行驶车系统的制作方法

1.本发明的一个方案涉及一种行驶车系统。


背景技术：

2.已知有在轨道上行驶来输送物品的桥式行驶车。在专利文献1中公开有一种行驶车系统(输送车系统)，有效地清扫行驶车在铺设于顶棚的轨道上行驶时产生的灰尘等。在专利文献1的行驶车系统中，在清扫行驶车的情况下，在使行驶车沿着轨道移动至规定的拆卸部位之后，通过该拆卸部位所配备的升降装置使行驶车朝地面侧下降，利用地面侧所配备的清扫装置实施行驶车的清扫。在该行驶车系统中，在清扫行驶车的情况下，使行驶车沿着轨道移动至拆卸部位，之后行驶车向升降装置的移动通过作业者对手动驾驶用指令机构(所谓的遥控器)的操作来进行。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2015-107880号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的课题
7.在上述行驶车系统中，构成升降装置的轨道被供给电力，但有时想要使行驶车进入未被供给电力的无供电轨道的升降装置。在这种系统中，作业者通过人力使行驶车进入升降装置。但是，这种方法需要作业者处于现场，负担较大。此外，在要求节省人工化的当今，存在想要使行驶车从供电轨道向无供电轨道的移动不经由作业者的手而实现自动化这样的期望。
8.因此，本发明的一个方案的目的在于提供一种行驶车系统，能够使行驶车从供电轨道向无供电轨道的移动自动化。
9.用于解决课题的手段
10.本发明的一个方案的行驶车系统具备：供电轨道，设置有向行驶车的行驶驱动部供给电力的供电部；无供电轨道，与供电轨道连接，并且未设置供电部；移动装置，使行驶车在供电轨道上的第一位置与无供电轨道之间移动；以及控制器，至少对行驶车和移动装置进行控制，其中，控制器向行驶车发送使其移动至第一位置的第一指令，在向停止于第一位置的行驶车发送了使其成为能够基于移动装置进行移动的状态的第二指令之后或者在发送的同时，向移动装置发送使停止于第一位置的行驶车移动至无供电轨道的第三指令。
11.在该构成的行驶车系统中，在使行驶车进入无供电轨道近前的位置处，使其成为能够通过移动装置自由移动的状态，并开始基于移动装置使行驶车移动。由此，能够使行驶车从供电轨道向无供电轨道的移动自动化。
12.在本发明的一个方案的行驶车系统中也可以为，控制器将至少使行驶驱动部中的来自外部的控制无法执行的第二指令发送至行驶车。在该构成中，能够通过简单的控制成
为能够通过移动装置自由移动行驶车的状态。
13.本发明的一个方案的行驶车系统也可以为，行驶驱动部具有在无供电时施加制动的行驶轮以及在无供电时自由旋转的行驶辅助轮，供电轨道上的第一位置与无供电轨道之间具有从下方支承行驶轮以及行驶辅助轮的下方支承部，无供电轨道具有从下方支承行驶轮以及行驶辅助轮的下方支承部，下方支承部形成为，在铅垂方向上，与行驶辅助轮对置的第一部分位于比与行驶轮对置的第二部分靠上方的位置，控制器至少将切断向行驶驱动部的电力供给的第四指令发送至停止在第一位置的行驶车。该构成的行驶车的行驶轮构成为，在未向行驶驱动部供给电力的状态下不容易旋转。因此，在向行驶驱动部的电力供给被切断的状态以及由于位于作业用轨道而未被供给电力的状态下，难以在使行驶轮接触的状态下使行驶车移动。关于这一点，在该构成的行驶车系统中，即使成为电力供给被切断或者未供给电力的状态，自由旋转的行驶辅助轮也与作业用轨道接触，因此能够容易地使行驶车移动。即，能够成为能够通过移动装置使行驶车自由移动的状态。
14.在本发明的一个方案的行驶车系统中也可以为，控制器向移动装置发送第五指令，该第五指令使行驶车从无供电轨道移动至第一位置或者隔着无供电轨道而与具有第一位置的供电轨道连接的供电轨道上的第二位置。在该构成中，能够使行驶车从无供电轨道向供电轨道的移动自动化。即，能够使无供电轨道与供电轨道之间的行驶车的移动自动化。
