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一种研磨砂浆罐的制作方法

2022-05-17 14:12:32 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及硅片切割设备技术领域,尤其涉及一种研磨砂浆罐。


背景技术:

2.现有的,在硅片的生产加工过程中,由于现有的砂浆罐的容量较小,需频繁更换砂浆罐内的砂浆,且由于砂浆罐内配置的砂浆的温度不易控制,会导致接收砂浆的研磨机内的定盘的形状发生变化,以至于加工的硅片的平坦度不能保证,使硅片生产的良品率下降。


技术实现要素:

3.(一)要解决的技术问题
4.鉴于现有技术的上述缺点、不足,本实用新型提供一种研磨砂浆罐,保证了砂浆排出的温度进而保证了硅片的平坦度,提高了硅片生产的良品率。
5.(二)技术方案
6.为了达到上述目的,本实用新型采用的主要技术方案包括:
7.本实用新型实施例提供一种研磨砂浆罐,包括罐体及搅拌机构;罐体为回转体结构,罐体的内部设有放置砂浆的砂浆腔,罐体的壁面内部设有与砂浆腔间隔的容纳腔,在容纳腔内设有冷却液,在罐体的外壁面上开设有连通容纳腔的进液口和出液口;搅拌机构包括搅拌组件及驱动搅拌组件转动的搅拌泵;搅拌组件设置在砂浆腔中,搅拌组件与罐体沿同一中心轴线设置。
8.优选地,罐体包括第一筒体和第二筒体,第二筒体套设在第一筒体的外侧,第一筒体和第二筒体之间的间隙形成容纳腔。
9.优选地,还包括抽吸泵,抽吸泵的吸入口与砂浆腔连通,抽吸泵的吸出口用于与研磨机的入口连通。
10.优选地,还包括盖体,盖体盖设在罐体的顶端;搅拌泵及抽吸泵均设置在盖体的顶端。
11.优选地,盖体包括第一连接盖和第二连接盖,第一连接盖和第二连接盖拼接形成盖体;第一连接盖上设有第一连接通孔和第二连接通孔,第一连接通孔设置在搅拌组件的中心轴线上;搅拌泵设置在第一连接盖上,搅拌泵的输出端穿过第一连接通孔与搅拌组件连接;抽吸泵设置在第一连接盖上,抽吸泵的吸入口穿过第二连接通孔与砂浆腔连接。
12.优选地,在第一连接盖和第二连接盖上均设有把手。
13.优选地,还包括多组滚轮组件;滚轮组件设置在罐体的外壁面上,且多组滚轮组件以罐体的中心轴线为中心周向等间距布置。
14.优选地,滚轮组件包括底板及与底板底端转动连接的滚轮;底板与罐体的外壁面连接;滚轮组件还包括加强筋,加强筋的一侧与罐体的外壁面连接,加强筋的另一侧与底板连接。
15.优选地,罐体的底部为锥形结构。
16.优选地,砂浆腔的体积大于等于150l。
17.(三)有益效果
18.本实用新型的有益效果是:
19.本实用新型的一种研磨砂浆罐,由于在罐体的壁面内部设有容纳腔,在容纳腔内设有冷却液,在罐体的外壁面上开设有连通容纳腔的进液口和出液口,进而降低了罐体内砂浆的温度,保证了砂浆排出的温度,避免了进入研磨机内的砂浆温度过高进而保证了硅片的平坦度,提高了硅片生产的良品率。
附图说明
20.图1为本实用新型的研磨砂浆罐俯视图;
21.图2为本实用新型的研磨砂浆罐后视图;
22.图3为本实用新型的研磨砂浆罐左视图;
23.图4为本实用新型的研磨砂浆罐附视图(未示出盖体、搅拌泵及抽吸泵);
24.图5为第一连接盖的俯视图;
25.图6为第二连接盖的俯视图。
26.【附图标记说明】
27.1:罐体;11:容纳腔;12:进液口;13:出液口;14:第一筒体;15:第二筒体;
28.2:搅拌机构;21:搅拌组件;22:搅拌泵;
29.3:抽吸泵;
30.4:盖体;41:第一连接盖;411:第一连接通孔;412:第二连接通孔;42:第二连接盖;43:把手;
31.5:滚轮组件;51:底板;52:滚轮;53:加强筋;
32.6:排浆管。
具体实施方式
33.为了更好的理解上述技术方案,下面将参照附图更详细地描述本实用新型的示例性实施例。虽然附图中显示了本实用新型的示例性实施例,然而应当理解,可以以各种形式实现本实用新型而不应被这里阐述的实施例所限制。相反,提供这些实施例是为了能够更清楚、透彻地理解本实用新型,并且能够将本实用新型的范围完整的传达给本领域的技术人员。
34.如图1-3所示,本实用新型实施例提供一种研磨砂浆罐包括罐体1、搅拌机构2及抽吸泵3,罐体1为回转体结构,罐体1的内部设有放置砂浆的砂浆腔,罐体1的壁面内部设有与砂浆腔间隔的容纳腔11,在容纳腔11内设有冷却液,在罐体1的外壁面上开设有连通容纳腔11的进液口12和出液口13,搅拌机构2包括搅拌组件21及驱动搅拌组件21转动的搅拌泵22,搅拌组件21设置在砂浆腔中,搅拌组件21与罐体1沿同一中心轴线设置,搅拌泵22间歇式的驱动搅拌组件21旋转以搅拌砂浆腔内的砂浆。其中,搅拌组件21包括转动轴及套设在转动轴上的搅拌杆。抽吸泵3的吸入口与砂浆腔连通,抽吸泵3的吸出口用于与研磨机的入口连通。
