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单晶导流筒的制作方法

2021-12-08 11:52:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及单晶硅生产技术领域,尤其涉及一种单晶导流筒。
技术背景
2.现阶段直拉单晶领域,主要应用于太阳能及半导体方面,拉晶技术采用cz拉晶方法,由于拉晶过程中是热交换过程,拉晶炉顶部通入氩气,由氩气形成过冷度,形成液态到固态的转变,并且由于导流筒作用形成内外温差梯度,使拉晶过程中更容易形成晶核。
3.传统意义导流筒内部选用耐高温材料石墨/钼材质,由于高温状态下石墨与钼均有一定的挥发性,所拉制的单晶硅棒会受上述材料影响拉晶品质。


技术实现要素:

4.本实用新型内容的主要目的在于提供一种提高拉晶品质的单晶导流筒。
5.一种单晶导流筒,包括导流筒内胆、导流筒隔热层和导流筒外壳,导流筒内胆、导流筒隔热层和导流筒外壳上下端均设有上端口和下端口,导流筒内胆安装在导流筒外壳内,导流筒内胆和导流筒外壳之间设有空腔,导流筒隔热层安装在空腔中,导流筒内胆由高纯石英材料制作形成,导流筒外壳由等静压石墨材料制作形成,导流筒隔热层由固话毡材料制作形成。
6.优选的,导流筒内胆的下端口和导流筒外壳的下端口通过插接结构相连接。
7.优选的,导流筒内胆的下端口设有多个第一凹槽,该第一凹槽自导流筒内胆下端口的端面朝导流筒内胆上端口设置。
8.优选的,导流筒外壳的下端口设有和第一凹槽数量相对应的第一凸块,该第一凸块设置在导流筒外壳下端口内侧壁上且朝导流筒外壳的上端口,导流筒内胆的第一凹槽和导流筒外壳的第一凸块插接配合。
9.优选的,导流筒内胆的下端口设有多个第二凸块,该第二凸块设置在导流筒内胆下端口的端面上,第二凸块与导流筒下端口的端面垂直。
10.优选的,导流筒外壳的下端口设有和第二凸块数量相对应的第二凹槽,该第二凹槽设置在导流筒外壳下端口内侧壁上,导流筒内胆的第二凸块和导流筒外壳的第二凹槽插接配合。
11.上述单晶导流筒中,导流筒内胆安装在导流筒外壳内,导流筒内胆和导流筒外壳之间设有空腔,导流筒隔热层安装在空腔中,导流筒内胆由高纯石英材料制作形成,由于导流筒内胆的材质和单晶硅的材料相近,提高了单晶硅棒的产品品质,导流筒外壳由等静压石墨材料制作形成,能够在高温环境下承受导流筒内胆和导流筒隔热层而完成拉晶作业,导流筒隔热层由固话毡材料制作形成,有效控制整体热量传递至导流筒内胆而造成导流筒内胆因高温烧化变形。
附图说明
12.图1是单晶导流筒立体结构图。
13.图2是图1的俯视图。
14.图3是图2的a