15.在本发明的一个方案的行驶车系统中也可以为，行驶驱动部构成为，当从未供给电力的状态成为被供给电力的状态时，能够从外部进行控制。在该构成中，当通过行驶车基于移动装置的移动而从无供电轨道移动到供电轨道时，能够自动地从外部对行驶车进行控制。
16.在本发明的一个方案的行驶车系统中也可以为，还具备对移动至无供电轨道的行驶车进行清扫的清扫装置，控制器在向移动装置发送了第三指令之后，向清扫装置发送使其清扫行驶车的第六指令。在该构成的行驶车系统中，除了能够使行驶车从供电轨道向无供电轨道的移动自动化以外，还能够使清扫装置的清扫处理自动化。
17.发明的效果
18.根据本发明的一个方案，能够使行驶车从供电轨道向无供电轨道的移动自动化。
附图说明
19.图1是表示一个实施方式的行驶车系统的概要平面图。
20.图2是从行驶方向观察图1的行驶车的主视图。
21.图3是表示一个实施方式的作业用轨道的立体图。
22.图4是表示图3的作业用轨道以及行驶车的行驶部的截面图。
23.图5是表示一个实施方式的移动装置的平面图。
24.图6是表示图5的移动装置的侧视图。
25.图7是表示从作业用轨道的延伸方向观察一个实施方式的配置于作业区域的移动装置以及吸引装置的截面图。
26.图8是表示行驶车系统的功能构成的框图。
27.图9是表示在行驶车系统中清扫行驶车时的各部的动作的时序图。
28.图10是表示在行驶车系统中清扫行驶车时的各部的动作的时序图。
29.图11的(a)～图12的(d)是表示图5的移动装置的动作的说明图。
30.图12的(a)～图12的(d)是表示图5的移动装置的动作的说明图。
具体实施方式
31.以下，参照附图对本发明的一个方案的优选的一个实施方式进行详细说明。另外，在附图的说明中，对于相同的要素标注相同的符号，并省略重复的说明。在图2、图4以及图7中，为了便于说明而定义“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”方向。
32.如图1以及图2所示，行驶车系统1是用于使用能够沿着行驶用轨道4移动的桥式行驶车6(以下，称作“行驶车6”。)在载放部9之间输送物品10的系统。物品10例如包括容纳多个半导体晶片的foup(front opening unified pod：晶片传送盒)及容纳玻璃底板的中间掩模盒等那样的容器、以及一般构件等。行驶车系统1具备行驶用轨道(供电轨道)4、多个行驶车6、多个载放部9、作业用轨道(无供电轨道)41以及清扫单元100(参照图7)。
33.行驶用轨道4例如铺设在作业者的头顶空间即顶棚附近。行驶用轨道4例如从顶棚悬吊。行驶用轨道4是用于使行驶车6行驶的预定的行驶路。行驶用轨道4由支柱40a、40a支承。行驶车系统1的行驶用轨道4具有在规定的区域中朝一个方向循环的主线部4a、以及使行驶车6导入设置有用于维护行驶车6的作业区域160的作业用轨道41的退避部4b。另外，在退避部4b中，行驶车6也朝预定的一个方向移动。
34.行驶用轨道4具有由一对下表面部40b、40b、一对侧面部40c、40c及顶面部40d形成的筒状的轨道主体部40、供电部40e以及磁性板40f。轨道主体部40收纳行驶车6的行驶部(行驶驱动部)50。下表面部40b沿着行驶车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的下表面。下表面部40b是使行驶车6的行驶辊51滚动而行驶的板状部件。侧面部40c沿着行驶车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的侧面。顶面部40d沿着行驶车6的行驶方向延伸，构成轨道主体部40的上表面。
