一种用于碳化硅晶片的抛光装置的制作方法

1.本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，特别是涉及一种用于碳化硅晶片的抛光装置。


背景技术：

2.碳化硅晶片的主要应用领域有led固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，碳化硅晶片在生产过程中需要对晶片表面进行抛光。
3.目前使用的抛光装置在使用时通常无法更加全面自动化的对晶片表面进行抛光，通常抛光的过程中需要人工进行辅助，耗时耗力，同时自动化抛光无法更好的对装置的位置和角度进行调节，使用不够便捷。
4.因此，现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种用于碳化硅晶片的抛光装置。


技术实现要素：

5.为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本实用新型提供了一种用于碳化硅晶片的抛光装置。
6.本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是：一种用于碳化硅晶片的抛光装置，包括机体，还包括承托机构、固定机构、全面抛光机构和导向机构，所述承托机构固定安装在机体顶部两侧，所述承托机构内侧设置有缓冲减震机构，所述固定机构固定安装在机体顶部两侧，所述全面抛光机构固定安装在机体顶部两侧，所述全面抛光机构包括两个摇臂、两个分别固定安装在两个摇臂内部的第二电动推杆、两个分别固定安装在两个第二电动推杆的伸缩端的延长板、两个分别固定安装在两个延长板顶部的伺服电机、两个分别固定连接在两个伺服电机的伸缩端的转轴、多个分别固定安装在两个转轴两侧的活动块、多个分别配合安装在两个活动块内侧的活动钩和两个分别固定安装在多个活动钩一侧的抛光头，所述导向机构固定安装在摇臂下方。
7.优选的，所述承托机构包括两个分别开设在机体顶部两侧的安装槽、两个分别固定安装在两个安装槽内部的第一电动升降套杆、两个分别固定安装在两个一电动升降套杆顶部的固定板、两个分别固定安装在两个固定板顶部的托板和两个分别固定安装在两个托板顶部的防滑垫。
8.优选的，所述缓冲减震机构包括多个分别固定安装在两个安装槽内部的伸缩套、多个分别固定安装在多个伸缩套内部的固定块和多个分别配合安装在多个伸缩套内侧的伸缩杆，每个所述固定块与伸缩杆之间均连接有一个伸缩弹簧。
9.优选的，所述固定机构包括四个分别固定安装在机体顶部两侧的安装座、四个分别配安装在四个安装座内侧的销轴、四个分别固定安装在四个销轴一侧的安装块、四个分
别固定安装在四个安装块一侧的第一电动推杆和四个分别固定安装在四个第一电动推杆的伸缩端的夹板。
10.优选的，所述全面抛光机构包括两个分别固定安装在机体外壁两侧的支撑板、两个分别固定安装在两个支撑板顶部的电动转台、两个分别固定安装在两个电动转台顶部的连接板、两个分别固定安装在两个连接板顶部的第二电动升降套杆。
11.优选的，所述导向机构包括两个分别固定安装在机体顶部两侧的导向槽、两个分别配合安装在两个导向槽内侧的滑动块、两个分别固定安装在两个滑动块顶部的升降套和两个分别配合安装在两个升降套内侧的升降杆，两个所述升降杆顶端分别与两个摇臂底部连接固定。
12.本实用新型的有益效果是：
