一种梳齿结构、其制备方法及麦克风与流程

技术特征：

1.一种梳齿结构，其特征在于，包括：

一动梳状结构，所述动梳状结构具有多个第一梳齿，所述第一梳齿包括一第一动导电层以及一第二动导电层，所述第一动导电层与所述第二动导电层彼此电隔离；

一静梳状结构，所述静梳状结构具有多个第二梳齿，所述第二梳齿与所述第一梳齿相对交叉间隔设置，所述第二梳齿与所述第一梳齿共面，且所述第二梳齿的上下两边分别与所述第一梳齿的上下两边对齐，所述第二梳齿包括一第一静导电层以及一第二静导电层，且所述第一静导电层与所述第二静导电层彼此电隔离，

所述第一动导电层与所述第二动导电层之间设有一动绝缘层，所述第一静导电层与所述第二静导电层之间设有一第一静绝缘层，所述第一静绝缘层与所述动绝缘层在梳齿结构的厚度方向上相互错开。

2.根据权利要求1所述的梳齿结构，其特征在于：所述第二梳齿还包括一第三静导电层，所述第三静导电层与所述第二静导电层之间设有第二静绝缘层。

3.根据权利要求2所述的梳齿结构，其特征在于：所述第二静绝缘层与所述动绝缘层在梳齿结构的厚度方向上相互错开。

4.根据权利要求2所述的梳齿结构，其特征在于：在所述第一动导电层上施加正电压，在所述第二动导电层上施加负电压，使得所述第一动导电层与所述第二静导电层之间形成电压差，同时所述第二动导电层与所述第二静导电层之间也形成电压差，使得所述动梳状结构相对于所述静梳状结构移动。

5.根据权利要求1所述的梳齿结构，其特征在于：在所述第一动导电层与所述第二静导电层之间施加电压使得所述动梳状结构相对于所述静梳状结构移动。

6.一种梳齿结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

s0.在基板上沉积牺牲层材料；

s1.提供一基板，在所述基板上沉积第一导电材料和第一绝缘材料，所述第一绝缘材料位于所述第一导电材料的上面；

s2.对所述第一绝缘材料进行造型，使得部分所述第一导电材料的表面露出；

s3.在所述基板的顶部沉积第二导电材料，使得所述第二导电材料覆盖所述第一绝缘材料；

s4.在所述基板的顶部沉积第二绝缘材料覆盖所述第二导电材料后，对所述第二绝缘材料进行造型，使得部分所述第二导电材料的表面露出；

s5.在所述基板的顶部沉积第三导电材料，使得所述第三导电材料覆盖所述第二绝缘材料；

s6.在基板的上方进行深刻蚀形成梳齿间缝隙后，形成多个梳状结构。

7.根据权利要求6所述的梳齿结构的制备方法，其特征在于，还包括以下步骤：

s7.在基板上进行背腔刻蚀及释放工艺，以此形成动梳状结构以及静梳状结构，所述动梳状结构具有多个第一梳齿，所述静梳状结构具有多个第二梳齿，所述第二梳齿与所述第一梳齿交叉间隔设置，所述第二梳齿与所述第一梳齿共面，且所述第二梳齿的上下两边分别与所述第一梳齿的上下两边对齐。

8.根据权利要求7所述的梳齿结构的制备方法，其特征在于，在步骤s2中对所述第一绝缘材料进行造型后形成多个第一绝缘层，多个所述第一绝缘层间隔设置，在步骤s4中对所述第二绝缘材料进行造型后形成多个第二绝缘层，多个第二绝缘层间隔设置。

9.根据权利要求7所述的梳齿结构的制备方法，其特征在于，在步骤s5之后还包括以下步骤：

s51.在所述基板的顶部沉积第三绝缘材料覆盖所述第三导电材料后，对所述第三绝缘材料进行造型，使得部分所述第三导电材料的表面露出；

s52.在所述基板的顶部沉积第四导电材料，使得所述第四导电材料覆盖所述第三绝缘材料。

10.根据权利要求7所述的梳齿结构的制备方法，其特征在于，所述第一梳齿具有动绝缘层，所述动绝缘层设置由所述第二绝缘材料形成，所述第二梳齿具有第一静绝缘层，所述第一静绝缘层设置由所述第一绝缘材料形成，所述第一静绝缘层与所述动绝缘层在梳齿结构的厚度方向上相互错开。

11.根据权利要求7所述的梳齿结构的制备方法，其特征在于，在步骤s6中在基板的上方进行深刻蚀后，其中一个所述梳状结构的所述第一导电材料与所述第二导电材料电连接，且所述第二导电材料与所述第三导电材料通过所述第二绝缘材料彼此绝缘。

12.根据权利要求7所述的梳齿结构的制备方法，其特征在于，在步骤s6中在基板的上方进行深刻蚀后，其中一个所述梳状结构的所述第三导电材料与所述第二导电材料电连接，且所述第二导电材料与所述第一导电材料通过所述第一绝缘材料彼此绝缘。

13.根据权利要求9所述的梳齿结构的制备方法，其特征在于，在步骤s51中对所述第三绝缘材料进行造型后形成第三绝缘层，在步骤s6中在基板的上方进行深刻蚀后，其中一个所述梳状结构的所述第四导电材料与所述第三导电材料通过所述第三绝缘材料彼此绝缘，且所述第三导电材料与所述第二导电材料电连接，且所述第二导电材料与所述第一导电材料通过所述第一绝缘材料彼此绝缘。

14.根据权利要求13所述的梳齿结构的制备方法，其特征在于，所述其中一个所述梳状结构为第二梳齿。

15.一种麦克风，其包括具有空腔的基底、与所述基底连接并覆盖所述空腔的振膜，其特征在于，所述麦克风包括如权利要求1所述的梳齿结构，所述梳齿结构置于所述振膜远离所述基底的一侧，所述麦克风还设有位于梳齿结构和振膜之间的支撑梁，所述支撑梁一侧与梳齿结构的动梳状结构固定连接，另一侧与所述振膜连接，所述静梳状结构通过连接层与所述振膜连接。

16.根据权利要求15所述的麦克风，其特征在于，所述振膜包括位于中心的主体部和与所述主体部外周连接并与所述基底连接的固定部，所述支撑梁固定于所述主体部并与所述固定部间隔设置。

17.根据权利要求16所述的麦克风，其特征在于，所述连接层为中空环状结构并与所述固定部连接。

技术总结
本发明提供了一种梳齿结构、其制备方法及麦克风。本发明的梳齿结构的第二梳齿和第一梳齿之间形成梳齿对，且第二梳齿和第一梳齿的偏置量可通过沉积的材料厚度精确控制；第二梳齿和第一梳齿之间的间隙精确可控，且第二梳齿和第一梳齿之间的一致性好；第二梳齿和第一梳齿之间存在初始的重叠部分可以精确控制，使得梳齿结构既可用于驱动也可用于检测，制备梳齿结构的材料层不限，只要满足针对各层的绝缘和导电要求，同时工艺兼容即可，第二梳齿和第一梳齿之间的可驱动电压和接地可以互换。

技术研发人员：但强;李杨
受保护的技术使用者：瑞声科技(南京)有限公司
技术研发日：2020.08.21
技术公布日：2020.11.17