35.供电部(供电线)40e是向行驶车6的供电芯57供给电力并且与供电芯57进行信号的收发的部位。供电部40e分别固定于一对侧面部40c、40c，且沿着行驶方向延伸。供电部40e相对于供电芯57(参照图4)以非接触的状态供给电力。磁性板40f使行驶车6的ldm(linear dc motor：线性直流马达)59产生用于行驶或者停止的磁力。磁性板40f固定于顶面部40d，且沿着行驶方向延伸。
36.行驶车6沿着行驶用轨道4行驶，且输送物品10。行驶车6构成为能够移载物品10。行驶车6是桥式行驶式无人行驶车。行驶车系统1所具备的行驶车6的台数不特别限定，为多台。行驶车6具有主体部7、行驶部50以及主体控制器35。主体部7具有主体框架22、横向进给部24、θ驱动器26、升降驱动部28、升降台30以及罩33。
37.主体框架22与行驶部50连接，支承横向进给部24、θ驱动器26、升降驱动部28、升降台30以及罩33。横向进给部24将θ驱动器26、升降驱动部28以及升降台30一并朝与行驶用轨道4的行驶方向成直角的方向横向进给。θ驱动器26使升降驱动部28及升降台30中的至少任一个在水平面内且在规定的角度范围内转动。升降驱动部28通过卷绕或者放出钢丝绳、绳索以及带等吊持件来使升降台30升降。在升降台30上设置有卡盘，自如地进行物品10的把持或者释放。罩33例如在行驶车6的行驶方向的前后设置有一对。罩33使未图示的爪等出没而在输送中防止物品10落下。
38.行驶部50使行驶车6沿着行驶用轨道4行驶。如图4所示，行驶部50具有行驶辊51、侧辊52、分支辊53、辅助辊54、倾斜辊55、供电芯57以及ldm59。图2中省略分支辊53、辅助辊54以及倾斜辊55的图示。
39.行驶辊51是由作为行驶轮的外轮51a以及作为行驶辅助轮的内轮51b形成的辊对。行驶辊51配置在行驶部50前后的左右两端。行驶辊51在行驶用轨道4的一对下表面部40b、40b(参照图2)或者后述的图4的下方支承部43上滚动。本实施方式的外轮51a构成为，在未向行驶部50供给电力的状态下不容易旋转。即，在未向供电芯57供给电力的状态下，外轮51a被施加制动以使其不旋转。
40.侧辊52被配置为，在前后方向上分别夹持行驶辊51的外轮51a。侧辊52被设置为，能够与行驶用轨道4的侧面部40c(参照图2)或者后述的图4的侧方支承部45接触。分支辊53被配置为，在上下方向上分别夹持侧辊52。侧辊52被设置为，能够与配置于行驶用轨道4的连接部或者分支部等的引导件(未图示)接触。
41.辅助辊54是设置在行驶部50前后的三个为一组的辊组。设置辅助辊54的目的在于，在行驶部50由于加减速等而在行驶中前后倾斜时，防止ldm59以及供电芯57等与配置于行驶用轨道4的上表面的磁性板40f(参照图2)接触。倾斜辊55设置在ldm59的四角。倾斜辊55以相对于前后方向倾斜的状态配置。设置倾斜辊55的目的在于，防止行驶部50在弯道区间行驶时由于离心力而引起的倾斜。
42.供电芯57以在左右方向上夹持ldm59的方式配置在行驶部50的前后。在与配置于行驶用轨道4的供电部40e(参照图2)之间，进行非接触的供电以及非接触的各种信号的收发。供电芯57在与主体控制器35之间交换信号。ldm59设置在行驶部50的前后。ldm59通过电磁铁在与配置于行驶用轨道4的上表面的磁性板40f(参照图2)之间产生用于行驶或者停止的磁力。
43.行驶部50由之后详述的输送控制器(控制器)90在经由主体控制器35的状态下控制。具体而言，来自输送控制器90的指令被发送至主体控制器35，接收到该指令的主体控制器35控制行驶部50。行驶部50为，在被供给电力的状态下，能够从行驶车6外部的输送控制器90进行控制。此外，行驶部50为，当从未供给电力的状态成为被供给电力的状态时，成为来自输送控制器90的指令被发送至主体控制器35，接收到该指令的主体控制器35控制行驶部50的状态。