13.其一：本实用新型通过设置有全面抛光机构和导向机构，推动抛光头使抛光头带动抛光头两侧的活动钩与活动块两侧相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹，从而使活动块与活动钩固定连接，从而使抛光头固定安装在转轴底部，可以更加便捷快速的对抛光头进行更换，以便于适应不同的抛光要求，再打开第二电动推杆使第二电动推杆带动延长板延伸至晶片的边缘处，可以更加便捷的对装置的抛光范围进行调节，使装置的可以对晶片的各个位置进行抛光，避免抛光死角，打开第二电动升降套杆使第二电动升降套杆带动摇臂上下移动，直至抛光头与晶片表面贴紧固定，再打开电动转台使电动转台带动摇臂来回转动，摇臂在移动过程中带动升降杆和升降套进行移动，从而使滑动块在导向槽内部来回滑动，可以更加便捷的对摇臂的移动范围进行导向，对电动转台的旋转范围进行限定，同时升降杆和升降套的设置，可以便捷的跟随摇臂的高度调节进行同步调节，使用更加的便捷快速，在电动转台来回旋转的过程中，打开第二电动推杆使第二电动推杆带动延长板缓慢收缩，从而达到对晶片整体进行全面抛光的效果，无需工作人员手动调节，使用更加的便捷。
附图说明
14.图1为本实用新型的立体结构示意图；
15.图2为本实用新型的承托机构和缓冲减震机构结构示意图；
16.图3为本实用新型的全面抛光机构和导向机构结构示意图；
17.图4为本实用新型的图3中a处放大结构示意图。
18.附图标记说明：1、机体；2、承托机构；21、安装槽；22、第一电动升降套杆；23、固定板；24、托板；25、防滑垫；3、缓冲减震机构；31、伸缩套；32、固定块；33、伸缩弹簧；34、伸缩杆；4、晶片；5、固定机构；51、安装座；52、销轴；53、安装块；54、第一电动推杆；55、夹板；6、全面抛光机构；61、支撑板；62、电动转台；63、连接板；64、第二电动升降套杆；65、摇臂；66、第二电动推杆；67、延长板；68、伺服电机；69、转轴；610、活动块；611、活动钩；612、抛光头；7、导向机构；71、导向槽；72、滑动块；73、升降套；74、升降杆。
具体实施方式
19.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分
理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
20.如图1至4所示，本实用新型提供了一种用于碳化硅晶片的抛光装置，包括机体1，还包括承托机构2、固定机构5、全面抛光机构6和导向机构7，承托机构2固定安装在机体1顶部两侧，承托机构2内侧设置有缓冲减震机构3，固定机构5固定安装在机体1顶部两侧，全面抛光机构6固定安装在机体1顶部两侧，全面抛光机构6包括两个摇臂65、两个分别固定安装在两个摇臂65内部的第二电动推杆66、两个分别固定安装在两个第二电动推杆66的伸缩端的延长板67、两个分别固定安装在两个延长板67顶部的伺服电机68、两个分别固定连接在两个伺服电机68的伸缩端的转轴69、多个分别固定安装在两个转轴69两侧的活动块610、多个分别配合安装在两个活动块610内侧的活动钩611和两个分别固定安装在多个活动钩611一侧的抛光头612，导向机构7固定安装在摇臂65下方。
21.上述具体实施方案：推动抛光头612使抛光头612带动抛光头612两侧的活动钩611与活动块610两侧相接触，持续推动使活动钩611两侧向内折叠，直至通过活动块610，活动钩611再进行回弹，从而使活动块610与活动钩611固定连接，从而使抛光头612固定安装在转轴69底部，可以更加便捷快速的对抛光头612进行更换，以便于适应不同的抛光要求，再打开第二电动推杆66使第二电动推杆66带动延长板67延伸至晶片4的边缘处，可以更加便捷的对装置的抛光范围进行调节，使装置的可以对晶片4的各个位置进行抛光，避免抛光死角。
22.具体的，承托机构2包括两个分别开设在机体1顶部两侧的安装槽21、两个分别固定安装在两个安装槽21内部的第一电动升降套杆22、两个分别固定安装在两个一电动升降套杆22顶部的固定板23、两个分别固定安装在两个固定板23顶部的托板24和两个分别固定安装在两个托板24顶部的防滑垫25，通过设置有安装槽21、第一电动升降套杆22、固定板23、托板24和防滑垫25，可以更加便捷的对晶片4进行支撑，并且根据不同厚度的晶片4调节位置，使用更加的便捷。
