一种真空镀膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，更具体的说，本实用新型涉及一种真空镀膜装置。


背景技术：

2.真空蒸镀是一种在物体表面层积金属的生产工艺，其主要原理为：将待蒸发的材料放到蒸发舟上，然后对蒸发舟进行加热，从而使放置在蒸发舟上面的待蒸发材料熔融气化，熔融气化的材料在真空条件下，以原子或者原子团的形式向上层积到上方经过的物体上，从而在物体上形成一层薄膜。
3.目前，这种技术应用最广泛的是在薄膜上面镀上金属从而形成具有一定导电性能的导电薄膜，然而，现有的蒸镀工艺在生产导电薄膜时，在金属丝的输送过程中，由于金属丝的顶端在熔融气化过程中会软化，导致后续的金属丝的运送方向发生偏移，不能将金属丝正确的送到蒸发舟上，导致对金属丝的熔融失败，进而导致镀膜生产失败。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜装置。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空镀膜装置，其改进之处在于：包括真空腔体，真空腔体内设有收放卷装置和蒸发装置，蒸发装置位于收放卷装置的下方；待镀膜设于收放卷装置上；蒸发装置包括端部和蒸发源，端部与蒸发源连接，端部用于将金属丝引导至蒸发源的上方，并使金属丝的顶端始终保持朝向蒸发源；蒸发源用于对金属丝进行加热熔融蒸发。
6.在上述结构中，所述蒸发源包括蒸发舟、负极极座和相应于负极极座的正极极座，正极极座与负极极座分别固定于蒸发舟的两端，用于对蒸发舟进行加热；蒸发舟用于对金属丝进行加热熔融蒸发；正极极座与端部固定连接。
7.在上述结构中，所述负极极座对应两个正极极座，相应的，所述蒸发舟和端部也设有两个。
8.在上述结构中，所述蒸发装置还包括送丝盘，用于运送金属丝给端部。
9.在上述结构中，所述端部包括压轮和固定丝座，固定丝座与所述正极极座固定连接，金属丝依次经过压轮和固定丝座后，到达所述蒸发舟的上方。
10.在上述结构中，所述压轮与固定丝座之间还设有送丝管，金属丝依次经过压轮、送丝管和固定丝座。
11.在上述结构中，所述压轮输入金属丝的一侧与蒸发舟形成小于90度的夹角，固定丝座垂直于蒸发舟。
12.在上述结构中，所述收放卷装置包括放卷轴、冷却轴和收卷轴，冷却轴设于放卷轴和收卷轴之间；待镀膜从放卷轴放出，通过冷却轴后，收纳于收卷轴。
13.在上述结构中，所述冷却轴和放卷轴之间还设有过辊轴，用于使待镀膜产生张力。
14.在上述结构中，所述冷却轴和收卷轴之间也设有过辊轴，用于使待镀膜产生张力。
15.本实用新型的有益效果是：通过将压轮输入金属丝的一侧与蒸发舟形成小于90度的夹角，固定丝座垂直于蒸发舟，使得金属丝到达蒸发舟的上部时，金属丝的顶端始终保持朝向蒸发舟，防止金属丝的顶端因为高温而出现方向偏移，避免了因后续的金属丝的运送方向发生偏移而造成不能将金属丝正确的送到蒸发舟上，保证镀膜生产正常。
附图说明
16.附图1为本实用新型的一种真空镀膜装置的结构示意图。
17.附图2为图1中的蒸发装置的具体结构示意图。
具体实施方式
18.下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
19.以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。
20.结合图1和图2所示，一种真空镀膜装置，包括真空腔体，所述真空腔体内设有收放卷装置和蒸发装置1，蒸发装置1位于收放卷装置的下方；待镀膜设于收放卷装置上；蒸发装置1包括送丝盘2、端部3和蒸发源4；
21.所述端部3包括压轮5、送丝管6和固定丝座7，所述蒸发源4包括蒸发舟8、负极极座9和相应于负极极座8的正极极座10，正极极座10与负极极座9分别固定于蒸发舟8的两端，正极极座10与所述端部的固定丝座7固定连接，正极极座10连通电源正极，负极极座9连通电源负极，通过接入电源对蒸发舟8进行加热；送丝盘2通过电机驱动，待熔融的金属丝通过送丝盘2运输给压轮5，金属丝依次经过压轮5、送丝管6和固定丝座7后，到达所述蒸发舟8的上方，蒸发舟8进而对金属丝进行加热熔融蒸发，将金属丝气化；所述压轮5输入金属丝的一侧与蒸发舟8形成小于90度的夹角，固定丝座7垂直于蒸发舟8，使得金属丝到达蒸发舟8的上方后，金属丝的顶端始终保持朝向蒸发舟8，防止金属丝的顶端因为高温而出现方向偏移，避免了因后续的金属丝的运送方向发生偏移而造成不能将金属丝正确的送到蒸发舟8上，保证镀膜生产正常。
22.进一步的，所述负极极座9对应了两个正极极座10，相应的，所述蒸发舟8和端部3也设有两个，送丝盘2也设有两个，使得气化金属丝的效率提升。
23.所述收放卷装置包括放卷轴11、冷却轴12和收卷轴13，冷却轴12设于放卷轴11和收卷轴13之间；待镀膜从放卷轴11放出后，熔融气化的金属在真空条件下，以原子或者原子团的形式向上层积到待镀膜上，从而在待镀膜上形成一层金属薄膜，形成具有一定导电性能的导电薄膜，通过冷却轴12冷却后收纳于收卷轴13；所述冷却轴12和放卷轴11之间设有过辊轴14，冷却轴12和收卷轴13之间也设有过辊轴14，使待镀膜产生张力，镀膜更均匀、效
果更好；进一步的，所述放卷轴11、过辊轴14、冷却轴12和收卷轴13，形成v字形的结构，使待镀膜与气化的金属接触的更充分，镀膜更均匀、效果更好。
24.本实用新型的一种真空镀膜装置，通过将压轮输入金属丝的一侧与蒸发舟形成小于90度的夹角，固定丝座垂直于蒸发舟，使得金属丝到达蒸发舟的上部时，金属丝的顶端始终保持朝向蒸发舟，防止金属丝的顶端因为高温而出现方向偏移，避免了因后续的金属丝的运送方向发生偏移而造成不能将金属丝正确的送到蒸发舟上，保证镀膜生产正常。
25.以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。