44.如图1所示，载放部9被沿着行驶用轨道4配置，且设置在行驶车6能够交接物品10的位置。载放部9包括缓存区以及交接口。缓存区是暂时载放物品10的载放部。缓存区例如是在由于作为目的地的交接口载放有其他物品10等理由而无法将行驶车6所输送的物品10移载到该交接口的情况下，临时载放物品10的载放部。交接口例如是用于相对于以清洗装置、成膜装置、光刻装置、蚀刻装置、热处理装置、平坦化装置为代表的半导体的处理装置(未图示)交接物品10的载放部。另外，处理装置不特别限定，可以是各种装置。
45.例如，载放部9配置在行驶用轨道4的侧方。在该情况下，行驶车6通过横向进给部24使升降驱动部28等横向进给，并使升降台30稍微升降，由此在与载放部9之间交接物品10。另外，虽然未图示，但载放部9也可以配置在行驶用轨道4的正下方。在该情况下，行驶车6通过使升降台30升降，由此在与载放部9之间交接物品10。
46.主体控制器35是由cpu(central processing unit)、rom(read only memory)以
motion guide)68a以及驱动马达68b等形成的第二移动驱动部68，能够相对于底板70在延伸方向x上移动。
56.第一臂部61配置于行驶车6的行驶方向的上游侧。即，在使行驶车6移动时，第一臂部61与行驶车6的后端(罩33)接触。第一臂部61通过第一转动驱动部62在夹入行驶车6的位置(接触位置)与从行驶车6退避的位置(退避位置)之间移动。第一臂部61以及第一转动驱动部62被设置为，通过第一移动驱动部64能够相对于移动板71在延伸方向x上移动。更详细来说，第一臂部61以及第一转动驱动部62被设置为，通过由lm引导件64a以及驱动马达64b等形成的第一移动驱动部64，能够相对于移动板71在延伸方向x上移动。
57.第二臂部65配置于行驶车6的行驶方向的下游侧。即，在使行驶车6移动时，第二臂部65与行驶车6的前端接触。第二臂部65通过第二转动驱动部66在夹入行驶车6的位置与从行驶车6退避的位置之间移动。与第一臂部61以及第一转动驱动部62不同，第二臂部65以及第二转动驱动部66被设置为无法相对于移动板71在延伸方向x上移动。
58.吸引装置80对于位于作业区域160(作业用轨道41)的行驶车6，经由开放部47对行驶部50的至少一部分执行清扫作业。更详细来说，吸引装置80对附着于行驶部50的至少一部分(例如，供电芯57)的附着物进行吸引。吸引装置80设置于从顶棚悬吊的支承板85。吸引装置80是由六个(六轴)关节构成的垂直多关节型机器人81，在其前端设置有吸引附着物的吸引部82。
59.单元控制器95是由cpu、rom以及ram等形成的电子控制单元。单元控制器95例如能够构成为将存储于rom的程序加载到ram上而由cpu执行的软件。单元控制器95也可以构成为基于电子电路等的硬件。单元控制器95对移动装置60以及吸引装置80的动作进行控制。单元控制器95与输送控制器90能够通信地连接。
60.输送控制器90是由cpu、rom以及ram等形成的电子控制单元。输送控制器90例如能够构成为将存储于rom的程序加载到ram上而由cpu执行的软件。输送控制器90也可以构成为基于电子电路等的硬件。输送控制器90向行驶车6发送使其输送物品10的输送指令。输送控制器90与多个行驶车6的每个以及清扫单元100的单元控制器95能够通信地连接。
61.此外，如图1所示，将在行驶车6的行驶方向上与作业用轨道41的上游侧端部邻接的行驶用轨道4的规定位置设为第一位置p1，将与作业用轨道41的下游侧端部邻接的行驶用轨道4的规定位置设为第二位置p2。
62.输送控制器90发送第一指令、第二指令、第三指令、第五指令以及第六指令。第一指令是向行驶车6发送的指令，且是使在行驶用轨道4上行驶的行驶车6行驶至第一位置p1的指令。接收到第一指令的行驶车6行驶至第一位置p1并停止。第二指令是向行驶车6发送的指令，且是使其成为能够基于移动装置60进行移动的状态的指令。更详细来说，第二指令是至少使行驶车6的行驶部50中的来自外部的控制无法执行(关闭)的指令。接收到第二指令的行驶车6与外部的通信被切断，无法从外部控制行驶部50。另外，经由单元控制器95从输送控制器90向移动装置60以及吸引装置80发送指令。
