一种用于碳化硅晶片的抛光装置的制作方法

技术特征：
1.一种用于碳化硅晶片的抛光装置，包括机体（1），其特征在于：还包括承托机构（2）、固定机构（5）、全面抛光机构（6）和导向机构（7），所述承托机构（2）固定安装在机体（1）顶部两侧，所述承托机构（2）内侧设置有缓冲减震机构（3），所述固定机构（5）固定安装在机体（1）顶部两侧，所述全面抛光机构（6）固定安装在机体（1）顶部两侧，所述全面抛光机构（6）包括两个摇臂（65）、两个分别固定安装在两个摇臂（65）内部的第二电动推杆（66）、两个分别固定安装在两个第二电动推杆（66）的伸缩端的延长板（67）、两个分别固定安装在两个延长板（67）顶部的伺服电机（68）、两个分别固定连接在两个伺服电机（68）的伸缩端的转轴（69）、多个分别固定安装在两个转轴（69）两侧的活动块（610）、多个分别配合安装在两个活动块（610）内侧的活动钩（611）和两个分别固定安装在多个活动钩（611）一侧的抛光头（612），所述导向机构（7）固定安装在摇臂（65）下方。2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光装置，其特征在于：所述承托机构（2）包括两个分别开设在机体（1）顶部两侧的安装槽（21）、两个分别固定安装在两个安装槽（21）内部的第一电动升降套杆（22）、两个分别固定安装在两个一电动升降套杆（22）顶部的固定板（23）、两个分别固定安装在两个固定板（23）顶部的托板（24）和两个分别固定安装在两个托板（24）顶部的防滑垫（25）。3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅晶片的抛光装置，其特征在于：所述缓冲减震机构（3）包括多个分别固定安装在两个安装槽（21）内部的伸缩套（31）、多个分别固定安装在多个伸缩套（31）内部的固定块（32）和多个分别配合安装在多个伸缩套（31）内侧的伸缩杆（34），每个所述固定块（32）与伸缩杆（34）之间均连接有一个伸缩弹簧（33）。4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光装置，其特征在于：所述固定机构（5）包括四个分别固定安装在机体（1）顶部两侧的安装座（51）、四个分别配安装在四个安装座（51）内侧的销轴（52）、四个分别固定安装在四个销轴（52）一侧的安装块（53）、四个分别固定安装在四个安装块（53）一侧的第一电动推杆（54）和四个分别固定安装在四个第一电动推杆（54）的伸缩端的夹板（55）。5.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光装置，其特征在于：所述全面抛光机构（6）包括两个分别固定安装在机体（1）外壁两侧的支撑板（61）、两个分别固定安装在两个支撑板（61）顶部的电动转台（62）、两个分别固定安装在两个电动转台（62）顶部的连接板（63）、两个分别固定安装在两个连接板（63）顶部的第二电动升降套杆（64）。6.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光装置，其特征在于：所述导向机构（7）包括两个分别固定安装在机体（1）顶部两侧的导向槽（71）、两个分别配合安装在两个导向槽（71）内侧的滑动块（72）、两个分别固定安装在两个滑动块（72）顶部的升降套（73）和两个分别配合安装在两个升降套（73）内侧的升降杆（74），两个所述升降杆（74）顶端分别与两个摇臂（65）底部连接固定。

技术总结
本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种用于碳化硅晶片的抛光装置，包括机体，还包括承托机构、固定机构、全面抛光机构和导向机构，所述承托机构固定安装在机体顶部两侧，本实用新型通过设置有全面抛光机构和导向机构，推动抛光头使抛光头带动抛光头两侧的活动钩与活动块两侧相接触，持续推动使活动钩两侧向内折叠，直至通过活动块，活动钩再进行回弹，从而使活动块与活动钩固定连接，从而使抛光头固定安装在转轴底部，可以更加便捷快速的对抛光头进行更换，以便于适应不同的抛光要求，再打开第二电动推杆使第二电动推杆带动延长板延伸至晶片的边缘处，可以更加便捷的对装置的抛光范围进行调节，使装置的可以对晶片的各个位置进行抛光。各个位置进行抛光。各个位置进行抛光。


技术研发人员：贺贤汉 章磊 李有群 陈辉 孙大方
受保护的技术使用者：安徽微芯长江半导体材料有限公司
技术研发日：2021.12.08
技术公布日：2022/5/16