用于并行微图案化的微透镜阵列的制作方法

技术特征：
1.一种方法，包括：发射激光束；向包括多个小透镜的小透镜阵列提供所述激光束，其中，所述多个小透镜中的每个小透镜具有相同的形状；和使用所述小透镜阵列从所述激光束产生多个激光子束，所述多个激光子束中的每一个由所述多个小透镜中相应的一个产生。2.根据权利要求1所述的方法，还包括：将所述多个激光子束导向衬底，以并行地产生或修改所述衬底上的多个特征，其中，所述多个激光子束中的每一个产生或修改所述衬底上的所述多个特征中相应的一个。3.根据权利要求2所述的方法，其中，将所述多个激光子束导向所述衬底以并行地产生或修改所述衬底上的所述多个特征包括：移动所述小透镜阵列或所述衬底中的至少一个，使得所述多个小透镜中的每个小透镜的焦点以扫描图案在形成于所述衬底上的材料上被扫描。4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述扫描图案包括多个同心圆。5.根据权利要求3所述的方法，其中，所述扫描图案包括螺旋。6.根据权利要求2所述的方法，其中，所述多个特征是通过在所述衬底上形成的材料的双光子聚合形成的。7.根据权利要求1所述的方法，还包括：将所述多个激光子束导向晶圆，以并行地产生或修改穿过所述晶圆的多个孔，其中，所述多个激光子束中的每一个产生或修改穿过所述晶圆的所述多个孔中相应的一个。8.根据权利要求7所述的方法，其中，将所述多个激光子束导向所述晶圆以并行地产生或修改穿过所述晶圆的所述多个孔包括：定位所述小透镜阵列或所述晶圆中的至少一个，使得所述多个小透镜中的每个小透镜的焦点形成在所述晶圆上。9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述孔中的每一个的横截面具有圆形形状。10.根据权利要求8所述的方法，其中，所述孔中的每一个的横截面具有平行四边形形状。11.根据权利要求8所述的方法，其中，所述孔的间距大于邻近所述晶圆的表面形成的多个台面形的间距。12.根据权利要求1所述的方法，还包括：将所述多个激光子束导向硅衬底，以并行地产生或修改穿过形成在所述硅衬底的表面上的金属层的多个孔，其中，所述多个激光子束中的每一个产生或修改穿过所述金属层的所述多个孔中相应的一个。13.根据权利要求12所述的方法，其中，将所述多个激光子束导向所述硅衬底以并行地产生或修改穿过所述金属层的所述多个孔包括：定位所述小透镜阵列或所述硅衬底中的至少一个，使得所述多个小透镜中的每个小透镜的焦点形成在所述金属层上。14.根据权利要求13所述的方法，还包括通过使用所述金属层的剩余部分来蚀刻与所述金属层的所述剩余部分对准的所述硅衬底的一部分来创建硅纳米线阵列。
15.根据权利要求1所述的方法，还包括：将所述多个激光子束导向发光二极管阵列，以在形成于所述发光二极管阵列的表面上的弹性材料或光致抗蚀剂中并行地产生或修改多个光学元件，其中，所述多个激光子束中的每一个在所述弹性材料或所述光致抗蚀剂中产生或修改所述多个光学元件中相应的一个。16.根据权利要求15所述的方法，其中，将所述多个激光子束导向所述发光二极管阵列以在所述弹性材料或所述光致抗蚀剂中并行地产生或修改所述多个光学元件包括：定位所述小透镜阵列或所述发光二极管阵列中的至少一个，使得所述多个小透镜中的每个小透镜的焦点形成在形成于所述发光二极管阵列的表面上的所述弹性材料或所述光致抗蚀剂上。17.根据权利要求1所述的方法，其中，所述激光束是脉冲激光束，并且所述激光束被成形为具有平顶轮廓。18.一种系统，包括：激光器，其被配置为发射激光束；和小透镜阵列，其包括多个小透镜，其中：所述小透镜阵列被配置成接收所述激光束，所述多个小透镜中的每个小透镜具有相同的形状，并且所述小透镜阵列被配置成从所述激光束产生多个激光子束，所述多个小透镜中的每一个被配置成产生所述多个激光子束中相应的一个。19.根据权利要求18所述的系统，还包括光束均化器，其被配置成将所述激光束成形为具有平顶轮廓；和光束限制器，其被布置在所述激光器和所述光束均化器之间。20.根据权利要求19所述的系统，其中，所述光束限制器被配置为准直所述激光束。

技术总结
本文公开了使用微透镜阵列对特征进行并行微图案化的系统和方法，一种方法包括发射激光束，向包括多个小透镜的小透镜阵列提供激光束，以及使用小透镜阵列从激光束产生多个激光子束。多个激光子束中的每一个由多个小透镜中相应的一个产生。多个小透镜中的每个小透镜具有相同的形状。有相同的形状。有相同的形状。


技术研发人员：丹尼尔
受保护的技术使用者：脸谱科技有限责任公司
技术研发日：2020.04.03
技术公布日：2021/11/2