使用过氧化氢沉积薄膜的设备的制作方法

技术特征：
1.一种配置成在衬底上形成薄膜的反应系统，包括：反应室，其配置为保持待处理的衬底；第一前体源，该第一前体源配置为向衬底提供第一前体气体；惰性气体源，该惰性气体源配置为向衬底提供惰性气体；以及过氧化氢源，其配置为按需提供液态过氧化氢溶液，其中过氧化氢源包括：电化学电池，其包括：多孔电解质、第一气体扩散层、第二气体扩散层、催化剂层、活性炭层、第一膜层和第二膜层；氢源，该氢源配置为提供氢气，其中氢气穿过第一气体扩散层、催化剂层和第一膜层进入多孔电解质；氧源，该氧源配置为提供氧气，其中氧气穿过第二气体扩散层、活性炭层和第二膜层进入多孔电解质；以及水源，该水源配置为向多孔电解质提供水；其中，所述催化剂层将氢气转化成氢离子(h

)气体；并且其中，所述活性炭层将氧气转化成与多孔电解质中的水反应以形成液相(ho2‑
)复合物的离子。2.根据权利要求1所述的反应系统，其中，所述多孔电解质包括以下中的至少一个：苯乙烯
‑
二乙烯基苯磺化共聚物、dowex树脂、钇稳定氧化锆、无机固体或混合氧化铯
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磷酸钨。3.根据权利要求1所述的反应系统，其中，所述催化剂层包括以下中的至少一个：氧化铱或负载铂的碳。4.一种配置成在衬底上形成薄膜的反应系统，包括：反应室，其配置为保持待处理的衬底；第一前体源，该第一前体源配置为向衬底提供第一前体气体；惰性气体源，该惰性气体源配置为向衬底提供惰性气体；以及过氧化氢源，其配置为按需提供液态过氧化氢溶液，其中过氧化氢源包括：电化学电池，其包括：多孔电解质、第一气体扩散层、第二气体扩散层、催化剂层、活性炭层、第一膜层和第二膜层；氢源，该氢源配置为提供氢气，其中氢气穿过第一气体扩散层、催化剂层和第一膜层进入多孔电解质；氧源，该氧源配置为提供氧气，其中氧气穿过第二气体扩散层、活性炭层和第二膜层进入多孔电解质；以及氮源，该氮源配置为向多孔电解质提供氮(n2)气体；其中，所述催化剂层将氢气转化成氢离子(h

)气体；并且其中，所述活性炭层将氧气转化成形成液相(ho2‑
)复合物的离子。5.根据权利要求3所述的反应系统，其中，所述多孔电解质包括以下中的至少一个：苯乙烯
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二乙烯基苯磺化共聚物、dowex树脂、钇稳定氧化锆、无机固体或混合氧化铯
‑
磷酸钨。6.根据权利要求3所述的反应系统，其中，所述催化剂层包括以下中的至少一个：氧化铱或负载铂的碳。7.根据权利要求3所述的反应系统，其中，所述氮源进一步向水蒸气提供氮气。8.根据权利要求3所述的反应系统，其中，所述氮源进一步向非水性液体提供氮气。
9.根据权利要求8所述的反应系统，其中，所述非水性液体包括以下中的至少一个：二甲基亚砜(dmso)或离子液体。

技术总结
公开了一种薄膜沉积系统，以便在衬底上形成薄膜。薄膜沉积系统包括过氧化氢源。过氧化氢源包括将氢气转化为氢离子气体的电化学电池。电化学电池将氧气和水转化为液相复合物。液相复合物与氢离子气体反应以形成过氧化氢。液相复合物与氢离子气体反应以形成过氧化氢。液相复合物与氢离子气体反应以形成过氧化氢。


技术研发人员：L.罗德里格斯
受保护的技术使用者：ASMIP私人控股有限公司
技术研发日：2021.05.21
技术公布日：2021/11/26