一种掩膜板张网装置及其张网方法与流程

1.本发明涉及掩模板制作领域，具体涉及了一种掩膜板张网装置及其张网方法。


背景技术：

2.在目前oled（organic light
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emitting display，有机电致发光二极管）制程技术中，用于真空蒸镀的掩模板至关重要，该部件将直接决定oled产品的显示效果与品质。掩模板（mask），特别是高精细金属掩模板（fine metal mask）用于蒸镀发光层材料，蒸镀成膜时材料蒸汽通过掩模板上精细掩模条上的开口区域精准地沉积到阵列基板上便形成像素图形。在现有掩膜板制造技术中，掩模条被张网机夹爪施加水平张力后通过焊接固定到掩模外框上，组成完整的高精细金属掩膜板，但往往由于夹爪水平状况欠佳导致张网时掩膜条起皱（wrinkle），且夹爪本身水平度及多个夹爪间平行度等不易调整，需要不定期校正；张网褶皱大都会导致掩膜条开孔位置偏移及精度降低，且大尺寸掩膜板往往下垂量大，蒸镀过程中，均会造成玻璃基板与掩膜板切合不良，继而出现像素点混色、阴影（shadow）过大、面板显示均一性差等问题，造成产品良率降低。


技术实现要素：

3.针对现有技术的不足，本发明提供一种补偿由于夹爪不平造成掩膜条褶皱，使掩膜条平滑焊接的一种掩膜板张网装置。
4.本发明的一种掩膜板张网装置，采用以下技术方案：包括用于夹持掩膜条两端的夹持机构和张网对位机构，张网对位机构用于将发生形变的掩膜条与掩膜框进行张网对位，所述掩膜框对应掩膜条两端设有凹槽，掩膜条两端通过压紧机构可调节固定在凹槽内，压紧机构包括由下至上依序连接的压紧件、固定杆、动力机构，所述压紧件长度大于掩膜条宽度，压紧件对应掩膜框的凹槽设置，压紧件由所述固定杆连接动力机构。
5.进一步，所述掩膜框两端之间至少设有一组压紧机构设在掩膜框两端之间。
6.进一步，所述压紧件为压辊或椭轮。
7.进一步，所述掩膜板张网装置还包括褶皱监测装置，所述褶皱监测装置滑动设在掩模框上方并平行掩膜框端面，所述褶皱监测装置包括依次连接的声波发射端、声波接收端及计算单元。
8.进一步，所述掩膜条两端通过掩膜框两端上方压紧机构可调节压进所述凹槽内后，对应焊接在掩膜框上。
9.进一步，所述掩膜框两端之间对应所述压紧机构设有掩膜杆，所述掩膜杆设有凹槽，所述掩膜条两端通过压紧机构将掩膜条压进所述凹槽内后，对应焊接在掩膜框上。
10.进一步，所述掩膜框两端之间对应所述压紧机构设有掩膜杆，所述掩膜杆设有凹槽，所述掩膜条两端通过压紧机构将掩膜条压进所述凹槽内后，对应焊接在掩膜框上。
11.进一步，所述凹槽截面为方形或圆弧。
12.一种张网方法，包括以下步骤：
step1：所述夹持机构的夹爪夹持所述掩膜条移至所述掩膜框上方；step2：所述夹爪夹持掩膜条下降至掩膜框上方设定高度；step3：所述压紧机构的所述压紧件下降至所述凹槽内，微调压紧件下降高度；step4：夹持机构的夹爪以预设定张力张紧掩膜条至像素位置精度数据符合预设规格；step5：褶皱监测装置扫描监测掩膜条并输出褶皱值，如褶皱值符合设定值，则执行step6；如超出设定值，则返回step3；step6：将掩膜条焊接在掩膜框上；step7：重复执行step1
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step6步骤焊接其他掩膜条，直至全部焊接形成掩膜板。
13.进一步，所述步骤step5中扫描监测掩膜条步骤包括：step5
‑
1：所述褶皱监测装置移动至待测所述掩膜条上方，声波发射端对着所述掩膜条发出声波，声波接收端接收发射端的回波；step5
‑
2：所述计算单元接收声波接收端传送的回波信号，并根据回波情况分析计算掩膜条褶皱情况，计算单元先对掩膜条外区域回波进行滤波处理，再利用差值法处理波形得到平滑回波曲线；step5
‑
3：所述平滑回波曲的最大波峰减去最小波谷值，得出褶皱高度差wrinkle；平滑回波曲的每相邻波峰波谷高度差除以波峰波谷距离，得到褶皱角度a；step5
‑
4：当且仅当所述wrinkle<50μm且a<0.3
°
