微流体器件的制备方法与流程

2020-01-21 18:38:00 来源：中国专利 TAG：流体申请器件制备方法发明

技术总结
本发明涉及一种微流体器件的制备方法。所述制备方法包括：向具有凹槽的模具中注入液态金属，并使液态金属凝固，得到固态金属；将所述固态金属与所述模具分离，并在所述固态金属上设置电极；在带有电极的固态金属表面形成包覆层，使所述固态金属包裹于包覆层内，所述电极至少部分伸出所述包覆层，得到预制器件；将所述预制器件固定于衬底内，并使固态金属熔融及使电极至少部分伸出所述衬底外，得到微流体器件。该制备方法简单、封装性好、器件一体性高、易于产业化。

技术研发人员：冯雪;张柏诚;陈颖;付浩然;蒋晔;刘兰兰
受保护的技术使用者：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
技术研发日：2018.07.13
技术公布日：2020.01.21

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