63.第三指令是在向停止于第一位置p1的行驶车6发送了第二指令之后或者在发送的同时向移动装置60发送的指令。第三指令是使停止于第一位置p1的行驶车6移动至作业用轨道41的指令。接收到第三指令的移动装置60将停止于第一位置p1的行驶车6输送至作业用轨道41。第五指令是向移动装置60发送的指令，且是使行驶车6从作业用轨道41移动至第
二位置p2的指令。接收到第五指令的移动装置60将停止在作业用轨道41上的行驶车6输送至第二位置p2。
64.第六指令是在向行驶车6发送了第三指令之后向吸引装置80发送的指令。第六指令是使吸引装置80对停止在作业用轨道41上的行驶车6进行清扫的指令。接收到第六指令的移动装置60开始对停止在作业用轨道41上的行驶车6进行清扫。
65.接着，根据图9及图10，说明使在行驶用轨道4上行驶的行驶车6进入作业用轨道41，在清扫单元100中清扫了行驶车6之后，再次使行驶车6返回到行驶用轨道4为止的动作。
66.单元控制器95判定在清扫单元100中是否能够进行行驶车6的清扫(步骤s1)。单元控制器95判定移动装置60是否位于规定位置(例如，能够使位于第一位置p1的行驶车6移动的位置)。此处，当检测到移动装置60位于上述规定位置时，判定为能够进行行驶车6的清扫。另外，单元控制器95也可以通过判定行驶车6是否位于作业用轨道41上，来判定为能够进行行驶车6的清扫。
67.单元控制器95为，当判定为在清扫单元100中能够进行行驶车6的清扫时，向输送控制器90发送该含义的通知即能够清扫通知(步骤s2)。接收到能够清扫通知的输送控制器90向行驶车6发送第一指令(步骤s3)。接收到第一指令的行驶车6行驶至第一位置p1，并到达第一位置p1(步骤s4)。到达第一位置p1的行驶车6向输送控制器90发送到达通知(步骤s5)。另外，输送控制器90为，当接收到来自行驶车6的到达通知时，将所到达的行驶车6的形式等发送至单元控制器95(步骤s6)。由此，能够按照行驶车6的形式(尺寸)等使移动装置60动作。
68.接收到到达通知的输送控制器90将第二指令发送至行驶车6(步骤s7)。接收到第二指令的行驶车6成为能够通过移动装置60移动的状态。更详细来说，接收到第二指令的行驶车6使行驶车6的行驶部50中的来自外部的控制无法执行(关闭)(步骤s8)。由此，行驶车6成为由移动装置60自由移动的状态。输送控制器90在行驶车6关闭的定时向移动装置60发送第三指令(步骤s10)。例如，输送控制器90也可以为，在发送了第二指令之后，在经过规定时间后将第三指令发送至移动装置60。另外，如上所述，经由单元控制器95进行第三指令从输送控制器90向移动装置60的发送。
69.接收到第三指令的移动装置60使停止于第一位置p1的行驶车6移动至作业用轨道41的(步骤s11)。此处，对移动装置60使行驶车6从第一位置p1移动至作业用轨道41的动作进行详细说明。
70.在作业用轨道41上不存在行驶车6时，如图11的(a)所示，第一臂部61位于退避位置，第二臂部65位于接触位置。在这种状态下，当接收到第一指令的行驶车6进入作业用轨道41时，如图11的(b)所示，行驶车6在与第二臂部65接触的位置上暂时停止。该位置成为第一位置p1。
71.当行驶车6在与第二臂部65接触的位置上暂时停止时，接收到第三指令的移动装置60的第一转动驱动部62使第一臂部61转动到接触位置，第一移动驱动部64使第一臂部61以及第一转动驱动部62前进(向行驶车6的行驶方向的下游侧移动)。由此，如图11的(c)所示，行驶车6成为由第一臂部61与第二臂部65夹入的状态。
72.接着，第二移动驱动部68使移动板71前进。即，第二移动驱动部68在维持第一臂部61与第二臂部65之间的距离不变的状态下，使第一臂部61、第一转动驱动部62、第二臂部65