23.具体的，缓冲减震机构3包括多个分别固定安装在两个安装槽21内部的伸缩套31、多个分别固定安装在多个伸缩套31内部的固定块32和多个分别配合安装在多个伸缩套31内侧的伸缩杆34，每个固定块32与伸缩杆34之间均连接有一个伸缩弹簧33，通过设置有伸缩套31、固定块32、伸缩弹簧33和伸缩杆34，可以更加便捷的的对晶片4进行支撑减震，防止在抛光过程中抛光头612与晶片4之间产生较大的压力，导致晶片4的损坏。
24.具体的，固定机构5包括四个分别固定安装在机体1顶部两侧的安装座51、四个分别配安装在四个安装座51内侧的销轴52、四个分别固定安装在四个销轴52一侧的安装块53、四个分别固定安装在四个安装块53一侧的第一电动推杆54和四个分别固定安装在四个第一电动推杆54的伸缩端的夹板55，通过设置有安装座51、销轴52、安装块53、第一电动推杆54和夹板55，可以对晶片4进行固定限位，使晶片4在抛光过程中保持稳定，同时夹板55为弧形，与晶片4可以很好的贴合，避免对晶片4造成损坏。
25.具体的，全面抛光机构6包括两个分别固定安装在机体1外壁两侧的支撑板61、两个分别固定安装在两个支撑板61顶部的电动转台62、两个分别固定安装在两个电动转台62顶部的连接板63、两个分别固定安装在两个连接板63顶部的第二电动升降套杆64。
26.具体的，导向机构7包括两个分别固定安装在机体1顶部两侧的导向槽71、两个分别配合安装在两个导向槽71内侧的滑动块72、两个分别固定安装在两个滑动块72顶部的升降套73和两个分别配合安装在两个升降套73内侧的升降杆74，两个升降杆74顶端分别与两个摇臂65底部连接固定，通过设置有导向槽71、滑动块72、升降套73和升降杆74，可以更加便捷的对摇臂65的移动范围进行导向，对电动转台62的旋转范围进行限定，同时升降杆74和升降套73的设置，可以便捷的跟随摇臂65的高度调节进行同步调节，使用更加的便捷快速。
27.综上，本实用新型包括：首先接通外部电源，将晶片4放置在托板24顶部，再打开第一电动推杆54使第一电动推杆54带动夹板55移动至合适位置，拉动第一电动推杆54使第一电动推杆54带动销轴52旋转向下，使夹板55插入晶片4边缘与安装槽21之间的缝隙内部，再打开第一电动推杆54使第一电动推杆54带动夹板55向内移动，对晶片4夹紧固定，再推动抛光头612使抛光头612带动抛光头612两侧的活动钩611与活动块610两侧相接触，持续推动使活动钩611两侧向内折叠，直至通过活动块610，活动钩611再进行回弹，从而使活动块610与活动钩611固定连接，从而使抛光头612固定安装在转轴69底部，然后打开第二电动推杆66使第二电动推杆66带动延长板67延伸至晶片4的边缘处，再打开第二电动升降套杆64使第二电动升降套杆64带动摇臂65上下移动，直至抛光头612与晶片4表面贴紧固定，再打开电动转台62使电动转台62带动摇臂65来回转动，在电动转台62来回旋转的过程中，打开第二电动推杆66使第二电动推杆66带动延长板67缓慢收缩，最后摇臂65在移动过程中带动升降杆74和升降套73进行移动，从而使滑动块72在导向槽71内部来回滑动，可以更加便捷的对摇臂65的移动范围进行导向，其中第一电动升降套杆22的型号为：ys-nz100-12a，第一电动推杆54的型号为：xydha24-800，电动转台62的型号为：dg60-5，第二电动升降套杆64的型号为：ys-nz100-12a，第二电动推杆66的型号为：xydha24-800，伺服电机68的型号为：ye2-132s-4。
28.以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或者多种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。