一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片的制作方法

1.本实用新型涉及传感器芯片技术领域，具体涉及一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片。


背景技术：

2.传统的采用还原催化剂(scr)方案净化废弃中氮氧化物。scr法可以选择性地将尾气中的氮氧化物吸附于催化剂，通过向催化剂喷射尿素，以还原反应将氮氧化物分解成氮和水并排放，因此，首先需要通过氮氧化物传感器来检测排放气体中氮氧化物含量。但是，在车辆排放废气的过程中，其废气温度的变化范围极大，可能从100℃迅速提升到600℃，在温度急速变化的情况下需要喷射的还原剂量也会出现极大的变化，催化器的吸附能力又会随着温度的升高而降低，容易造成氨泄漏的问题，所以氨的监测数据对降低排放有重要的意义。
3.但是,传统的传感器芯片只能检测废气中的氮氧化物含量，由于结构设置不合理，传统的传感器芯片中可能存在漏电流，从而导致传统的传感器芯片检测废气中的氮氧化物含量精度低，实用性差。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种结构设计合理、能够有效的把漏电流导出去，从而提高氮氧传感器的精度且实用性好的带屏蔽层的氮氧传感器芯片。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，包括检测装置，所述检测装置包括加热电极和信号层，所述加热电极和信号层之间设置有屏蔽漏电流功能层，所述屏蔽漏电流功能层中的一个电极与加热电极的地线相连接。
6.本实用新型进一步设置为：所述检测装置还包括参比电极、基板、第一电极、第二电极、第三电极以及第四电极；所述基板上开设有第一腔室和第二腔室，所述第一电极设置于所述第一腔室内，所述第二电极和所述第三电极设置于所述第二腔室内。
7.本实用新型还进一步设置为：所述第四电极与所述第一电极、第二电极以及所述第三电极电连接，所述第一电极和所述第四电极用于调节所述第一腔室内氧气浓度，所述第二电极和所述第四电极用于调节所述第二腔室内氧气浓度，所述第三电极和所述第四电极用于测量所述第二腔室内的氧气浓度。
8.本实用新型还进一步设置为：所述参比电极与所述第一电极和所述第二电极电连接，所述第一电极和所述参比电极用于测量所述第一腔室内的氧气浓度以控制所述第一电极和所述第四电极对所述第一腔室内的氧气的调节量，所述第二电极和所述参比电极用于测量所述第二腔室内的氧气浓度以控制所述第二电极和所述第四电极对所述第二腔室内的氧气的调节量。
9.本实用新型还进一步设置为：所述加热电极设置于所述基板内部。
10.本实用新型还进一步设置为：所述基板上还开设有与所述第一腔室连通的开口，所述开口内设置有缓冲障。
11.本实用新型的优点是：与现有技术相比，本实用新型结构设置更加合理，加热电极和信号层之间设置有屏蔽漏电流功能层，屏蔽漏电流功能层中的一个电极与加热电极的地线相连接。可以有效的把漏电流通过地线导出去，从而提高氮氧传感器的精度，实用性好。
12.下面结合说明书附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。
附图说明
13.图1为本实用新型实施例的剖视图；
14.图2为本实用新型实施例屏蔽漏电流功能层的结构示意图。
具体实施方式
15.在本实施例的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
16.参见图1和图2，本实用新型公开的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，包括检测装置，所述检测装置包括加热电极117和信号层118，所述加热电极117和信号层118之间设置有屏蔽漏电流功能层2，所述屏蔽漏电流功能层2中的一个电极与加热电极117的地线相连接,并把屏蔽漏电流功能层2中的一个电极线在现有的控制器中接地。
17.作为优选的，所述屏蔽漏电流功能层2一端设置有氧化锆层3和焊盘4。
18.为使本实用新型结构设置更加合理，作为优选的，本实施例所述检测装置还包括参比电极111、基板112、第一电极113、第二电极114、第三电极115以及第四电极116；所述基板112上开设有第一腔室1121和第二腔室1122，所述第一电极113设置于所述第一腔室1121内，所述第二电极114和所述第三电极115设置于所述第二腔室1122内。
19.所述第四电极116与所述第一电极113、第二电极114以及所述第三电极115电连接，所述第一电极113和所述第四电极116用于调节所述第一腔室1121内氧气浓度，所述第二电极114和所述第四电极116用于调节所述第二腔室1122内氧气浓度，所述第三电极115和所述第四电极116用于测量所述第二腔室1122内的氧气浓度。