以及第二转动驱动部66前进。在移动装置60使行驶车6前进的途中，行驶车6从行驶用轨道4转移到作业用轨道41。即，行驶车6从供电区间转移到无供电区间。在该定时(步骤s12)，向行驶车6的供电被切断，向行驶车6的供电断开(步骤s13)。行驶车6在由第一臂部61与第二臂部65夹入的状态下前进，如图11的(d)所示，在作业用轨道41的规定位置上停止。该位置是行驶车6由吸引装置80实施清扫的位置。
73.接着，输送控制器90向吸引装置80发送第六指令(步骤s15)。另外，如上所述，经由单元控制器95进行第六指令从输送控制器90向吸引装置80的发送。接收到第六指令的吸引装置80开始对停止于作业用轨道41的规定位置的行驶车6进行清扫(步骤s16)。在吸引装置80对行驶车6的清扫结束的定时，输送控制器90将第五指令发送至移动装置60(步骤s17)。另外，输送控制器90也可以在从向吸引装置80发送了第六指令起经过规定时间后向移动装置60发送第五指令。接收到第五指令的移动装置60使行驶车6从作业用轨道41的规定位置移动至第二位置p2(步骤s18)。此处，对移动装置60使行驶车6从作业用轨道41的规定位置移动至第二位置p2的动作进行详细说明。
74.行驶车6在由第一臂部61与第二臂部65夹入的状态下前进，如图12的(a)所示，从作业用轨道41的规定位置移动至行驶用轨道4的第二位置p2。在该移动装置60使行驶车6前进的途中，行驶车6从作业用轨道41转移到行驶用轨道4。即，行驶车6从无供电区间转移到供电区间。在该定时(步骤s21)，开始向行驶车6供电，向行驶车6的供电接通(步骤s22)。当从未供给电力的状态成为被供给电力的状态时，行驶车6的行驶部50使来自外部的控制能够执行(启动)(步骤s23)。
75.当进行启动以使行驶部50中的来自外部的控制能够执行时，行驶车6向输送控制器90发送启动通知(步骤s24)。接收到启动通知的输送控制器90向发送了启动通知的行驶车6发送向主线部4a的规定位置移动的移动指令(步骤s25)。由此，行驶车6返回到主线部4a。
76.当移动装置60使行驶车6移动至第二位置p2时，如图12的(b)所示，第二转动驱动部66使第二臂部65转动到退避位置。之后，行驶车6利用向行驶部50的供电芯57供给的电力，通过自身的行驶部50所具有的驱动部开始前进。同时，输送控制器90向单元控制器95通知使移动装置60返回到规定位置(例如，能够使位于第一位置p1的行驶车6移动的位置)那样的指示(步骤s26)。
77.接着，如图12的(c)所示，第二转动驱动部66使第二臂部65转动到接触位置。然后，第二移动驱动部68使移动板71后退。即，第二移动驱动部68在维持第一臂部61与第二臂部65之间的距离不变的状态下，使第一臂部61、第一转动驱动部62、第二臂部65以及第二转动驱动部66后退。之后，第一移动驱动部64使第一臂部61以及第一转动驱动部62后退。由此，如图12的(d)所示，第一臂部61以及第二臂部65返回到等待下一个进入的行驶车6的位置。然后，如图11的(a)所示，在第一臂部61位于退避位置且第二臂部65位于接触位置的状态下，等待下一个行驶车6的到达(步骤s27)。
78.接着，对上述实施方式的行驶车系统1的作用效果进行说明。在上述实施方式的行驶车系统1中，在使行驶车6进入作业用轨道41的近前位置(第一位置p1)处，设为能够通过移动装置60自由移动的状态，并开始基于移动装置60使行驶车6移动。由此，能够使行驶车6从行驶用轨道4向作业用轨道41的移动自动化。
79.在上述实施方式的行驶车系统1中，输送控制器90向行驶车6发送第二指令，该第二指令至少使行驶部50中的来自外部(输送控制器90)的控制无法执行。在该构成中，行驶车6虽然使来自外部(输送控制器90)的控制无法执行，但是由于在行驶用轨道4上行驶的期间被供给电力，因此不对外轮51a施加制动。即，在本实施方式中，通过简单的控制就能够成为能够通过移动装置60使行驶车6自由移动的状态。
