化锌物理气相沉积用模具，其特征在于，所述凸台包括与第一面板/第二面板相接的连接块、以及位于所述连接块端面的安装板，所述凹槽的内侧壁设置有径向向内突出的限位块，于第一模具与第二模具配合连接时，所述限位块夹持所述连接块，且所述限位块位于所述安装板的上方。3.根据权利要求2所述的硒化锌物理气相沉积用模具，其特征在于，所述安装板与所述限位块之间具有间隙，用于调整第一模具与第二模具之间的位置。4.根据权利要求2所述的硒化锌物理气相沉积用模具，其特征在于，所述安装板与所述凹槽的侧壁相抵靠。5.根据权利要求1所述的硒化锌物理气相沉积用模具，其特征在于，所述凸台与所述凹槽的高度相同。6.根据权利要求1所述的硒化锌物理气相沉积用模具，其特征在于，所述凸台与所述凹槽的长度相同。7.根据权利要求2所述的硒化锌物理气相沉积用模具，其特征在于，所述限位块沿所述凹槽的上边沿径向向内突出设置。8.根据权利要求2所述的硒化锌物理气相沉积用模具，其特征在于，所述限位块与凹槽的上端具有间距。9.根据权利要求2所述的硒化锌物理气相沉积用模具，其特征在于，所述安装板与所述连接块垂直相连。10.根据权利要求1所述的硒化锌物理气相沉积用模具，其特征在于，所述第一面板与第二面板的夹角为90
°
，所述第三面板与第四面板的夹角为90
°
。

技术总结
本实用新型实施例公开了一种硒化锌物理气相沉积用模具，包括石英材质的第一模具与第二模具，第一模具包括第一面板和第二面板，而第二模具包括第三面板和第四面板，在第一面板与第二面板的内侧壁上设置有凸台，而在第三面板与第四面板的端面设置有凹槽。凸台与凹槽可以相互卡接配合，以实现第一模具与第二模具的固定连接，形成本实用新型的硒化锌物理气相沉积用模具，而且石英的性能稳定，耐高温。本实用新型实施例公开了一种硒化锌物理气相沉积用模具，用于解决传统的沉积模具装配复杂、性能不稳定的技术问题，以降低生产成本，保证沉积产品的质量。产品的质量。产品的质量。


技术研发人员：郭晨光 黄雪丽 尹士平 陈小民 王艺娜 杨安
受保护的技术使用者：安徽光智科技有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/5/24