20.所述参比电极111与所述第一电极113和所述第二电极114电连接，所述第一电极113和所述参比电极111用于测量所述第一腔室1121内的氧气浓度以控制所述第一电极113和所述第四电极116对所述第一腔室1121内的氧气的调节量，所述第二电极114和所述参比电极111用于测量所述第二腔室1122内的氧气浓度以控制所述第二电极114和所述第四电极116对所述第二腔室1122内的氧气的调节量。
21.所述加热电极117设置于所述基板112内部。
22.所述基板112上还开设有与所述第一腔室1121连通的开口1123，所述开口1123内设置有缓冲障1124。
23.实际应用时，加热电极和信号层之间设置有屏蔽漏电流功能层，屏蔽漏电流功能层中的一个电极与加热电极的地线相连接。可以有效的把漏电流通过地线导出去，从而提高氮氧传感器的精度，实用性好。
24.上述实施例对本实用新型的具体描述，只用于对本实用新型进行进一步说明，不能理解为对本实用新型保护范围的限定，本领域的技术工程师根据上述实用新型的内容对本实用新型作出一些非本质的改进和调整均落入本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，包括检测装置，所述检测装置包括加热电极(117)和信号层(118)，其特征在于：所述加热电极(117)和信号层(118)之间设置有屏蔽漏电流功能层(2)，所述屏蔽漏电流功能层(2)中的一个电极与加热电极(117)的地线相连接。2.根据权利要求1所述的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述检测装置还包括参比电极(111)、基板(112)、第一电极(113)、第二电极(114)、第三电极(115)以及第四电极(116)；所述基板(112)上开设有第一腔室(1121)和第二腔室(1122)，所述第一电极(113)设置于所述第一腔室(1121)内，所述第二电极(114)和所述第三电极(115)设置于所述第二腔室(1122)内。3.根据权利要求2所述的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述第四电极(116)与所述第一电极(113)、第二电极(114)以及所述第三电极(115)电连接，所述第一电极(113)和所述第四电极(116)用于调节所述第一腔室(1121)内氧气浓度，所述第二电极(114)和所述第四电极(116)用于调节所述第二腔室(1122)内氧气浓度，所述第三电极(115)和所述第四电极(116)用于测量所述第二腔室(1122)内的氧气浓度。4.根据权利要求3所述的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述参比电极(111)与所述第一电极(113)和所述第二电极(114)电连接，所述第一电极(113)和所述参比电极(111)用于测量所述第一腔室(1121)内的氧气浓度以控制所述第一电极(113)和所述第四电极(116)对所述第一腔室(1121)内的氧气的调节量，所述第二电极(114)和所述参比电极(111)用于测量所述第二腔室(1122)内的氧气浓度以控制所述第二电极(114)和所述第四电极(116)对所述第二腔室(1122)内的氧气的调节量。5.根据权利要求4所述的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述加热电极(117)设置于所述基板(112)内部。6.根据权利要求5所述的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述基板(112)上还开设有与所述第一腔室(1121)连通的开口(1123)，所述开口(1123)内设置有缓冲障(1124)。

技术总结
本实用新型公开了一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，包括检测装置，所述检测装置包括加热电极和信号层，所述加热电极和信号层之间设置有屏蔽漏电流功能层，所述屏蔽漏电流功能层中的一个电极与加热电极的地线相连接,并把屏蔽漏电流功能层中的一个电极线在现有的控制器中接地。上述技术方案，结构设置合理，加热电极和信号层之间设置有屏蔽漏电流功能层，屏蔽漏电流功能层中的一个电极与加热电极的地线相连接。可以有效的把漏电流通过地线导出去，从而提高氮氧传感器的精度，实用性好。实用性好。实用性好。


技术研发人员：蔡丰勇
受保护的技术使用者：浙江百岸科技有限公司
技术研发日：2021.03.15
技术公布日：2021/10/23