80.在上述实施方式的行驶车系统1中，输送控制器90向移动装置60发送第五指令，该第五指令使行驶车6从无供电轨道的规定位置移动至第二位置p2。在该构成中，除了使行驶车6从行驶用轨道4向作业用轨道41的移动自动化以外，还能够使行驶车6从作业用轨道41向行驶用轨道4的移动自动化。即，能够使行驶用轨道4与作业用轨道41之间的行驶车6的移动自动化。
81.在上述实施方式的行驶车系统1中，行驶部50构成为，当从未供给电力的状态成为被供给电力的状态时，能够从外部(输送控制器90)进行控制。由此，当基于移动装置60使行驶车6移动而从作业用轨道41移动到行驶用轨道4时，能够自动地从外部对行驶车6进行控制。
82.在上述实施方式的行驶车系统1中，输送控制器90在发送了第三指令之后，经由单元控制器95向吸引装置80发送使其清扫行驶车的第六指令。由此，除了使行驶车6从行驶用轨道4向作业用轨道41的移动自动化以外，还能够使吸引装置80的清扫处理自动化。
83.以上，对本发明的一个方案的一个实施方式进行了说明，但本发明的一个方案并不限定于上述实施方式，能够在不脱离发明主旨的范围内进行各种变更。
84.在上述实施方式中，列举输送控制器90对移动到第一位置p1的行驶车6发送至少使行驶部50中的来自外部(输送控制器90)的控制无法执行的第二指令的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，输送控制器90也可以为，代替发送第二指令的例子，而向停止在第一位置p1的行驶车6发送至少将向行驶部50的电力供给切断的第四指令。在该情况下，即使假设能够从外部对行驶车6进行控制，由于行驶部50未被供给电力，因此行驶车6也无法行驶。因此，在行驶用轨道4上，在第一位置p1与作业用轨道41之间以及作业用轨道与第二位置p2之间，也形成在作业用轨道41上形成的第一部分43b以及第二部分43a(参照图4)。即，在行驶用轨道4的行驶面上形成为，在铅垂方向上，与内轮51b对置的第一部分位于比与外轮51a对置的第二部分靠上方的位置。在这样的变形例中，也能够成为能够通过移动装置60使行驶车6自由移动的状态。
85.在上述实施方式中，列举作业区域160(即，作业用轨道41)配置在行驶用轨道4与行驶用轨道4之间的例子进行了说明，但作业区域160也可以配置在行驶用轨道4的末端部。在该情况下，基于第三指令的移动装置60的移动方向与基于第五指令的移动装置60的移动方向成为相互相反的方向。即，根据第三指令，使行驶车6从行驶用轨道4进入作业用轨道41，根据第五指令，使行驶车6从作业用轨道41退出到行驶用轨道4。
86.上述实施方式的移动装置60为，列举第一臂部61和第二臂部65设置于移动板71且一体地在延伸方向x上移动的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，第一臂部61以及第二臂部65也可以设置于底板70，且设置为能够相对于底板70分别独立地在延伸方向x上移动。
87.在上述实施方式的作业用轨道41中，列举下方支承部43形成为在铅垂方向上第一
部分43b位于比第二部分43a靠上方的位置的例子进行了说明，但并不限定于此。例如，在行驶部50的行驶轮形成为内轮51b而行驶辅助轮构成为外轮51a的情况下，也可以形成为第二部分43a位于比第一部分43b靠上方的位置。
88.符号的说明
89.1：行驶车系统；4：行驶用轨道(供电轨道)；41：作业用轨道(无供电轨道)；40e：供电部；6：桥式行驶车(行驶车)；35：主体控制器；50：行驶部；60：移动装置；80：吸引装置；90：输送控制器；95：单元控制器；100：清扫单元；p1：第一位置；p2：第二位置。