MEMS操纵装置的制作方法

2020-03-17 15:23:00 来源：中国专利 TAG：微机操纵装置平面驱动

技术总结
本公开的实施例涉及MEMS操纵装置。MEMS操纵装置具有承载相应的相互面对的夹持元件的第一操纵臂和第二操纵臂。至少第一操纵臂由驱动臂和通过铰接结构被铰链连接在一起的铰接臂形成。第一驱动臂包括第一梁元件和在第一梁元件上的第一压电区域。第一铰接结构包括在厚度方向上不可变形的第一连接元件以及被插入在第一驱动臂、第一铰接臂和第一连接元件之间的第一铰链结构。

技术研发人员：D·朱斯蒂;L·滕托里
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
技术研发日：2019.02.02
技术公布日：2020.03.17

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