时，所述褶皱值符合设定值。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果如下：1、采用压紧机构补偿由于夹爪不平造成掩膜条褶皱，使掩膜条平滑焊接；2、采用褶皱监测装置扫描掩膜条，实时输出掩膜条褶皱情况，以检测掩膜条与掩膜框是否完全贴合；3、掩膜框上设有凹槽，利于压紧机构下压，使掩膜条贴紧掩膜框且留余量供补偿掩膜条偏移；4、在掩膜框上两端间对应压紧机构设有掩膜杆，使传统单一掩膜框镂空区域分割成多个子区域，且掩膜条张网掩膜框和掩膜杆对应压紧机构设有凹槽，避免蒸镀过程中掩模条下垂量过大或开孔的位置偏出现偏移及精度降低，造成像素点混色现象严重、阴影过大、面板显示均一性差等问题，应用大尺寸掩膜板张网；5、采用张网方法改善张网褶皱情况，提高张网成功率。
附图说明
15.此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，在附图中：图1为本发明实施例一的立体结构示意图；图2为本发明实施例二的立体结构示意图；图3为本发明实施例二的侧视图；图4为本发明褶皱监测装置内部结构示意图；图5为本发明的张网方法流程图；图6为本发明的褶皱监测装置扫描方法流程图。
具体实施方式
16.参见图1—3之一所示，实施例一中的一种掩膜板张网装置，其包括用于夹持掩膜条两端的夹持机构1和张网对位机构，张网对位机构用于将发生形变的掩膜条与掩膜框进行张网对位，所述掩膜框4对应掩膜条5两端设有凹槽41，掩膜条5两端通过压紧机构2可调节固定在凹槽41内，压紧机构2包括由下至上依序连接的压紧件21、固定杆22、动力机构23，所述压紧件21长度大于掩膜条5宽度，压紧件2对应掩膜框4的凹槽41设置，压紧件21由所述固定杆22连接动力机构23。
17.实施例一的进一步改进，所述压紧件21为压辊或椭轮。
18.参见图4所示，实施例一的进一步改进，所述掩膜板张网装置还包括褶皱监测装置3，所述所述褶皱监测装置3滑动设在掩模框4上方并平行掩膜框4端面，所述褶皱监测装置包括依次连接的声波发射端31、声波接收端32及计算单元33。
19.实施例一中的一种掩膜板张网装置张网，其包括用于焊接掩膜条5的掩膜框4本体，所述掩膜框4两端对应压紧机构2设有凹槽41，所述掩膜条5两端通过掩膜框4两端上方压紧机构2压进所述凹槽41内后，对应焊接在掩膜框4上。
20.实施例一的进一步改进，所述凹槽41截面为方形或圆弧。
21.实施例二是在实施例一的基础上进一步改进，以适用大尺寸掩膜板张网。所述掩膜框4两端之间至少设有一组压紧机构2设在掩膜框4两端之间，所述掩膜框4两端之间对应所述压紧机构2设有掩膜杆42，所述掩膜杆42设有凹槽41，所述掩膜条5两端通过压紧机构2将掩膜条5压进所述凹槽41内后，对应焊接在掩膜框4上。
22.参见图5所示，一种张网方法，包括以下步骤：step1：所述夹持机构1的夹爪夹持所述掩膜条5移至所述掩膜框4上方；step2：所述夹爪夹持掩膜条5下降至掩膜框4上方设定高度，微调压紧件21下降高度；step3：所述压紧机构2的所述压紧件21下降至所述凹槽41内；step4：夹持机构1的夹爪以预设定张力张紧掩膜条5至像素位置精度数据符合预设规格；step5：褶皱监测装置3扫描监测掩膜条5并输出褶皱值，如褶皱值符合设定值，则执行step6；如超出设定值，则返回step3；step6：将掩膜条5焊接在掩膜框4上；step7：重复执行step1
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step6步骤焊接其他掩膜条5，直至全部焊接形成掩膜板。
23.参见图6所示，进一步，所述步骤step5中扫描监测掩膜条5步骤包括：step5
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1：所述褶皱监测装置3移动至待测所述掩膜条5上方，声波发射端31对着所述掩膜条5发出声波，声波接收端32接收发射端的回波；step5
‑
2：所述计算单元33接收声波接收端32传送的回波信号，并根据回波情况分析计算掩膜条5褶皱情况，计算单元先对掩膜条5外区域回波进行滤波处理，再利用差值法处理波形得到平滑回波曲线；step5
‑
3：所述平滑回波曲的最大波峰减去最小波谷值，得出褶皱高度差wrinkle；平滑回波曲的每相邻波峰波谷高度差除以波峰波谷距离，得到褶皱角度a；step5
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4：当且仅当所述wrinkle<50μm且a<0.3
°
时，所述褶皱值符合设定值。
24.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。