一种伯努利吸盘装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体行业自动化设备技术领域，更具体地，涉及一种伯努利吸盘装置。


背景技术：

2.针对一些厚度薄且极其精密和脆弱的工件物料，如半导体行业的晶圆、光伏行业中的电池片等，不适合手工操作，效率低且影响产品加工品质，因此，需要有吸盘装置匹配机械手等移料机构来实现物料的上下料操作。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种伯努利吸盘装置，能在上料时将物料顶起至料槽上，也能实现料槽上的物料的下料。
4.为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：
5.一种伯努利吸盘装置，包括底板、气囊、伯努利吸盘体、伯努利吸盘、弹簧连接件以及气管接头；所述伯努利吸盘体通过所述气囊压设于所述底板上，所述伯努利吸盘设在所述伯努利吸盘体上并连接所述气管接头；所述伯努利吸盘上开设有多个通气孔；所述弹簧连接件的数量为多个，分布于所述伯努利吸盘的下表面，且底端连接在底板上；所述伯努利吸盘体连同所述伯努利吸盘在所述气囊进气鼓起时被顶离所述底板一定位移，并在所述气囊停止进气后，通过所述弹簧连接件的回弹作用而复位。
6.进一步的，所述伯努利吸盘分为治具吸盘和物料吸盘，且所述物料吸盘位于所述治具吸盘的内圈，所述治具吸盘和所述物料吸盘上均设有多个通气孔。
7.进一步的，本实用新型还包括物料治具，所述物料治具包括治具本体、扣紧锁及物料空置槽，所述治具本体为环形结构并与所述治具吸盘相对应，所述物料空置槽位于所述治具本体的内圈与物料吸盘相对应，所述扣紧锁分布于治具本体上，并能在旋转一定角度时与物料挂具上的扣紧锁卡槽配合锁附。
8.进一步的，所述治具吸盘上的多个通气孔呈圆环形分布。
9.进一步的，本实用新型还包括旋转锁附驱动组件；且所述底板的中心还具有一旋转轴套；旋转锁附驱动组件包括w旋转轴、推动支杆、推动轴承、轴承压板、旋转轴承、直线电机及推动块；所述底板通过所述旋转轴套套设在所述w旋转轴上，所述w旋转轴通过所述旋转轴承连接在所述轴承压板上，所述推动支杆的上端连接所述伯努利吸盘体的边缘，下端连接所述推动轴承；所述直线电机设在所述轴承压板上并连接所述推动块；所述推动块上设有轴承推孔；所述推动轴承插设于所述轴承推孔内。旋转锁附驱动组件，也可为旋转电机模组，所述底板连接在所述旋转电机模组上，能在所述旋转电机模组驱动下旋转。
10.采用上述方案后，本实用新型伯努利吸盘装置具有以下有益效果：
11.本实用新型的伯努利吸盘装置中的伯努利吸盘设在伯努利吸盘体上并连接气管接头；伯努利吸盘体是通过气囊压设于底板上，且所述伯努利吸盘的下表面分布多个弹簧
连接件，且底端连接在底板上；所述伯努利吸盘体连同所述伯努利吸盘在所述气囊进气鼓起时被顶离所述底板一定位移，并在所述气囊停止进气后，通过所述弹簧连接件的回弹作用而复位，从而实现伯努利吸盘体上的物料移位，辅助实现自动化的上下料，设备操作及控制更灵活，效率高。
附图说明
12.图1为本实用新型伯努利吸盘装置的整体立体图。
13.图2为本实用新型伯努利吸盘装置的部分立体图。
14.图3为本实用新型伯努利吸盘装置的部分分解图。
15.图4为本实用新型旋转锁附驱动组件的立体图。
16.图5为本实用新型伯努利吸盘装置翻转为竖直状态的侧示图。
17.图6为本实用新型物料治具的立体图。
18.图7为本实用新电镀挂具的立体图。
具体实施方式
19.为了进一步解释本实用新型的技术方案，下面通过具体实施例来对本实用新型进行详细阐述。
20.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“x”、“y”、“z”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
21.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
22.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
24.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特
点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不应理解为必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例进行结合和组合。