技术特征：
1.一种真空镀膜装置，其特征在于：包括真空腔体，真空腔体内设有收放卷装置和蒸发装置，蒸发装置位于收放卷装置的下方；待镀膜设于收放卷装置上；蒸发装置包括端部和蒸发源，端部与蒸发源连接，端部用于将金属丝引导至蒸发源的上方，并使金属丝的顶端始终保持朝向蒸发源；蒸发源用于对金属丝进行加热熔融蒸发。2.如权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述蒸发源包括蒸发舟、负极极座和相应于负极极座的正极极座，正极极座与负极极座分别固定于蒸发舟的两端，用于对蒸发舟进行加热；蒸发舟用于对金属丝进行加热熔融蒸发；正极极座与端部固定连接。3.如权利要求2所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述负极极座对应两个正极极座，相应的，所述蒸发舟和端部也设有两个。4.如权利要求2或3所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述蒸发装置还包括送丝盘，用于运送金属丝给端部。5.如权利要求4所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述端部包括压轮和固定丝座，固定丝座与所述正极极座固定连接，金属丝依次经过压轮和固定丝座后，到达所述蒸发舟的上方。6.如权利要求5所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述压轮与固定丝座之间还设有送丝管，金属丝依次经过压轮、送丝管和固定丝座。7.如权利要求5所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述压轮输入金属丝的一侧与蒸发舟形成小于90度的夹角，固定丝座垂直于蒸发舟。8.如权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述收放卷装置包括放卷轴、冷却轴和收卷轴，冷却轴设于放卷轴和收卷轴之间；待镀膜从放卷轴放出，通过冷却轴后，收纳于收卷轴。9.如权利要求8所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述冷却轴和放卷轴之间还设有过辊轴，用于使待镀膜产生张力。10.如权利要求9所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述冷却轴和收卷轴之间也设有过辊轴，用于使待镀膜产生张力。

技术总结
本实用新型提供了一种真空镀膜装置，涉及真空蒸镀技术领域，包括真空腔体，真空腔体内设有收放卷装置和蒸发装置，蒸发装置位于收放卷装置的下方；待镀膜设于收放卷装置上；蒸发装置包括端部和蒸发源，端部与蒸发源连接，端部用于将金属丝导引至蒸发源的上方，并使金属丝的顶端保持朝向蒸发源；蒸发源用于对金属丝进行加热熔融蒸发，使得金属丝到达蒸发舟的上部时，金属丝的顶端始终保持朝向蒸发舟，防止金属丝的顶端因为高温而出现方向偏移，避免了因后续的金属丝的运送方向发生偏移而造成不能将金属丝正确的送到蒸发舟上，保证镀膜生产正常。正常。正常。


技术研发人员：杨俊 陈雨 吴颖 臧世伟
受保护的技术使用者：重庆金美新材料科技有限公司
技术研发日：2021.06.30
技术公布日：2022/1/26