一种残膜回收机防缠绕挑膜装置的制 一种秧草收获机用电力驱动行走机构

利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备的制作方法

2022-05-11 20:03:49 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及真空组件领域,具体而言,涉及利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备。


背景技术:

2.随着经济的发展,社会的进步,光伏半导体行业的兴起,国内对干式真空泵的需求量日益增加;为应对光伏和半导体生产工艺经常出现的腐蚀性气体和粉尘,通常在干式真空泵的抽气腔体内通入一定的氮气,用于稀释和吹扫腐蚀性气体和粉尘,避免腔体和转子腐蚀。
3.但现有的技术通常通入的氮气是常温氮气,而泵腔的温度较高,如果通入常温的氮气会降低泵腔内所抽气体的温度,使所抽气体和粉尘在泵腔内凝结,造成更加严重的腐蚀,以及造成腔体堵塞,影响抽真空,增加泵的维修成本。市场上现有存在的给氮气加热的干式真空泵,但都是利于电阻丝或外加热源给氮气加热,会消耗额外的功率,增加整个工厂的用电量,增加成本且不利于碳中和。
4.鉴于此,特提出本技术。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备,其能够利用干式真空泵本身的余热给氮气加热,达到使最终通入泵腔的氮气拥有较高的温度。
6.本实用新型的实施例是这样实现的:
7.第一方面,本实用新型提供一种利用自身余热加热氮气的干式真空泵,其包括一级腔体、二级腔体和氮气管道,所述一级腔体和所述二级腔体固定连接以形成用于容纳转子的活动腔,所述一级腔体和所述二级腔体的接触面具有间隙,所述一级腔体靠近于所述二级腔体的接触面上开设有氮气环通槽,所述一级腔体设置有抽气腔体,所述氮气管道与所述氮气环通槽连通,所述氮气环通槽通过所述间隙与所述抽气腔体连通。
8.在可选的实施方式中,所述一级腔体或所述二级腔体内设置有进气通道,所述一级腔体靠近于所述二级腔体的接触面上开设有氮气环通槽,所述进气通道的一端与所述氮气管道连通,另一端与所述氮气环通槽连通,所述氮气环通槽通过所述间隙与所述抽气腔体连通。
9.在可选的实施方式中,所述一级腔体和所述二级腔体之间还设置有密封圈和圈槽,所述密封圈容纳于所述圈槽内,所述圈槽设置于所述氮气环通槽的外侧。
10.在可选的实施方式中,所述进气通道包括竖直通道和水平通道,所述竖直通道的一端与所述氮气管道连通,另一端与所述水平通道的一端连通,所述水平通道远离所述竖直通道的一端与所述氮气环通槽连通。
11.在可选的实施方式中,所述氮气管道设置有氮气接头,所述氮气接头插设于所述
二级腔体内且与所述竖直通道连通,所述氮气接头远离所述进气通道的一端与所述氮气管道连通。
12.在可选的实施方式中,所述一级腔体和所述二级腔体之间通过螺栓连接。
13.在可选的实施方式中,所述一级腔体和所述二级腔体之间还设置有定位销。
14.第二方面,本实用新型提供一种光伏半导体生产系统,其包括如前述实施方式任一项所述的利用自身余热加热氮气的干式真空泵。
15.本实用新型实施例的有益效果是:
16.本技术提供的利用自身余热加热氮气的干式真空泵,其通过在一级腔体上开设氮气环通槽,并将氮气由外部通入氮气环通槽内,而非直接通入抽气腔体内,本技术中氮气环通槽的设置可以使氮气进入真空泵后延长氮气进入抽气腔体的时间,并随着真空泵的运行,利用真空泵自身产生的热量而对氮气环通槽内的氮气进行加热,经加热后的氮气再进入抽气腔体内,可以保证进入抽气腔体内的氮气为高温氮气,有效避免了常温氮气降低真空泵的抽气腔体内所抽气体的温度,进而避免所抽气体和粉尘在真空泵的抽气腔体内凝结而出现腐蚀的情况,提高了真空泵的使用寿命。此外,本技术直接利用真空泵运行时的余热对氮气进行加热,无需外加热源给氮气加热,因此无需消耗额外的功率,有效降低了整个工厂的用电量,降低成本。进一步地,本实用新型提供的光伏半导体设备通过自身余热加热氮气的干式真空泵可以实现无需外部热源即可实现对氮气进行加热,有利于减少工厂用电量。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