a处剖视图。
15.图4是导流筒内胆立体结构图。
16.图5是导流筒外壳立体结构图。
17.图6为另一实施例导流筒内胆立体结构图。
18.图7是与图6配套的导流筒外壳立体结构图。
19.图中:单晶导流筒10、导流筒内胆1、第一凹槽11、第二凹槽12、导流筒隔热层2、导流筒外壳3、第一凸块31、第二凸块32。
具体实施方式
20.以下结合本实用新型的附图,对实用新型实施例的技术方案及技术效果做进一步的详细阐述。
21.参阅图1,单晶导流筒10包括导流筒内胆1、导流筒隔热层2和导流筒外壳3,导流筒内胆1、导流筒隔热层2和导流筒外壳3上下端均设有上端口和下端口,导流筒内胆1安装在导流筒外壳3内,导流筒内胆1和导流筒外壳3之间设有空腔,导流筒隔热层2安装在空腔中,导流筒内胆1由高纯石英材料制作形成,导流筒外壳3由等静压石墨材料制作形成,导流筒隔热层2由固话毡材料制作形成。导流筒内胆1的下端口设有多个第一凹槽11,该第一凹槽11自导流筒内胆1下端口的端面朝导流筒内胆1上端口设置。
22.实施例一中:参阅图2至图5,导流筒外壳3的下端口设有和第一凹槽11数量相对应的第一凸块31,该第一凸块31设置在导流筒外壳3下端口内侧壁上且朝向导流筒外壳3的上端口,将导流筒内胆1的下端口从导流筒外壳3的上端口放入,当导流筒内胆1的下端口到达导流筒外壳3的下端口时,转动导流筒内胆1使导流筒内胆1的第一凹槽11和导流筒外壳3的第一凸块31对准,然后通过第一凸块31和第一凹槽11插接配合,从而将导流筒内胆1和导流筒外壳3稳定结合。
23.实施例二中:参阅图6和图7,导流筒内胆3的下端口设有多个第二凸块32,该第二凸块32设置在导流筒内胆3下端口的端面上,第二凸块32与导流筒内胆3下端口的端面垂直,导流筒外壳1的下端口设有和第二凸块32数量相对应的第二凹槽12,该第二凹槽12设置在导流筒外壳1下端口内侧壁上,导流筒内胆3的第二凸块32和导流筒外壳1的第二凹槽12插接配合,从而将导流筒内胆1和导流筒外壳3稳定结合。


技术特征:
1.一种单晶导流筒,其特征在于,包括导流筒内胆、导流筒隔热层和导流筒外壳,导流筒内胆、导流筒隔热层和导流筒外壳上下端均设有上端口和下端口,导流筒内胆安装在导流筒外壳内,导流筒内胆和导流筒外壳之间设有空腔,导流筒隔热层安装在空腔中,导流筒内胆由高纯石英材料制作形成,导流筒外壳由等静压石墨材料制作形成,导流筒隔热层由固化毡材料制作形成,导流筒内胆的下端口和导流筒外壳的下端口通过插接结构相连接,导流筒内胆的下端口设有多个凹槽,该凹槽自导流筒内胆下端口的端面朝导流筒内胆上端口设置,导流筒外壳的下端口设有和凹槽数量相对应的凸块,该凸块设置在导流筒外壳下端口内侧壁上且朝导流筒外壳的上端口,导流筒内胆的凹槽和导流筒外壳的凸块插接配合。2.如权利要求1所述的单晶导流筒,其特征在于,导流筒内胆的下端口设有多个第二凸块,该第二凸块设置在导流筒内胆下端口的端面上,第二凸块与导流筒下端口的端面垂直。3.如权利要求2所述的单晶导流筒,其特征在于,导流筒外壳的下端口设有和第二凸块数量相对应的第二凹槽,该第二凹槽设置在导流筒外壳下端口内侧壁上,导流筒内胆的第二凸块和导流筒外壳的第二凹槽插接配合。

技术总结
本实用新型涉及一种单晶导流筒,包括导流筒内胆、导流筒隔热层和导流筒外壳,导流筒内胆安装在导流筒外壳内,导流筒内胆和导流筒外壳之间设有空腔,导流筒隔热层安装在空腔中,导流筒内胆由高纯石英材料制作形成,由于导流筒内胆的材质和单晶硅的材料相近,提高了单晶硅棒的产品品质,导流筒外壳由等静压石墨材料制作形成,能够在高温环境下承受导流筒内胆和导流筒隔热层而完成拉晶作业,导流筒隔热层由固话毡材料制作形成,有效控制整体热量传递至导流筒内胆而造成导流筒内胆因高温烧化变形。导流筒内胆而造成导流筒内胆因高温烧化变形。导流筒内胆而造成导流筒内胆因高温烧化变形。


技术研发人员:丁亚国 顾燕滨 梁万亮 马国忠
受保护的技术使用者:宁夏银和新能源科技有限公司
技术研发日:2020.12.31
技术公布日:2021/12/7
再多了解一些

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