25.如图1到图6所示，本实施例的伯努利吸盘装置100，包括底板1、气囊2、伯努利吸盘体3、伯努利吸盘4、弹簧连接件5以及气管接头6；所述伯努利吸盘体3通过所述气囊2压设于所述底板1上，所述伯努利吸盘4设在所述伯努利吸盘体3上并连接所述气管接头6；所述伯努利吸盘4上开设有多个通气孔43；所述弹簧连接件5的数量为多个，分布于所述伯努利吸盘4的下表面，且底端连接在底板1上；所述伯努利吸盘体3连同所述伯努利吸盘4在所述气囊2进气鼓起时被顶离所述底板1一定位移，并在所述气囊2停止进气后，通过所述弹簧连接件5的回弹作用而复位。从而能将伯努利吸盘4上的物料被下一个工位捕获，实现移位。
26.根据伯努利原理,本实施例的伯努利吸盘装置100在气管接头6接入压缩空气时，伯努利吸盘4的通气孔会在工作面产生均匀且薄的强气流，此时，放在伯努利吸盘4上的物料与吸盘之间的气体流速大于物料上部的气体流速，利用伯努利流体速度越快压强越小的原理，工件的上下两侧会产生压力差，从而使得工件吸附在伯努利吸盘4的顶部。
27.所述伯努利吸盘4分为治具吸盘41和物料吸盘42，且所述物料吸盘42位于所述治具吸盘41的内圈，所述治具吸盘41和所述物料吸盘42上均设有多个通气孔43；所述治具吸盘41上的通气孔43呈圆环形分布。治具吸盘41用于吸附物料治具，物料吸盘42用于吸附物料本身。
28.如图6所示，本实用新型还可包括物料治具7，所述物料治具7包括治具本体71、扣紧锁72及物料空置槽73，所述治具本体71为环形结构并与所述治具吸盘41相对应，所述物料空置槽73位于所述治具本体71的内圈与物料吸盘42相对应，所述扣紧锁73分布于治具本体71上，并能在旋转一定角度时与下一工位上扣紧锁卡槽201配合锁附，如可与图7物料挂具200上的扣紧锁卡槽201配合锁附。
29.如图3及图4所示，为实现物料治具7与下一工位的锁附，本实用新型还包括旋转锁附驱动组件8；且所述底板1的中心还具有一旋转轴套12；旋转锁附驱动组件8包括w旋转轴81、推动支杆82、推动轴承83、轴承压板84、旋转轴承85、直线电机86及推动块87；所述底板1通过所述旋转轴套12套设在所述w旋转轴81上，所述w旋转轴81通过所述旋转轴承85连接在所述轴承压板84上，所述推动支杆82的上端连接所述伯努利吸盘体3的边缘，下端连接所述推动轴承85；所述直线电机86设在所述轴承压板84上并连接所述推动块87；所述推动块87上设有轴承推孔872；所述推动轴承83插设于所述轴承推孔872内。旋转锁附驱动组件，也可为旋转电机模组，所述底板连接在所述旋转电机模组上，能在所述旋转电机模组驱动下旋转。
30.结合图1至图7所示，以下一工位为晶圆电镀挂具200上的竖直料槽202为例，说明伯努利吸盘为竖直料槽202上下料的过程，以说明本实用新型伯努利吸盘装置的工作原理：
31.上料过程：
32.1、当治具吸盘41吸住物料治具7，物料吸盘43吸住晶圆物料；
33.2、通过相关驱动机构将伯努利吸盘装置翻转90度，如图5所示的竖直方向，从而能与晶圆电镀挂具200上的竖直料槽202相对；
34.3、通过相关驱动机构将伯努利吸盘装置靠向晶圆电镀挂具200上的竖直料槽202；
35.4、气囊2进气鼓起将物料治具7顶在晶圆电镀挂具200上，物料治具7的扣紧锁72一一套入对应的晶圆电镀挂具200的扣紧锁卡槽201内；
36.6、直线电机86驱动推动块87带动推动轴承83及推动支杆82正向移动，使治具吸盘41绕w旋转轴81正向旋转一个定小角度，从而将物料治具7锁附在电镀挂具200上，同时将晶圆物料嵌入到竖直料槽202内，完成上料；
37.下料过程：
38.1、气囊2进气鼓起，治具吸盘41与物料吸盘42同时动作，治具吸盘41吸住晶圆电镀挂具200上的物料治具7，物料吸盘42吸住晶圆电镀挂具200上的晶圆物料；
39.2、直线电机86驱动推动块87带动推动轴承83及推动支杆82反向移动，使治具吸盘41绕w旋转轴81反向旋转一个定小角度，从而将物料治具7与电镀挂具200抠离；
40.3、气囊2停止进气，在弹簧连接件5的回弹作用下，治具吸盘41吸住物料治具7、物料吸盘42吸住晶圆物料与晶圆电镀挂具200分离，完成下料。
41.采用上述方案后，本实用新型伯努利吸盘装置具有以下有益效果：
42.本实用新型的伯努利吸盘装置中的伯努利吸盘设在伯努利吸盘体上并连接气管接头；伯努利吸盘体是通过气囊压设于底板上，且所述伯努利吸盘的下表面分布多个弹簧连接件，且底端连接在底板上；所述伯努利吸盘体连同所述伯努利吸盘在所述气囊进气鼓起时被顶离所述底板一定位移，并在所述气囊停止进气后，通过所述弹簧连接件的回弹作用而复位，从而实现伯努利吸盘体上的物料移位，辅助实现自动化的上下料，设备操作及控制更灵活，效率高。
43.上述实施例和图式并非限定本实用新型的产品形态和式样，任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应视为不脱离本实用新型的专利范畴。