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一种稳定控制药液腔压力的排风系统的制作方法

2021-10-19 22:24:00 来源:中国专利 TAG:药液 制备 面板 压力 稳定

技术特征:
1.一种稳定控制药液腔压力的排风系统,其特征在于,包括:支撑台(101);药液腔(103),设于所述支撑台(101)上,所述药液腔(103)用于注入药液和放置显示面板(102);主抽风管路(110),其与所述药液腔(103)的一侧连接;抽风支路(120),所述抽风支路(120)从所述药液腔(103)的外部穿至所述药液腔(103)的内部。2.根据权利要求1所述的稳定控制药液腔压力的排风系统,其特征在于,所述抽风支路(120)从所述药液腔(103)的底部穿至所述药液腔(103)的内部。3.根据权利要求1所述的稳定控制药液腔压力的排风系统,其特征在于,所述主抽风管路(110)及所述抽风支路(120)上均设置有负压表(104),所述主抽风管路(110)及所述抽风支路(120)的末端均设置有阀门(105)。4.根据权利要求3所述的稳定控制药液腔压力的排风系统,其特征在于,所述阀门(105)连接有伺服电机(106)。5.根据权利要求1所述的稳定控制药液腔压力的排风系统,其特征在于,所述抽风支路(120)包括位于所述药液腔(103)内部的第一部分(121)和位于所述药液腔(103)外部的第二部分(122),所述第一部分(121)与所述第二部分(122)连接,所述第一部分(121)上设有多个抽风口(1211)。6.根据权利要求5所述的稳定控制药液腔压力的排风系统,其特征在于,所述第一部分(121)为u形,多个所述抽风口(1211)分别设于所述u形的两个相对的侧管(1212)上。7.根据权利要求6所述的稳定控制药液腔压力的排风系统,其特征在于,所述第二部分(122)与所述u形的底部连接。8.根据权利要求7所述的稳定控制药液腔压力的排风系统,其特征在于,所述第二部分(122)包括多条连接管(1221),多条所述连接管(1221)间隔的连接在所述u形的底部。9.根据权利要求5所述的稳定控制药液腔压力的排风系统,其特征在于,所述抽风口(1211)的高度高于所述药液腔(103)内的药液液位。10.根据权利要求1所述的稳定控制药液腔压力的排风系统,其特征在于,所述药液腔(103)的顶部设置有药液腔盖(1031)。

技术总结
本实用新型公开了一种稳定控制药液腔压力的排风系统,该排风系统可应用于显示面板制备工艺中,属于显示面板制备技术领域。所述稳定控制药液腔压力的排风系统包括:支撑台;药液腔,设于所述支撑台上,所述药液腔用于注入药液和放置显示面板;主抽风管路,其与所述药液腔的一侧连接;抽风支路,所述抽风支路从所述药液腔的外部穿至所述药液腔的内部。该实用新型提供一种能稳定控制药液腔内压力的排风系统。系统。系统。


技术研发人员:蒋新 李晓波 施利君 宋金林
受保护的技术使用者:苏州晶洲装备科技有限公司
技术研发日:2021.03.10
技术公布日:2021/10/18
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