35.在实际应用的过程,冷却液从进液口12输入至容纳腔11,容纳腔11内的冷却液从
出液口13排出,冷却液可以为冷却水,或其他流动性冷却物质。在本实施例中,在容纳腔11内通入10℃循环冷却水控制砂浆腔内砂浆的温度,且可以通过控制容纳腔11内的水流量来控制温度使砂浆温度保持在恒定的区间。
36.本实施例提供的一种研磨砂浆罐,由于在罐体1的壁面内部设有容纳腔11,在容纳腔11内设有冷却液,进而降低了罐体1内砂浆的温度,保证了砂浆排出的温度,避免了进入研磨机内的砂浆温度过高进而保证了硅片的平坦度,提高了硅片生产的良品率。
37.且在本实施例中,砂浆腔的体积为150l,能够避免频繁更换砂浆腔内的砂浆,砂浆腔的高度550mm能够保证研磨机内的砂浆回流到砂浆罐中。
38.如图4所示,罐体1包括第一筒体14和第二筒体15,第二筒体15套设在第一筒体14的外侧,第一筒体14和第二筒体15之间的间隙形成容纳腔11,用于放置冷却液。
39.如图1所示,研磨砂浆罐还包括盖体4,盖体4盖设在罐体1的顶端,搅拌泵22及抽吸泵3均设置在盖体4的顶端。如图5-6所示,盖体4包括第一连接盖41和第二连接盖42,第一连接盖41和第二连接盖42拼接形成盖体4,第一连接盖41上设有第一连接通孔411和第二连接通孔412。
40.其中,第一连接通孔411设置在搅拌组件21的中心轴线上,搅拌泵22设置在第一连接盖41上,搅拌泵22的输出端穿过第一连接通孔411与搅拌组件21的转动轴连接。抽吸泵3可拆卸的设置在第一连接盖41上,拆卸方便,不用固定在罐体1上,方便清洗砂浆罐。且抽吸泵3的吸入口穿过第二连接通孔412与砂浆腔连接,抽吸泵3的吸出口用于与研磨机连通。为了便于盖体4的拿放,在第一连接盖41和第二连接盖42上均设有把手43。
41.如图1和2所示,为了便于研磨砂浆罐移动运输,研砂浆罐磨还包括多组滚轮组件5,滚轮组件5设置在罐体1的外壁面上,且多组滚轮组件5以罐体1的中心轴线为中心周向等间距布置。
42.其中,滚轮组件5包括底板51及与底板51底端转动连接的滚轮52,底板51与罐体1的外壁面连接,滚轮组件5还包括加强筋53,加强筋53的一侧与罐体1的外壁面连接,加强筋53的另一侧与底板51连接。
43.如图2和3所示,罐体1的底部为锥形结构,便于罐体1清洗时罐体1内砂浆的排出,在实际应用的过程中,在罐体1的底部设有排浆管6用于砂浆的排出。
44.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
45.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连;可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
46.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”,可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”,可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅
仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”,可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。
47.在本说明书的描述中,术语“一个实施例”、“一些实施例”、“实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述,是指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
48.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本实用新型的限制,本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行改动、修改、替换和变型。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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