技术特征：
1.一种利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其特征在于，其包括一级腔体、二级腔体和氮气管道，所述一级腔体和所述二级腔体固定连接以形成用于容纳转子的活动腔，所述一级腔体和所述二级腔体的接触面具有间隙，所述一级腔体靠近于所述二级腔体的接触面上开设有氮气环通槽，所述一级腔体设置有抽气腔体，所述氮气管道与所述氮气环通槽连通，所述氮气环通槽通过所述间隙与所述抽气腔体连通。2.根据权利要求1所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其特征在于，所述一级腔体或所述二级腔体内设置有进气通道，所述进气通道的一端与所述氮气管道连通，另一端与所述氮气环通槽连通，所述氮气环通槽通过所述间隙与所述抽气腔体连通。3.根据权利要求2所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其特征在于，所述一级腔体和所述二级腔体之间还设置有密封圈和圈槽，所述密封圈容纳于所述圈槽内，所述圈槽设置于所述氮气环通槽的外侧。4.根据权利要求2所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其特征在于，所述进气通道包括竖直通道和水平通道，所述竖直通道的一端与所述氮气管道连通，另一端与所述水平通道的一端连通，所述水平通道远离所述竖直通道的一端与所述氮气环通槽连通。5.根据权利要求4所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其特征在于，所述氮气管道设置有氮气接头，所述氮气接头插设于所述二级腔体内且与所述竖直通道连通，所述氮气接头远离所述进气通道的一端与所述氮气管道连通。6.根据权利要求3所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其特征在于，所述一级腔体和所述二级腔体之间通过螺栓连接。7.根据权利要求3所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其特征在于，所述一级腔体和所述二级腔体之间还设置有定位销。8.一种光伏半导体设备，其特征在于，其包括如权利要求1-7任一项所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵。
技术总结
本实用新型提供了利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备，涉及真空组件领域。该利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其包括一级腔体、二级腔体和氮气管道，一级腔体和二级腔体固定连接以形成用于容纳转子的活动腔，一级腔体和管道腔体的接触面具有间隙，一级腔体靠近于二级腔体的接触面上开设有氮气环通槽，一级腔体设置有抽气腔体，氮气管道与氮气环通槽连通，氮气环通槽通过间隙与抽气腔体连通。其通过在一级腔体上开设氮气环通槽，并将氮气由外部通入氮气环通槽内，并利用干式真空泵本身的余热给氮气加热，达到使最终通入泵腔的氮气拥有较高的温度，无需外加热源给氮气加热，有效降低了整个工厂的用电量，降低成本。低成本。低成本。
技术研发人员：周阳 沈文武 何建修 周贤忠
受保护的技术使用者：四川莱斯特真空科技有限公司
技术研发日：2021.12.30
技术公布日：2022/5/10
再多了解一些
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