一种喷涂靶材用夹具的制作方法

1.本实用新型涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种喷涂靶材用夹具。


背景技术：

2.旋转铬靶材一般用于装饰镀膜领域，用其镀出的膜层硬度较高，耐磨性好，并且耐腐蚀。旋转铬靶材一般直径70毫米左右，长度1000毫米左右。在生产时，用等离子喷枪将铬粉末喷涂在不锈钢材质的背管1上，形成靶材。具体的过程是背管1安装在转床上，背管1转动的同时喷枪沿背管1的轴线往复移动，在背管1上喷上涂层，涂层逐渐变厚形成靶材。背管1的形状如图1所示，其两端设置有螺纹端口11，螺纹端口11的内侧设置有退刀槽12。在喷涂完成后，两个退刀槽12之间的部分覆盖有一定厚度的铬材料层，该铬材料层即为靶材材料，螺纹端口11用来与磁控溅射设备连接，不能被喷涂上铬材料。为了防止在喷涂时靶材材料开裂，还需要在背管内部通冷却水。为了便于生产，需要用夹具来装夹背管1，来满足上述要求。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题，是针对上述存在的技术不足，提供了一种喷涂靶材用夹具，能在喷涂时保护螺纹端口，还可以在背管内部形成通水管路，以便在喷涂生产时可实现背管内部通冷却水进行冷却。
4.为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种喷涂靶材用夹具，包括第一端头、第二端头、护套、内管和螺栓；所述第一端头的一端设置有法兰，所述第一端头的另一端设置有第一伸入端，所述第一端头的两侧设置有螺纹孔，所述第一端头的内部设置有贯穿其两端的进水孔，所述进水孔周围设置有多个出水孔，所述第一伸入端上设置有第一凹台，所述第一伸入端的外圆周上设置有第一密封槽；所述第二端头的一端设置有顶孔，所述第二端头的另一端设置有第二伸入端，所述第二端头的的两侧设置有螺纹孔，所述第二端头的内部设置有第二凹台，所述第二凹台的底部设置有第二凹槽，所述第二凹台的两侧设置有第一凹槽，所述第二凹槽与第一凹槽连通，所述第二伸入端的外圆周上设置有第二密封槽；所述护套的内侧设置有配合部，所述配合部的一侧设置有保护部，所述保护部的另一侧设置有阻挡部，所述护套上设置有贯穿其内外两侧的通孔；所述内管呈管状，其两端设置有凸台。
5.进一步优化本技术方案，所述第一凹台和第二凹台的横截面呈正六边形且两者大小相同，所述凸台与第一凹台和第二凹台的横截面和大小相同。
6.进一步优化本技术方案，所述第一凹槽呈长方体状。
7.进一步优化本技术方案，所述第二凹槽呈圆柱状。
8.与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：1、第一端头和第二端头以及内管都采用插入的方式安装，操作非常简便，效率较高；2、内管能使得第一端头和第二端头同步转动，背管不受扭力作用，也不容易打滑；3、保护部能对螺纹端口进行保护，防止铬材料喷涂
螺纹端口上。
附图说明
9.图1为背管的结构示意图。
10.图2为一种喷涂靶材用夹具的爆炸视图。
11.图3为一种喷涂靶材用夹具的第一端头的前轴侧视图。
12.图4为一种喷涂靶材用夹具的第一端头的后轴侧视图。
13.图5为一种喷涂靶材用夹具的第二端头的前轴侧视图。
14.图6为一种喷涂靶材用夹具的第二端头的剖视图。
15.图7为一种喷涂靶材用夹具的内管结构示意图。
16.图8为一种喷涂靶材用夹具的护套结构示意图。
17.图9为一种喷涂靶材用夹具使用时的结构示意图。
18.图中：1、背管；11、螺纹端口；12、退刀槽；2、第一端头；21、法兰；22、第一伸入端；23、第一密封槽；24、出水孔；25、第一凹台；26、进水孔；27、螺纹孔；3、护套；31、配合部；32、保护部；33、阻挡部；34、通孔；44、第二密封槽；4、第二端头；41、第二伸入端；42、第二凹台；43、第一凹槽；44、第二密封槽；45、顶孔；46、第二凹槽；5、内管；51、凸台；6、螺栓。
具体实施方式