18.图1为本实用新型实施例提供的利用自身余热加热氮气的干式真空泵的结构示意图;
19.图2为本实用新型实施例提供的利用自身余热加热氮气的干式真空泵的一级腔体的结构示意图。
20.图标:100-利用自身余热加热氮气的干式真空泵;110-一级腔体;111-间隙;112-抽气腔体;113-氮气环通槽;114-圈槽;120-二级腔体;121-进气通道;122-竖直通道;123-水平通道;130-氮气管道;131-氮气接头。
具体实施方式
21.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
22.因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的
实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
23.应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
24.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
25.此外,术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平,并不是表示该结构一定要完全水平,而是可以稍微倾斜。
26.在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
27.实施例
28.请参照图1和图2,本实施例提供一种利用自身余热加热氮气的干式真空泵100,其包括一级腔体110、二级腔体120和氮气管道130。
29.一级腔体110和二级腔体120是组成干式真空泵腔体的零件,一级腔体110和二级腔体120固定连接以形成用于容纳转子的活动腔,一级腔体110和二级腔体120的接触面具有间隙111,一级腔体110设置有抽气腔体112。现有技术中,通常将氮气直接引入抽气腔体112内用于稀释和吹扫腐蚀性气体和粉尘,避免腔体和转子腐蚀。然而本技术中,通过在一级腔体110靠近于二级腔体120的接触面上开设有氮气环通槽113,将氮气管道130与氮气环通槽113连通,氮气环通槽113通过间隙111与抽气腔体112连通,本技术通过将氮气引入氮气环通槽113,经加热后,再由一级腔体110和二级腔体120之间的间隙111引入抽气腔体112,可以实现氮气在间隙111内进行充分的加热后再进入抽气腔体112内。
30.氮气环通槽113的设置使得氮气管道130内的气体经进气通道121后进入到氮气环通槽113内,氮气填充于氮气环通槽113内,有利于延长氮气进入抽气腔体112内的时间。当利用自身余热加热氮气的干式真空泵100在运行时,一级腔体110和二级腔体120内由于转子的转动会产生150℃左右的高温,此时氮气在氮气环通槽113运动并迅速升高温度,当持续通入氮气时,此时氮气环通槽113内氮气具有较高的压力,温度升高后氮气会通过一级腔体110和二级腔体120之间的间隙111进入到抽气腔体112内,从而实现吹扫和稀释腐蚀性气体和粉尘。
31.本技术中,通过在一级腔体110或二级腔体120内设置有进气通道121,优选地,本技术中进气通道121设置于二级腔体120上。进气通道121的设置有利于将外部的氮气管道130内的氮气引入。进气通道121的一端与氮气管道130连通,另一端与氮气环通槽113连通,
氮气环通槽113通过间隙111与抽气腔体112连通。
32.本技术中,进气通道121包括竖直通道122和水平通道123,竖直通道122的一端与氮气管道130连通,另一端与水平通道123的一端连通,水平通道123远离竖直通道122的一端与氮气环通槽113连通。竖直通道122和水平通道123通过在一级腔体110或二级腔体120上开设孔道即可实现,竖直通道122和水平通道123更容易设置。应理解,进气通道121的结构还可以有其他的选择,例如,可以直接开设倾斜的孔道,或者直接开设水平的一根管道,只要能够实现将氮气管道130内的氮气引入至氮气环通槽113即可。
