一种基于微悬臂转移的微球探针制备方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供了一种基于微悬臂转移的微球探针制备方法，属于微纳米制造技术领域。本发明工艺简单，成本低廉，可以用于微纳加工或压痕力学特性等测试的微球探针的制备；本发明可以实现任意颗粒材料的灵活粘接，并且与任意受体平台任意匹配；悬臂在转移微球的同时能够充当传递层，增加微球与受体平台的接触面积，进而降低接触压力以减小受体平台的变形；通过微悬臂可以实现探针制备过程中微球在受体尖端的准确定位，且可以避免尺寸较小的微球在粘接时完全浸入胶水，污染微球探针表面。

技术研发人员：陈磊;石鹏飞;钱林茂;郭杰;陈超;肖晨;晏文孟
受保护的技术使用者：西南交通大学
技术研发日：2019.06.11
技术公布日：2019.08.23