19.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
20.具体实施方式：结合图1
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9所示，一种喷涂靶材用夹具，包括第一端头2、第二端头4、护套3、内管5和螺栓6。所述第一端头2的一端设置有法兰21，用于与靶材喷涂设备连接，所述第一端头2的另一端设置有第一伸入端22，所述第一端头2的两侧设置有螺纹孔27，所述第一端头2的内部设置有贯穿其两端的进水孔26，所述进水孔26周围设置有多个出水孔24，所述第一伸入端22上设置有第一凹台25，所述第一伸入端22的外圆周上设置有第一密封槽23。所述第二端头4的一端设置有顶孔45，方便用靶材喷涂设备尾座上的回旋顶尖顶住，所述第二端头4的另一端设置有第二伸入端41，所述第二端头4的的两侧设置有螺纹孔27，所述第二端头4的内部设置有第二凹台42，所述第二凹台42的底部设置有第二凹槽46，所述第二凹台42的两侧设置有第一凹槽43，所述第二凹槽46与第一凹槽43连通，所述第二伸入端41的外圆周上设置有第二密封槽44。所述护套3的内侧设置有配合部31，所述配合部31的一侧设置有保护部32，所述保护部32的另一侧设置有阻挡部33，所述护套3上设置有贯穿其内外两侧的通孔34。配合部31用来与第一端头2或者第二端头4的外圆周进行配合；保护部32的内径和长度分别稍大于螺纹端口11的外径和长度；在安装完成后阻挡部33的端面与退刀槽12的内侧面对齐。所述内管5呈管状，其两端设置有凸台51，凸台51用来插入第一凹台25或第二凹台42中。
21.所述第一凹台25和第二凹台42的横截面呈正六边形且两者大小相同，所述凸台51与第一凹台25和第二凹台42的横截面和大小相同。
22.所述第一凹槽43呈长方体状。
23.所述第二凹槽46呈圆柱状，其直径接近于内管5的内径。
24.内管5的长度大于背管1的长度，以便于安装。
25.工作原理及过程：结合图1
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9所示，先在第一密封槽23和第二密封槽44中装上密封圈，之后将第一伸入端22插入背管1的一端，然后将内管5一端的凸台51插入第一凹台25中，由于内管5的长度大于背管1的长度，此时内管的的另一端从背管1的另一端露出，用手扶住此端，使其尽量处于背管1的轴线上，之后如图2所示，将第二端头4上的第二凹台42套在内管5此端的凸台上，之后继续向右推动第二端头4，使得第二伸入端41插入背管1内部。之后将护套3上的通孔34对准螺纹孔27，用螺栓6进行固定，即完成装配，如图9所示。第二凹台42要比较深，且第一凹台25加上第二凹台42的深度再加上背管1的长度，其数值要接近于内管5的长度减去第一伸入端22和第二伸入端41的长度，两者的差值最好要小于凸台51高度的0.2倍。为了防止第一端头2和第二端头4掉落，第一伸入端22和第二伸入端41的长度应适当长一点。之后可以将装配好的组件安装在等离子喷涂设备的转床上，转床上设置有通水装置，通水装置的出水口连接进水孔26，通水装置的回水口连通出水孔24，该通水装置采用两个管套在一起的结构，内部的管出水，两个管之间的空腔回水，外部的管端部设置有法兰。冷却水可以从进水孔26进入内管5内部，之后从第二凹槽46和第一凹槽43以及第二凹台42与内管5外部的间隙流到背管1内部，最后从出水孔24流出，实现对背管1的冷却。由于凸台51、第一凹台25和第二凹台42的横截面呈正六边形，因此，当转床驱动第一端头2转动时，内管5能带动第二端头4同步转动，从而带动背管1转动，相对于只有一个端头驱动的结构，该结构背管1不受扭力作用，也不容易打滑。阻挡部33能阻挡大部分的铬材料，但是由于喷涂的焰流是向外扩散的，因此还会有少量的铬进入退刀槽12中，保护部32能对螺纹端口11进行保护，防止铬材料喷涂螺纹端口11上。
26.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。