33.本技术中,一级腔体110和二级腔体120之间设置有定位销,利用定位销实现对一级腔体110和二级腔体120的定位,定位完成后利用螺栓进行连接固定。本技术中,一级腔体110和二级腔体120之间还设置有密封圈(图未示)和圈槽114,密封圈容纳于圈槽114内,圈槽114设置于氮气环通槽113的外侧。密封圈和圈槽114的设置可以实现将一级腔体110和二级腔体120之间的间隙111进行密封,由于圈槽114设置于氮气环通槽113的外侧,因此通入的氮气无法从一级腔体110和二级腔体120之间的间隙111向外排出,只能通过间隙111进入到抽气腔体112内,保证了氮气按照预设的运动轨迹进行运动。
34.此外,还需要说明的是,本技术中氮气管道130设置有氮气接头131,氮气接头131插设于二级腔体120内且与竖直通道122连通,氮气接头131远离进气通道121的一端与氮气管道130连通。氮气接头131与氮气管道130可拆卸连接,便于及时更换氮气管道130。此外,还可以在氮气管道130上设置启闭氮气管道130的阀门(图未示)以便实现对氮气的通入进行控制。
35.本技术提供的利用自身余热加热氮气的干式真空泵100的工作原理是:氮气管道130通过氮气接头131与二级腔体120连接,当利用自身余热加热氮气的干式真空泵100开始运动时,氮气通过氮气管道130进入到二级腔体120的进气管道内,进气管道与一级腔体110上开设的氮气环通槽113连通,氮气经由进气通道121进入到氮气环通槽113内,并充满氮气环通槽113。由于利用自身余热加热氮气的干式真空泵100在运动时,一级腔体110和二级腔体120由于转子的转动而产生约150℃左右的高温,此时氮气环通槽113内的氮气经热传递而快速升温,由于持续不断的通入氮气,氮气压力逐步升高,温度升高后氮气或通过一级腔体110和二级腔体120之间的间隙111进入到一级腔体110的抽气腔室内,从而实现对抽气腔室内的腐蚀性气体和粉尘进行吹扫和稀释。同时,由于本技术中一级腔体110和二级腔体120之间还设置有密封圈和圈槽114,而圈槽114设置于氮气环形槽的外侧,使得氮气不会向外排出,只能通过间隙111进入到抽气腔体112内,保证了氮气按照预设的运动轨迹进行运动,进一步地,由于氮气环形槽内填充有氮气,有效阻隔了密封圈与腐蚀性气体的直接接触,进而有利于保护密封圈,从而提高利用自身余热加热氮气的干式真空泵100的寿命。
36.进一步地,本实用新型还提供了一种光伏半导体设备,其包括上述利用自身余热加热氮气的干式真空泵100。该光伏半导体设备通过自身余热加热氮气的干式真空泵可以实现无需外部热源即可实现对氮气进行加热,有利于减少工厂用电量。
37.综上所述,本技术提供的利用自身余热加热氮气的干式真空泵100,其通过在一级腔体110上开设氮气环通槽113,并将氮气由外部通入氮气环通槽113内,而非直接通入抽气腔体112内,本技术中氮气环通槽113的设置可以使氮气进入利用自身余热加热氮气的干式真空泵100后延长氮气进入抽气腔体112的时间,并随着利用自身余热加热氮气的干式真空
泵100的运行,利用利用自身余热加热氮气的干式真空泵100自身产生的热量而对氮气环通槽113内的氮气进行加热,经加热后的氮气再进入抽气腔体112内,可以保证进入抽气腔体112内的氮气为高温氮气,有效避免了常温氮气降低利用自身余热加热氮气的干式真空泵100的抽气腔体112内所抽气体的温度,进而避免所抽气体和粉尘在利用自身余热加热氮气的干式真空泵100的抽气腔体112内凝结而出现腐蚀的情况,提高了利用自身余热加热氮气的干式真空泵100的使用寿命。此外,本技术直接利用利用自身余热加热氮气的干式真空泵100运行时的余热对氮气进行加热,无需外加热源给氮气加热,因此无需消耗额外的功率,有效降低了整个工厂的用电量,降低成本。
38.以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

发表评论 共有条评论
用户名: 密码:
验证码: 匿名发表

相关文献